Circuito de la firma del fusible del dispositivo semiconductor
Descripción general
 Se proporciona un circuito de firma de fusibles capaz de llevar a cabo un trabajo de confirmación mediante el corte de un fusible eléctrico después del embalaje. ] Cortar el fusible de acuerdo con el reloj maestro MC y la señal de selección de fusibles SIG1 4 es posible, y el circuito de fusible 34 40 para dar salida a un PX1 señal de estado de desconexión 16 en función del estado del fusible, tensión de firma proporciona a un P5 almohadilla predeterminado un circuito de polarización 42 para dar salida a un voltaje de polarización a la entrada, un segundo interruptor 58 que se enciende y apaga de acuerdo con el primer interruptor 56 y un PX1 señal de estado de desconexión 16 para el encendido y apagado de acuerdo con la tensión de polarización queda conectada en serie, el sobre de estos interruptores , Y un circuito de detección 54 para pasar una corriente desde la almohadilla de detección P1 P4 que ha recibido la tensión de detección.
Campo técnico
La presente invención se refiere a un dispositivo semiconductor, y más particularmente a un circuito de firma para verificar el estado de desconexión del fusible interno.
Antecedentes de la técnica
Por ejemplo, en dispositivos de memoria de semiconductor recientes, es posible seleccionar y operar el modo de operación del dispositivo en un chip. Es decir, se forma un circuito para proporcionar funciones tales como un modo de página, un modo de mordisqueo, un modo estático y similares en el chip, y uno de los modos de operación es seleccionado y utilizado por la opción de fusible según la solicitud del usuario Ahí Dicha opción de fusible se extiende a la opción de retardo para el retraso preciso de la señal, la opción para ajustar el nivel de corriente continua, la opción de fusible para la redundancia del remedio de defecto y similares. Con el aumento del fusible acompañado de esto, se requiere un sistema para verificar si el fusible deseado ha sido cortado con precisión, y por lo tanto se ha usado un circuito llamado firma.
La figura 1 muestra una configuración de un circuito de firma de fusible de corriente. Este circuito de firma de fusible tiene un fusible 10 conectado a la tensión de suministro de potencia Vcc y se proporciona un circuito de polarización 14 que tiene uno o más transistores NMOS conectados por diodos conectados entre el fusible 10 y la almohadilla 12. El fusible 10 está hecho de un material tal como polisilicio que se puede cortar en el estado de una oblea y se corta usando un rayo láser.
Se forma una gran cantidad de fusibles 10 de acuerdo con un circuito diseñado en un chip. Es decir, se proporciona de acuerdo con el número de opciones de modo para distinguir modos de operación, cajas de fusibles redundantes de fila / columna para remediar defectos y similares. Y por ejemplo, cuando se realiza bajo la redundancia, el fusible 10 del circuito de firma fusible como se muestra en la Fig. 1 con un predeterminadas almohadillas de dirección con el corte se produce el fallo relacionado dirección de fila fusible. El corte de este fusible se lleva a cabo en un estado de oblea usando un rayo láser en general. A partir de entonces, con el fin de confirmar la finalización de la reparación falla, compruebe el voltaje predeterminado se aplica a un almohadillas de direcciones predeterminadas, es decir, las pastillas de circuito de firma fusible 12 de la corte de fusibles mediante la medición de la presencia o ausencia de una corriente a través de la almohadilla 12 .
Es decir, la almohadilla 12 del circuito de firma fusible del objetivo de verificación, el (la tensión de umbral Vtn del transistor NMOS) '4Vtn + Vcc' ejemplo de la Fig. 1 mediante la aplicación de un voltaje más alto que la medición de la corriente de la almohadilla 12. La aplicación de una '4Vtn + Vcc' o más tensión a la almohadilla 12, a menos que el fusible 10 se corta la corriente fluye directamente desde la almohadilla 12 a la tensión de alimentación Vcc, mientras que, desde la almohadilla 12 a la tensión de alimentación Vcc si se corta el fusible 10 No se genera corriente Por lo tanto, al medir esta corriente, se puede confirmar la desconexión del fusible del circuito deseado.
Con una operación de firma de este tipo, es posible confirmar indirectamente si se confirma el circuito redundante utilizado y si una señal suministrada desde el exterior se ingresa correctamente en la almohadilla del chip o no.
Tarea de solución
El circuito de la firma del fusible como se describe arriba borra un fusible en un estado de oblea y lo confirma, y ​​hay un problema por resolver que no se puede usar después del empaque. Es decir, dado que el corte con rayo láser no puede usarse después del envasado, la corriente eléctrica debe cortarse aplicando una corriente de varias decenas de miliamperios al fusible, pero la corriente mostrada en la figura 1 no puede fluir a la corriente. .
Con el fin de desconectar eléctricamente el fusible 10 mediante el circuito de firma de fusibles de la figura 1, la relación de tamaño de canal de cada transistor NMOS que constituye el circuito de polarización 14 debe ser muy grande a aproximadamente 100: 0,7. Cuando el tamaño del Así NMOS aumentos de transistor, varias decenas a que es difícil formar el chip de circuito firma fusible hecho son también, el funcionamiento de la capacidad de la unión de chip del transistor como se ve desde el lado de la almohadilla 12 es muy grande Resultando en un deterioro de las características.
Actualmente, las opciones de fusibles como la redundancia se pueden realizar incluso después del empaquetado, por lo que también se desea mejorar este punto para los circuitos de firma de fusibles. Sumario de la invención Por lo tanto, un objeto de la presente invención es proporcionar un circuito de firma de fusible capaz de ejecutar un trabajo de verificación cortando un fusible eléctrico después del envasado.
Solución
De acuerdo con la presente invención para este propósito, es posible cortar los fusibles en respuesta a una entrada de señal predeterminado, un circuito de fusible para emitir una señal de estado de desconexión de acuerdo con el estado de la salida de estado de fusible de corte del circuito de fusible Y un circuito de detección para formar una ruta de corriente de acuerdo con la señal y pasar una corriente desde la almohadilla de detección que recibe la tensión de detección. Alternativamente, el posible corte del fusible en respuesta a una señal predeterminada, y da salida a un circuito de fusible para emitir una señal de estado de desconexión de acuerdo con el estado del fusible, un voltaje de polarización a la tensión de la firma de entrada proporcionada a una almohadilla predeterminado un circuito de polarización, dijo tensión de polarización y un segundo interruptor que se enciende y apaga de acuerdo con el primer interruptor y la señal de estado de desconexión para encender o apagar convertido conectado en serie de acuerdo con, la sobre estos interruptores, la detección de provocar una corriente fluya desde las almohadillas de detección que recibieron el voltaje de detección Un circuito de firma de fusible que tiene una pluralidad de terminales de entrada de fusibles;
circuito de fusible incluye un fusible, y un medio de fuente de corriente para proporcionar una corriente están conectados a un extremo del fusible está conectado al otro extremo del fusible, el escindible actual el fusible enciende y se apaga de acuerdo con una entrada de señal predeterminado Y un medio de salida para emitir una señal de estado de desconexión de acuerdo con la tensión en el otro extremo del fusible. El circuito de detección es un transistor NMOS que recibe una señal de salida de estado de desconexión del circuito de fusibles en su puerta . El circuito de polarización puede estar configurado para dar salida a un voltaje de polarización incluye uno o más diodos transistores conectados en serie para una almohadilla dada, en particular, un tipo de diodo de resistencia de protección ESD que está conectada a una almohadilla predeterminado Los transistores se pueden conectar en serie. Además, es preferible proporcionar un medio de prevención flotante para impedir la salida del circuito de polarización.
Ejemplos
En lo sucesivo, las realizaciones de la presente invención se describirán en detalle con referencia a los dibujos adjuntos.
La figura 2 muestra una configuración de un circuito de fusible utilizado para el circuito de firma de fusible de esta realización. Un fusible 20 está conectado al drenaje del transistor PMOS 22 de la fuente de corriente que recibe la tensión de suministro de potencia Vcc en la fuente y conecta la puerta al voltaje de referencia (Vss). Al lado de tierra del fusible 20 está conectado el drenaje del transistor NMOS 24 que es un interruptor de desconexión conectado a la tensión de referencia en su fuente y puerta controlada por la señal de control de desconexión. La señal de control de desconexión se emite desde la puerta NOR 26 que responde a la activación (lógica 'baja') del reloj maestro MC y la señal de selección de fusible SIGi (i = 0, 1, 2, 3 ,. El reloj maestro MC es una señal activada a 'bajo' lógico cuando la tensión de alimentación Vcc se suministra al chip, y la señal de selección de fusible SIGi es una señal de descodificación para seleccionar el fusible 20. En otras palabras, el reloj maestro MC y la señal de selección de fusibles Sigi es señal de control de desconexión de la salida de la lógica 'alta' de la puerta NOR 26 por ser entrada activa, lo que resulta en el transistor NMOS 24 se hace conductor.
Cuando el transistor NMOS 24 se hace conductor, fluye una corriente desde la tensión de alimentación Vcc a través del transistor PMOS 22 fusible 20 transistor NMOS 24, el fusible 20 están desconectados eléctricamente por la corriente de varias decenas de miliamperios nivel. Cuando el fusible 20 está desconectado, la entrada del inversor 30, que es el medio de salida, está en el nivel 'bajo' lógico, de modo que se emite la señal de estado de desconexión PXi de la lógica 'alta'. Es decir, el circuito de fusibles desconecta el fusible 20 activando el reloj maestro MC y la señal de selección de fusible SIGi, y emite la señal de estado de desconexión PXi de la lógica 'alta' desde el inversor 30. Los transistores 28 y 32 son para enclavamiento.
La figura 3 muestra un circuito de firma de fusible que usa el circuito de fusible. Un circuito de fusible que tiene la configuración en la que se muestra el circuito de fusible 34, 36, 38, 40 en la Fig. 2, el corte del fusible se lleva a cabo en la activación del reloj maestro MC y la señal de selección de fusibles SIG1 4, la señal de estado de desconexión que indica el PX1,4 de estado de fusible , 8 y 16, respectivamente. La señal de estado de desconexión PX 1 16 emitida desde el circuito de fusibles 34 40 se introduce en el circuito de detección correspondiente 54.
Por ejemplo, un circuito de fusible 34 que se corresponde con el modo de funcionamiento seleccionado, el único SIG1 señal de selección de fusible para el circuito de fusibles 34 en la opción de fusible es entrada activa, la desconexión PX1 señal de estado es lógica 'alta', otro corte PX4 señal de estado , PX 8 y PX 16 se vuelven lógicos 'bajos'.
Al verificar el modo de configuración, en este ejemplo, se aplica una tensión de firma de '5 Vth' o más a la almohadilla P 5 y se proporciona al circuito de polarización 42. Por lo tanto, en este ejemplo conectado en serie desde la resistencia 48, la matriz de transistores 46 compuesta por cinco transistores de tipo NMOS de tipo diodo conduce. Incidentalmente, la resistencia 48 conectada a la almohadilla P 5 es para protección ESD. El circuito de polarización 42 en esta forma de trabajar, un voltaje de polarización de lógica 'alta' (o la tensión de umbral del transistor 56) se emite desde el nodo de salida 44, el voltaje del nodo de salida 44 de las almohadillas de detección P1 4 Se aplica a la puerta del transistor NMOS 56 del circuito de detección 54 que comprende los transistores NMOS 56 y 58 de los interruptores primero y segundo conectados en serie a la tensión de referencia. En este momento, la señal de estado de desconexión PX 1 16 por el circuito de fusibles 34 40 se aplica a la puerta del otro transistor NMOS 58.
Cuando se suministra una tensión de detección de las almohadillas de detección P1 4 por ejemplo, la tensión de alimentación Vcc, el transistor NMOS 56 del circuito de detección 54 que recibe el voltaje de polarización por el circuito de polarización 42 de la puerta están llevando a cabo, la lógica por el circuito de fusible 34 'alto' Cuando el transistor NMOS 58 del circuito de detección 54 se enciende al recibir la señal de estado de corte PX1 de la puerta, se forma una ruta de corriente y fluye una corriente continua a través de la pista de detección P1. Por otro lado, PX4 señal de estado de desconexión 16 por el circuito de fusible 36 40 Puesto que la lógica de 'baja', NMOS transistor 58 del circuito de detección 54 está apagado y no fluye almohadillas sensibles P2 4 en la corriente. Es decir, en este caso, cuando se mide la corriente a través de la almohadilla de detección P1 P4, la corriente se mide solo en la almohadilla P1.
Como se describió anteriormente, el modo de operación del chip se puede confirmar mediante la presencia o ausencia de la corriente medida en cada almohadilla cuando se aplica un voltaje a la almohadilla predeterminada P1 P5. Por lo tanto, si esto se aplica a un dispositivo de memoria, es posible confirmar la desconexión del fusible mediante el circuito de firma para todos los circuitos que utilizan fusibles que pueden desconectarse eléctricamente, ampliando así el rango aplicable.
Por cierto, transistores NMOS 50 y 52 se muestra en la Figura 3 en la que un muy grande en la resistencia, conductor por la tensión de alimentación Vcc suministrada a la de encendido, en un medio que impide flotante para la prevención de nodos flotantes 44 . Esto significa que es útil para eliminar el ruido que puede ocurrir en el nodo 44 en el estado operativo del chip.
Efecto de la invención
Dado que el circuito de firma de fusibles según la presente invención puede realizar el trabajo de confirmación cortando el fusible eléctrico después del empaquetado, es fácil clasificar los productos de memoria según el modo de operación y la confiabilidad de los productos puede confirmarse incluso después del empaquetado. Hay una ventaja de mejorar el sexo.
La figura 1 es un diagrama de circuito de un circuito de firma de fusible convencional.
La figura 2 es un diagrama de circuito de un circuito de fusible utilizado para un circuito de firma de fusible según la presente invención.
La figura 3 es un diagrama de circuito de un circuito de firma de fusible según la presente invención.
Circuito de fusibles 34, 36, 38, 40
42 Bias Circuit
54 Circuito de detección
P1, P2, P3, P4 sensor de detección
Señal de estado desconectado PXi (PX 1, PX 4, PX 8, PX 16)
Reloj maestro MC
SIGi (SIG 1, SIG 2, SIG 3, SIG 4) Señal de selección de fusibles
Reclamo
Dependiendo de la reivindicación 1 una entrada de señal predeterminado es posible cortar el fusible, para formar un circuito de fusibles para dar salida a una señal de estado de desconexión de acuerdo con el estado del fusible, la trayectoria de corriente de acuerdo con la señal de estado de corte emitida desde el circuito de fusible, Y un circuito de detección para pasar una corriente de una almohadilla de detección que recibe la tensión de detección.
Reivindicación 2 circuito de fusible incluye un fusible y un medio de fuente de corriente para proporcionar una corriente están conectados a un extremo del fusible está conectado al otro extremo del fusible, puede cortar el fusible enciende y se apaga según una entrada de señal predeterminado un interruptor de desconexión fluya una corriente, el circuito de firma fusible según la reivindicación 1, compuesto de, y medios de salida para dar salida a una señal de estado de desconexión de acuerdo con un voltaje en el otro extremo del fusible.
3. Circuito de firma de fusible según la reivindicación 1, en el que el circuito de detección comprende un transistor NMOS que recibe en su puerta una señal de salida de señal de desconexión del circuito de fusibles.
Es posible cortar los fusibles de acuerdo con la reivindicación 4 circuito de entrada de señal, la salida y el fusible predeterminado para la salida de una señal de estado de desconexión de acuerdo con el estado del fusible, un voltaje de polarización a la tensión de la firma de entrada proporcionada a una almohadilla predeterminado fluya un circuito de polarización, dijeron tensión de polarización y un segundo interruptor que se enciende y apaga de acuerdo con el primer interruptor y la señal de estado de desconexión para encender o apagar convertido conectado en serie de acuerdo con, el en estos conmutadores, la corriente de la almohadilla de detección recibe una tensión de detección Un circuito de firma de fusibles del dispositivo semiconductor.
5. Circuito de firma de fusible según la reivindicación 4, en el que el circuito de polarización incluye uno o más transistores de tipo diodo conectados en serie a una pastilla predeterminada y emite una tensión de polarización.
6. Circuito de firma de fusible eléctrico según la reivindicación 5, en el que los transistores de tipo diodo están conectados en serie desde una resistencia de protección de ESD conectada a una almohadilla predeterminada.
circuito de firma de fusible según una cualquiera de las reivindicaciones 4 6 comprende un medio que impide flotantes para la prevención de la salida flotante de la reivindicación 7 circuito de polarización.
Dibujo :
Application number :1997-017195
Inventors :三星電子株式会社
Original Assignee :李相吉、昔容軾