Método de procesamiento de la base
Descripción general
 Se proporciona una técnica para procesar de manera eficiente y altamente precisa una base de datos jerárquica sin realizar manipulación artificial. ] En el caso de organizar y desarrollar bloques de datos jerárquicos A F y procesamiento de expansión gráfica, un método de procesamiento de base de datos que realiza automáticamente el proceso de expansión necesario cuando el desarrollo de despliegue y el procesamiento de expansión gráfica son necesarios es eficiente y de alta precisión Se pueden formar bibliotecas de datos.
Campo técnico
Campo técnico La presente invención se refiere a un método de procesamiento de bases de datos y, en particular, a un método para desarrollar bloques de datos jerárquicos de manera eficiente, tales como datos de patrones de máscaras.
Antecedentes de la técnica
Junto con la ampliación y miniaturización del dispositivo de circuito integrado semiconductor, se adopta una técnica para dibujar un patrón en una máscara o una oblea usando un aparato de estiramiento de haz de electrones. diseño de la lógica, para dibujar en la máscara o la oblea en un sistema de haz de electrones de litografía un patrón predeterminado mediante el uso de los datos del patrón de diseño para el dispositivo LSI creado por el diseño de diseño de circuitos y el diseño, una litografía de haz de electrones de un patrón de datos 斯 Ru Debe convertirse en datos de dibujo para el dispositivo. En la conversión, procesamiento de desarrollo de gráficos para incorporar bloque de datos de orden inferior a las coordenadas del proceso de expansión de la colocación y el bloque de datos superior en el bloque de datos de la adición de la parte superior normal, los datos de localización del bloque de datos más baja. Tales conversiones (1) de solapamiento proceso de eliminación para la prestación de la precisión atribuida a la superposición de los datos de patrón de diseño gráfico se impide de degradado por exposición múltiple, una figura más grande definida por (2) los datos del patrón de diseño o procesamiento de corrección dimensional para el caso reducida a tales quieren llamar, (3) de corrección del efecto de proximidad debido a la dispersión del haz de electrones en el momento de dibujo, (4) descomponer el patrón de diseño formas básicas estirables para el sistema de litografía por haz de electrones Esto es necesario para llevar a cabo el procesamiento para hacer. La conversión de datos, es decir, el procesamiento de desarrollo de ubicación y el procesamiento de desarrollo de figura generalmente se lleva a cabo por una computadora grande o una estación de trabajo.
Tarea de solución
En la conversión de datos convencional tal como se describió anteriormente, el proceso de despliegue de la disposición y el procesamiento de la expansión gráfica se realizan necesariamente independientemente del estado del bloque de datos a convertir. Por lo tanto, incluso si el bloque de datos que se va a convertir ya está implementado o expandido, incluso si el bloque de datos se expande jerárquicamente, el proceso de conversión de datos No había uso en los desperdicios. Para eliminar este desperdicio, se confirmó artificialmente un método si el bloque de datos se implementó o amplió, y solo se realizó la conversión necesaria. Sin embargo, al agregar procesamiento artificial al procesamiento de conversión de datos, es necesario captar el estado de desarrollo jerárquico del bloque de datos a convertir. Además, nuevos problemas como la intervención del error humano ocurrieron.
Es un objeto de la presente invención proporcionar un método de procesamiento de un bloque de datos jerárquico que realice de manera eficiente y altamente precisa el procesamiento de expansión deseado sin ninguna operación manual en el procesamiento de conversión de datos.
Los objetos anteriores y otros y las características novedosas de la presente invención se harán evidentes a partir de la descripción de esta especificación y los dibujos adjuntos.
Solución
Un resumen de los representativos de las invenciones divulgadas en la presente solicitud se describirá brevemente de la siguiente manera. Es decir, el proceso de desarrollo de disposición para convertir automáticamente los bloques de datos que no se colocan de procesamiento de expansión de una capa inferior en la disposición coordina bajo el bloque de datos de la jerarquía superior, las coordenadas de los bloques de datos que no son de procesamiento gráfico de una capa inferior de los datos de capa superior Y procesamiento de expansión gráfica para convertir automáticamente las coordenadas de disposición de los bloques en coordenadas de disposición de los bloques. El procesamiento de expansión puede realizar el procesamiento de desarrollo gráfico después del proceso de desarrollo de la ubicación. Es posible seleccionar el bloque de datos deseado de la jerarquía superior y realizar el desarrollo de la disposición y el procesamiento de expansión gráfica mencionados anteriormente. Como bloque de datos, se pueden usar datos que indican un patrón gráfico.
De acuerdo con los medios anteriores, los bloques de datos estratificados para ser procesados ​​por la base de datos están sujetos al desarrollo de la colocación y al procesamiento del desarrollo gráfico de acuerdo con la necesidad de un proceso de expansión. Esto significa que para los bloques de datos que ya están sujetos al procesamiento de expansión predeterminado, el proceso de expansión no se realiza dos veces. El método de procesamiento de la base de datos de que se realiza como proceso de expansión dispuesta necesaria para establecer una disposición del patrón de la figura deseada entre bloques de datos, gráficos proceso de expansión de la agregación de datos de bloque de datos jerárquica Puedes hacerlo. Es posible seleccionar el bloque de datos de la jerarquía superior deseada y realizar el desarrollo de ubicación mencionado y el procesamiento de desarrollo gráfico. El bloque de datos puede estar compuesto por datos de patrones gráficos utilizados para el procesamiento de elementos LSI, por ejemplo.
La figura 2 muestra un patrón gráfico representado por un bloque de datos A F que es una base de datos utilizada en la presente invención. El bloque de datos A F representa un patrón gráfico por coordenadas únicas. Es decir, los datos de bloque A F de la figura es A (xa, ya), B (xb, yb), C (xc, yc), D (xd, yd), E (xe, ye), F (xf, yf ) En la presente realización, se forma un patrón de máscara deseado en el chip combinando patrones gráficos del bloque de datos A F. En este momento, se supone que el patrón gráfico del bloque de datos AF se puede realizar libremente tal como ampliación, reducción, superposición de patrones gráficos, procesamiento de inversión y similares.
La figura 1 (A) muestra conceptualmente el flujo de procesamiento de la base de datos de la presente invención. De acuerdo con la figura, la base de datos consiste en el bloque de datos jerarquizado A F. Aquí, D1 y D2 en la figura tienen el mismo patrón gráfico que el bloque de datos D, y se distinguen uno del otro porque las posiciones jerárquicas son diferentes. El bloque de datos A F tiene patrones gráficos representados por coordenadas únicas y está jerarquizado en un patrón que combina estos patrones. Aquí, la jerarquización significa que el bloque de datos superior designa la posición en el bloque de datos superior del bloque de datos inferior. Sin embargo, las coordenadas del bloque de datos son independientes en el orden superior e inferior, y el bloque de datos superior especifica la posición del bloque de datos inferior en el bloque de datos superior. Por ejemplo, en la Fig. 1 (A), el bloque de datos A, coordenadas para expresar su patrón gráfico (xa, ya) y el bloque de datos B, las coordenadas Ab indica el punto de partida (0,0) de D (D1), el Ad . Es decir, el bloque de datos A puede representarse mediante las coordenadas A (xa, ya, Ab, Ad). Del mismo modo, el bloque de datos B es B (xb, yb, Bc, Bd, STOP), los bloques de datos D1 a ubicación jerárquica tiene un mismo patrón figura es diferente, D2 es D (xd, yd, De, STOP), los datos El bloque E está representado por E (xe, ye, Ef), y el bloque de datos F está representado por F (xf, yf). Un bloque de datos (círculo grueso) que tiene 'STOP' de los bloques de datos B y D (D 1 y D 2) significa un bloque de detención que es la fuente de procesamiento de despliegue para el desarrollo de ubicación y el desarrollo de gráficos.
El desarrollo de la disposición antes mencionado significa que una pluralidad de bloques de datos inferiores se jerarquizan bajo un bloque de detención a fin de ajustar la disposición de patrones gráficos dispuestos en la misma capa mediante un bloque de detención predeterminado. Por ejemplo, organizando y desarrollando el bloque de datos A F, el bloque de datos A F se convierte en las siguientes coordenadas y se expresa de la siguiente manera. Es decir, el bloque de datos A, A (xa, ya, Ab, Ad), el bloque de datos B es B (xb, yb, BC, Bd, STOP), el d1,2 bloque de datos es D (xd, yd, de, df , STOP), el bloque de datos E está representado por E (xe, ye), y el bloque de datos F está representado por F (xf, yf).
La expansión gráfica significa que los bloques de datos de la capa inferior están incrustados en las mismas coordenadas de un bloque de detención predeterminado y estratificados en la misma capa. Es decir, el bloque de datos A que se muestra en la Fig. 1 (C) por ser gráfico ampliado está representado por un B (xa, ya, Ab, Ad), el bloque de datos B es el bloque de datos de C se incorpora (xb, yb, xc, yc, Bd, STOP) está representado por, los bloques de datos D e y F, están incorporados en el bloque de datos d1,2 (xd, yd, xe, ye, xf, yf, expresada en STOP).
En la figura 3, un patrón gráfico representado por el bloque de datos A _ {F} en capas se representa de forma abstracta. Por el bloque de datos A F, por ejemplo 3, cuando el patrón de máscara del chip a ser capas grabado está representado, 3 estratificación es posible formar un bloque de datos B, D1 y D2 es un bloque de tope. Es decir, los bloques de datos B, D 1, D 2 forman capas diferentes jerárquicamente. El patrón de máscara se forma en una estructura de tres capas de una capa superior, una capa intermedia y una capa inferior. La relación entre el modelo de máscara y el bloque de datos A F están patrón gráfico representado por el bloque de datos A se corresponde con el patrón de grabado de la capa inferior del chip, el bloque de datos B (los mismo en capas captura bloque de datos C) y el patrón gráfico D1 representada por (captura bloques de datos e y F obtenidas por la disposición en capas) corresponde al patrón de grabado de la capa media del chip, está representado por la D2 bloque de datos (bloques de datos capturado e y F) El patrón de figura corresponde al patrón de grabado de la capa superior del chip.
Como un patrón de grabado de la capa inferior, se puede citar un ejemplo de diseño de todo el chip. disposición de circuitos integrados incluye cada pluralidad compone de bloques como un conjunto de ejemplo lógica, varios cientos de puertas, durante cada bloque está acoplado con las líneas de señal como, la línea de alimentación principal requerido proporcionado alrededor del bloque, Además, un patrón gráfico en el que una gran cantidad de células de memoria intermedia de entrada / salida y almohadillas de unión están dispuestas fuera de la misma. Como el patrón de grabado de la capa intermedia, por ejemplo, se puede mencionar el diseño en el bloque. Bloquear diseño está dispuesto un pequeño y gran número de células dispuestas en filas, entre las células se combinan en las líneas de señal requeridas, también la tensión de alimentación se suministra a través de las líneas de suministro de energía a cada célula Tal patrón de figura. Como un patrón de grabado de la capa superior, por ejemplo, se puede mencionar un ejemplo de patrón de la celda anterior. La célula, por región ejemplo de tipo n, así, de tipo P región bien, las líneas celulares formadas de la primera capa de interconexión de aluminio, una capa de polisilicio que sirve como un electrodo de puerta del MOSFET, una porción de contacto entre la región de difusión y el aluminio, el terminal celular , se proporciona la tensión de alimentación Vcc de alimentación de cableado de alimentación formado de la primera capa de interconexión de aluminio, un patrón de la figura tal como el patrón de la tensión de tierra Vss suministra línea de alimentación formado de la primera capa de interconexión de aluminio.
En el proceso de disposición del chip, la disposición de un gran número de células, entre las células, aunque tal disposición entre los bloques será determinado por el enfoque jerárquico, en este caso, además de la información sobre el patrón de entidad de células que no se obtienen por el diseño de la célula , Se requiere información en la biblioteca de diseño de celda. La biblioteca de diseño celular 斯 Ru no está particularmente limitada, la forma de la célula, el nombre y la posición de una célula terminal, la zona prohibida de cableado de la capa de cableado de cada uno, zona prohibida del agujero pasante, las posibles direcciones de cableado, la posición que se puede conectar de la línea de alimentación Y similares se definen para cada uno de ellos.
La figura 4 muestra los pasos de procesamiento del programa de generación automática de la biblioteca de células. El programa de generación automática de bibliotecas de disposición de celdas no está particularmente limitado, pero genera automáticamente una biblioteca de disposición de celdas con la siguiente información como información principal. La información principal antes mencionada, jerárquica información de patrón entidad una vez generada de la célula dada desde la base de datos, los pasos de despliegue disposición dada desde la biblioteca de cálculo gráfico para calcular los diferentes campos definidos de la biblioteca de diseño celular, de acuerdo con los pasos de despliegue disposición El procedimiento de expansión gráfica proporcionado por la biblioteca de reglas de agregación para simplificar los datos, y la información de especificación para definir el bloque de datos como la fuente de expansión en el procedimiento de expansión. La información de patrón de entidad de la celda se crea por operación manual o programa de generación automática de patrón de celda basado en un diagrama de circuito previamente diseñado. En el caso de automático, la información del diagrama de circuito es ingresada por el dispositivo de entrada de gráfico interactivo. Entonces, el programa de patrón de celdas generación automática, las reglas de diseño en el proceso de trabajo de un circuito integrado semiconductor que se suministra por separado a la información diagrama de circuito, basándose en otra información designada (el valor del transistor W / L, etc.), entidad célula Genera patrones automáticamente La información de patrón de entidad generada se almacena en forma de un archivo en la computadora como un bloque de base de datos que tiene sus propias coordenadas.
Tipo de operaciones permitidas por el procedimiento de despliegue disposición no está particularmente limitado, (también referido como de aquí en adelante simplemente AMPLIAR operación) regiones expandidas, la operación de unión en múltiples regiones (en adelante referido simplemente como operación OR), el producto fijado para una pluralidad de regiones (En lo sucesivo también denominado simplemente 'operación Y'), y operación de inversión de gráficos (en lo sucesivo también denominada simplemente 'operación INV'). La operación BROADEN indica un proceso de ampliación o reducción de una figura determinada. Por ejemplo esta operación, al obtener zona prohibida de enrutamiento, la torre o el espaciamiento que permitido por las reglas de diseño para la capa de interconexión primero de aluminio en el cableado de señal de la célula (por ejemplo [delta]), un corto de cableado cuando el proceso de , Se utiliza cuando es necesario definir un área de prohibición de cableado suponiendo que un patrón de cableado real se engrosa por un ancho deseado. La operación OR indica un proceso de cálculo de una suma de cifras dadas. La operación OR anterior se usa, por ejemplo, en el caso donde hay una pluralidad de áreas prohibidas de cableado, tomando la suma de gráficos y eliminando definiciones redundantes. La operación AND indica un proceso para obtener una porción superpuesta de una figura dada. En el proceso LSI de interconexión multicapa, es imposible aplanar suficientemente cada patrón de capas mediante la película de capa intermedia, de modo que una etapa de la película intermedia se forma generalmente en el borde del diseño. Es obvio que cuando estas partes se superponen en capas múltiples, el paso se vuelve cada vez más intenso, provocando la desconexión del patrón y la reducción del rendimiento, y debe evitarse tanto como sea posible en el momento del diseño. Por lo tanto, el estado de superposición de patrón se obtiene mediante una operación AND, que prohíbe el paso del cableado y prohíbe la formación del orificio pasante (el orificio de contacto que se conecta entre las capas de cableado plurales). Por ejemplo, utilizado con el fin de evitar la creación de un orificio pasante que une las dos capas y un metal 3 de metal capa en el borde del cableado de polisilicio y la capa de cableado de metal 1 están porción de la capa de difusión de solapado. La operación INV es un proceso de invertir una figura dada y obtener una región sin una figura dada. Esto se usa cuando la posición del terminal debe ahuecarse para no prohibir el cableado de la parte del terminal de la celda.
Dado que se espera que el procedimiento de despliegue y el procedimiento de desarrollo de gráficos difieran según la serie de celda y las reglas de proceso, estos fragmentos de información se proporcionan como bibliotecas externas al programa de generación automática de la biblioteca de disposición de celda. Aunque la biblioteca de disposición de células no está particularmente limitada, se forma a través del siguiente procesamiento mientras se utiliza la información anterior. En primer lugar, el bloque de datos se suministra a la unidad de entrada de datos, y la unidad de desarrollo de jerarquía realiza el desarrollo de la ubicación y el desarrollo gráfico según sea necesario. En la sección de desarrollo de jerarquía, se realiza el procesamiento de generación de cada elemento de definición mediante el cálculo de despliegue de disposición y el proceso de agregación de la cantidad de datos por desarrollo gráfico. Los datos después del procesamiento de expansión o el proceso de expansión que hace innecesario el proceso de expansión se omiten y los datos de entrada se suministran a la sección de salida donde se realiza el cambio de formato y el procesamiento de salida de archivo. El procesamiento de entrada de los datos gráficos de la celda es el procesamiento de la información de designación de entrada, como la información de patrón de entidad de la celda, la definición de la cuadrícula de cableado, el parámetro de tiempo de procesamiento, la información de bloqueo de un archivo. El proceso de generación de cada elemento de definición por la ubicación y la operación de expansión debe definirse en la biblioteca de diseño de celda realizando la operación de expansión de ubicación requerida ya descrita utilizando la información de patrón de entidad, etc. de la celda en función del bloque de detención designado. Y genera varios artículos. Mediante este procedimiento de despliegue e implementación, se ajusta la disposición de las celdas dispuestas en la misma capa. Paso operaciones de despliegue disposición Regla de diseño en el proceso, la definición de la retención, se describen en la biblioteca operación de despliegue disposición considerando el cableado de todo el chip. Por lo tanto, también se puede crear colocado biblioteca cálculo despliegue sobre la misma base instantáneamente a cualquier célula, y también cambiar en el proceso de fabricación o similar ocurre fácilmente cambiando el algoritmo escrito biblioteca operación de despliegue dispuesto La reelaboración óptima se hace posible. Proceso de ajuste de la cantidad de datos por dicha expansión patrón, examine el bloque de datos que tiene el bloque de tope generado en el proceso anterior, mediante la definición de una pluralidad de bloques de datos más bajas en la misma capa, reducir el número de bloques de datos que definen Es un proceso para simplificar la definición del todo. Este proceso también reduce la cantidad de datos. El proceso de cambio de formato y salida de archivo es un proceso de conversión de los datos obtenidos mediante la ejecución del programa de generación automática de la biblioteca de disposición de celda hasta ahora en el formato de la biblioteca de disposición de celda y su salida.
De acuerdo con la generación automática de la biblioteca de disposición de celda como se describió anteriormente, la precisión de generación de cada elemento de definición es constante de acuerdo con los contenidos de procedimiento del proceso de cálculo de despliegue que se adopta, y es mayor que el proceso mediante operación manual.
Tal información de la biblioteca diseño celular obtenido en la colocación automática de bloques, la colocación de bloques y de enrutamiento se utiliza en el procesamiento de cada uno de la línea inter-bloque, el diseño general se determina en última instancia, los datos de máscara Convertido y almacenado como datos de dibujo de máscara. Cuando la intención de hacer chip de procesamiento de la disposición, si es necesario o dispuestas horizontalmente o dispuesta verticalmente la misma celda lógica de acuerdo con la ubicación de la celda se produce, también irregular retardo de propagación de la señal Ya Si es necesario cambiar el patrón de la celda de acuerdo con el lugar de la disposición para corregir la diferencia del valor de diseño y usarlo preparando de antemano una celda que satisfaga estos requisitos, Al activar el programa de diseño automático y especificar el patrón de rendimiento como W / L, es posible crear el patrón de entidad de la celda necesaria. Así, cuando una nueva célula añadió patrones y la lógica modificados en la disposición en desarrollo necesitaban, en otras palabras, si, cuando es necesario utilizar selectivamente las diferentes células de los patrones y el rendimiento en la disposición en desarrollo, la biblioteca de diseño, el procedimiento de Que se puede obtener fácilmente
De acuerdo con la realización anterior, se obtienen los siguientes efectos operacionales.
(1), mientras que el despliegue dispuesto y procesamiento de desarrollo gráfico, la forma de la célula, terminales situados, y por zona prohibida de enrutamiento y continuar para generar automáticamente, generado automáticamente fácil y rápidamente Biblioteca de células disposición de la información de patrón de entidad de la célula Tu puedes hacer En ese momento, es posible omitir el procesamiento de desarrollo de ubicación y el procesamiento de expansión gráfica innecesarios mediante la operación del programa. Por lo tanto, ya que el reconocimiento de patrones entidad adicional, y la codificación de la célula con la mano no se requiere el proceso de modificación, para mejorar la fiabilidad de la biblioteca de células diseño generado, y es posible acelerar la generación de la biblioteca de diseño celular.
(2) especificando el bloque de datos que es un despliegue dispuesto fuente de procesamiento y el desarrollo gráfico, puede estar formado de la misma capa de datos en bloque de datos jerárquica, mediante la agregación de la cantidad de datos de procesamiento utilizado en la operación del programa Tu puedes hacer Es decir, es posible acelerar la generación de la biblioteca de diseño de celda.
(3) Al utilizar el método de generación de la biblioteca de diseño celular, tal como en esta realización en el proceso para proceder con el diseño de un circuito integrado semiconductor, una demanda para cambiar el patrón de celdas para añadir en el medio en un nuevo diseño de celda Para que una biblioteca de diseño de celda deseada pueda prepararse rápidamente. Esto es, por lo medio diseño fácilmente avanzada de un circuito integrado semiconductor o cambiar el patrón de células añadido o una nueva célula, por lo tanto, el diseño capaz de maximizar el rendimiento del circuito integrado semiconductor Es posible facilitar la generación. Es decir, añadir o cambiar la célula se ve facilitada, es posible optimizar el diseño debido al cambio celular en el momento del diseño.
Por encima de presente la invención hecha por el [inventor] específicamente se describió basa en ejemplos, pero la presente invención no está limitada a ellos pero, naturalmente, puede ser modificado de diversas maneras sin apartarse de la esencia de la misma .
Por ejemplo, en la presente realización se ha descrito el caso de aplicar a una biblioteca de diseño celular del patrón de máscara utilizado para el grabado de la punta no se limita a ello, los datos de procesamiento en el tratamiento de base de datos jerárquica Se puede usar de manera efectiva al recolectar cantidades y procesarlas. En la descripción anterior, la invención realizada por el presente inventor se realizó principalmente en base al proceso de disposición del patrón de máscara que es el campo de utilización detrás de él, pero no está limitado.
La presente invención se puede usar para procesar al menos una base de datos jerárquica.
Efecto de la invención
Los efectos obtenidos por los representativos de las invenciones divulgadas en la presente solicitud se describirán brevemente de la siguiente manera.
Es decir, es posible desarrollar una base de datos jerárquica sin intervención humana, y formar una biblioteca de datos deseada. Esta tasa de formación para aumentar la precisión de los datos de la biblioteca de datos que se forme también puede ser aumentado. Además, en el proceso de desarrollo de la base de datos, dado que el proceso de expansión se realiza especificando el bloque de datos como la fuente de expansión, la cantidad de información de la biblioteca de datos a formar puede agregarse.
Breve descripción de los dibujos La figura 1 es un diagrama de transición de un ejemplo de un proceso de desarrollo de la presente invención.
La figura 2 es un diagrama de patrón gráfico de ejemplo de un bloque de datos de la presente invención.
La figura 3 es un diagrama de patrón de máscara de ejemplo mostrado por un bloque de datos de la presente invención.
La figura 4 es un diagrama de flujo de un ejemplo de procesamiento de la base de datos de la presente invención.
Un bloque de datos que representa el patrón de máscara en la capa inferior del chip A
Un bloque de datos que representa el patrón de máscara de la capa intermedia del chip B
Bloque de datos que representa el patrón de máscara de la capa intermedia del chip D1
Bloque de datos que representa el patrón de máscara de la capa superior del chip D2
Dibujo :
Application number :1996-153135
Inventors :株式会社日立製作所、日立コンピュータエンジニアリング株式会社
Original Assignee :松井隆、島田豊