Método de gestión de aguafuerte de proceso de desmear de permanganato alcalino
Descripción general
 Se proporciona un método para gestionar un baño de ataque químico en el que se mantiene la estabilidad del baño de ataque químico, se puede evitar la falla de grabado y se puede mantener un tratamiento de velocidad de ataque constante. ] La cantidad reactivo de ataque predeterminado muestreada del baño de decapado 1 a intervalos predeterminados, permanganato por analizador automático 2, hidróxido de sodio, para analizar la concentración de sal de manganeso, calculado el valor analizado en el controlador 3, Y transmite la cantidad de reabastecimiento para ajustar la concentración de hidróxido de sodio a la concentración predeterminada a la bomba 6 de hidróxido de sodio. Además, la célula de medición de la velocidad de ataque químico 10, se añadió gota a gota a una constante de tiempo una cantidad reactivo de ataque predeterminado muestreada del baño de decapado cada titulador automático velocidad constante 8 a un metro colorimétrico envío 12 en la relación de la bomba de circulación 11 velocidad de ataque químico del líquido de color en el medidor de color 12 rojo de púrpura a su vez continúan goteo del disolvente orgánico de la pieza de trabajo de la misma especie, el baño de decapado verde mientras se mantiene una concentración de permanganato en el baño de decapado en un intervalo constante .
Campo técnico
(2) Se puede mantener un tratamiento de velocidad de grabado constante.
Antecedentes de la técnica
La presente invención se refiere a un método de gestión del proceso desmear baño de decapado utilizando un permanganato alcalino, y en particular a la gestión de la velocidad de ataque químico.
baño de decapado de proceso permanganato desmear alcalina es, básicamente, permanganato, hidróxido de sodio, la concentración de permanganato en el baño de decapado de la siguiente manera con el progreso de Configurado y la reacción de ataque químico en tales regenerante, La concentración de hidróxido de sodio disminuye mientras aumenta la concentración de manganato.
4 MnO 4 - + 4 OH - + C -> 4 MnO 4 2 - + CO 2 + 2 H 2 O
Entre ellos, permanganato, la velocidad de ataque químico cuando se consume hidróxido de sodio se reduce para mantener estas concentraciones concentración absorciometría permanganato constante a intervalos de tiempo predeterminados, se neutralizó con hidróxido de sodio de concentración Se analizaron por el método de titulación y se complementaron con cada cantidad deficiente para controlar hasta cierto rango de concentración.
Sin embargo permanganato en el baño de decapado, por reacción de contacto con hidróxido de sodio en el baño para descomponer la sal de manganeso como sigue, la reducción de la velocidad de ataque químico del objeto.
2 MnO 4 - + 2 OH - → 2 MnO 4 2 - + 1/2 O 2 + H 2 O
Por lo tanto, con el fin de suprimir el cambio en la concentración de permanganato en el baño de decapado, un agente de regeneración eficaz de suministro tales como el ácido hipocloroso, es esencial para gestionar la velocidad de ataque químico del objeto Hay regenerante concentración en el baño de decapado, el análisis cuantitativo directa, porque es difícil en cantidades traza, la cantidad de cambio de los valores analíticos anteriores se midieron la concentración de permanganato en el baño de decapado por el método de absorbancia a intervalos de tiempo regulares el consumo estimado regenerante regenerante de la cantidad de suministro basado en el resultado del análisis del permanganato cada intervalo de tiempo predeterminado se ha realizado el método en la gestión de la velocidad de ataque químico de tal manera que profiláctico y.
Tarea de solución
sal de manganeso en el baño de decapado la reacción procede a dióxido de manganeso con la concentración pobre estabilidad se hace más alta, el único suministro de dicho agente regenerador descrito anteriormente difícil de suprimir el cambio en la concentración de permanganato , y el alivio adicional para llevar la pérdida de velocidad de ataque químico mediante el aumento de los baños de productos debido a la adición de regenerante al baño de grabado, la velocidad de ataque químico disminuye para actualizar el baño de decapado la concentración de permanganato alcanza un determinado valor Estaba haciendo.
En el método de gestión anterior, ya que el control de la concentración regenerante adecuada en el baño de decapado es difícil, procede la reacción de descomposición del ácido permangánico en el baño de decapado a dióxido de manganeso con el aumento de permanganato Si la concentración de regenerante es insuficiente La concentración de sal disminuye.
Por otro lado, hay un problema de que es imposible obtener un subproducto velocidad de ataque químico constante se hace excesiva debido Si la concentración de regenerante es reacción de regeneración excesiva de permanganato en el baño de decapado.
Solución
Un objeto de la presente invención es eliminar los problemas anteriores, la estabilidad del baño de decapado se mantiene, es posible evitar que el grabado defectos, y cómo administrar el baño de decapado de cierto proceso desmear permanganato alcalino que aguafuerte velocidad de procesamiento puede ser mantenida .
Según la presente invención, la etapa de muestreo de una cantidad predeterminada del reactivo de ataque para la gestión de la velocidad de ataque químico del baño de decapado que consiste en una solución mixta de permanganato, hidróxido de sodio en desmearing de proceso de permanganato alcalino de la placa de circuito impreso , Analizando la concentración de permanganato y la concentración de manganato en la solución de muestreo por el método de absorbancia y la concentración de hidróxido de sodio por el método de titulación de neutralización, respectivamente. una etapa de reponer el sodio, el paso de dejar caer el disolvente orgánico de la pieza de trabajo de la misma especie a una velocidad constante al líquido de muestreo, el tiempo desde el gota a gota hasta que el permanganato se cambia al manganeso colorimétrico sal Método y el tiempo consumido por ese tiempo y la cantidad de permanganato consumida hasta la conversión en manganato disolventes orgánicos requeridos a buscar velocidad de ataque químico del baño de decapado sobre la base de la cantidad de agente, velocidad de ataque químico se calcula el exceso de permanganato cuando supera el límite de control superior, para producir un permanganato basado en el valor calculado Y aumente la concentración de manganato al valor apropiado. cantidad de permanganato Por otra parte, un paso de velocidad de ataque químico se calcula es insuficiente en el caso de menos de la gestión de límite inferior, y electrolizada en el dispositivo electrolítico basado en el valor calculado, para reproducir el permanganato a un valor adecuado Se puede obtener un método para gestionar un baño de grabado de un proceso de desmear de permanganato alcalino.
A continuación, la presente invención se describirá con referencia a los dibujos. La figura 1 es un diagrama de bloques de una realización de la presente invención. Que el baño de decapado 1, permanganato por analizador automático 2 y una cantidad predeterminada de la muestra Etchant 50 100 ml a intervalos predeterminados, hidróxido de sodio, para analizar la concentración de sal de manganeso. Calcula los valores de análisis del analizador automático 2 en el controlador 3 transmite una concentración de hidróxido de sodio de bomba dosificadora de hidróxido de sodio 6 la tasa de reposición para un ajuste a una concentración predeterminada 40 55 g / L.
Además, la célula de medición 10, una cantidad predeterminada muestreada Etchant 50 150 ml del baño de ataque químico a intervalos de tiempo regulares, 0,1 titulador automático 8 en un envío por la bomba de circulación célula de medición 11 a un metro colorimétrico 12 0 .5Ml / líquido de color gota a gota a colorimetría metro 12 a una velocidad de min continúa gota a gota un disolvente orgánico de la pieza de trabajo de la misma especie de rojo púrpura se ponga verde.
A continuación, el controlador 3 calcula la cantidad de disolvente orgánico requerida para la titulación y el tiempo predeterminado para determinar la velocidad de ataque químico.
La fórmula de reacción por el disolvente orgánico añadido es la tasa de migración de velocidad de descomposición y el disolvente orgánico permanganato será como sigue a manganita una correlación positiva.
4 MnO 4 - + 4 OH - + C -> 4 MnO 4 2 - + CO 2 + 2 H 2 O
(Esquema con un disolvente orgánico añadido) sobre la base del resultado de la medición de la velocidad de ataque químico, si el valor supera la velocidad prescrita, se calcula la masa permanganato exceso, el controlador 3, un manganato de permanganato La cantidad de disolvente orgánico necesaria para la formación de sal se transmite a la bomba cuantitativa de disolvente orgánico 13.
Mientras tanto, la velocidad de ataque químico antes mencionado si es inferior a la velocidad predeterminada tiene, la electrólisis reproducción adecuada de permanganato requerida para la velocidad de ataque químico de metales a base de níquel instalado en calculado el baño de decapado 1 en el controlador 3 ánodo 14 de la placa, para gestionar la corriente se aplica al aparato de electrólisis 16, que comprende una concentración de permanganato de electrodo de cátodo 15 en el baño de ataque químico de una placa de metal a base de platino a un valor apropiado.
Como el disolvente orgánico a añadir, se puede usar una solución de epiclorohidrina que tenga un grupo epoxi o similar. Optimum intervalo de densidad de corriente del proceso electrolítico, el ánodo 0.1A / dm2 0.5A / dm2, en el electrodo de cátodo es 1.0A / dm2 2.0A / dm2.
La velocidad de grabado en el baño de grabado se controla mediante el método descrito anteriormente.
La figura 2 es un diagrama de bloques de otra realización de la presente invención. Que el baño de decapado 1, permanganato por analizador automático 2 y una cantidad predeterminada de la muestra Etchant 50 100 ml a intervalos predeterminados, hidróxido de sodio, para analizar la concentración de sal de manganeso. Calcula los valores de análisis del analizador automático 2 en el controlador 3 transmite una concentración de hidróxido de sodio de bomba dosificadora de hidróxido de sodio 6 la tasa de reposición para un ajuste a una concentración predeterminada 40 55 g / L.
Además, la célula de medición 10, una cantidad predeterminada muestreada Etchant 50 150 ml del baño de ataque químico a intervalos de tiempo regulares, 0,1 titulador automático 8 en un envío por la bomba de circulación célula de medición 11 con el sistema colorimétrico 12 0 .5Ml / líquido de color gota a gota a colorimetría metro 12 a una velocidad de min continúa gota a gota un disolvente orgánico de la pieza de trabajo de la misma especie de rojo púrpura se ponga verde. A continuación, el controlador 3 calcula la cantidad de disolvente orgánico requerida para la titulación y el tiempo requerido para determinar la velocidad de ataque químico.
La fórmula de reacción por el disolvente orgánico añadido es la tasa de migración de velocidad de descomposición y el disolvente orgánico permanganato será como sigue a manganita una correlación positiva.
4 MnO 4 - + 4 OH - + C -> 4 MnO 4 2 - + CO 2 + 2 H 2 O
(Esquema con un disolvente orgánico añadido) sobre la base del resultado de la medición de la velocidad de ataque químico, si el valor supera la velocidad prescrita, se calcula la masa permanganato exceso, el controlador 3, un manganato de permanganato La cantidad de disolvente orgánico necesaria para la formación de sal se transmite a la bomba cuantitativa de disolvente orgánico 13.
Por otro lado, si la velocidad de ataque químico era de menos de la velocidad predeterminada, la electrólisis de reproducción de permanganato requerida para una velocidad adecuada de grabado, el ánodo de la placa metálica de níquel calculado en el controlador 3 14, platino después de circular el líquido en la bomba de circulación 21 a la celda electrolítica 18 de cuatro celda de electrolisis equipada con un electrodo de cátodo 15 de la placa metálica del sistema, el número de celdas de electrólisis y el valor corriente aplicada calculado por el controlador 3 requiere, dependiendo del volumen de electrolito Aplique una corriente eléctrica para administrar la concentración de permanganato en el baño de grabado a un valor apropiado.
Como el disolvente orgánico a añadir, se puede usar una solución de epiclorohidrina que tenga un grupo epoxi o similar. Optimum intervalo de densidad de corriente del proceso electrolítico, el ánodo 0.1A / dm2 0.5A / dm2, en el electrodo de cátodo es 1.0A / dm2 2.0A / dm2.
midiendo además las concentraciones de permanganato antes y después de la electrólisis de la entrada 19 y la salida 20 muestras reactivo de ataque por el analizador automático 2 de la celda electrolítica 18 cada 30 minutos, el controlador 3 de la eficiencia de regeneración electrolítica basado en el valor Aplicar una corriente predeterminada a la celda electrolítica de repuesto cuando disminuye la eficiencia electrolítica. Con el fin de evitar que el rendimiento de la corriente disminuye debido a la adhesión de los productos de manganeso sobre los electrodos de la celda electrolítica 18, después de parar la bomba de circulación 21, una solución mezclada de peróxido de hidrógeno 1 3% y 25% de ácido sulfúrico suave El producto de manganeso en la superficie del electrodo se elimina alimentando el grabador al baño electrolítico 18 mediante la bomba de transferencia 22.
La velocidad de ataque del baño de grabado se gestiona mediante el método descrito anteriormente.
Efecto de la invención
Breve descripción de los dibujos
La presente invención como se describe anteriormente, con el fin de uniforme la concentración de permanganato en el baño de decapado por la adición de un disolvente orgánico o regeneración electrolítica basado en la medición de la velocidad de ataque químico del objeto en el baño de decapado, la velocidad de ataque químico dentro de un rango predeterminado Se puede mantener y se pueden obtener los siguientes efectos.
(1) Se mantiene la estabilidad del baño de ataque químico y se pueden evitar defectos en el tratamiento de grabado.
La figura 1 es un diagrama de bloques que muestra una configuración de una realización de la presente invención.
La figura 2 es un diagrama de bloques que muestra la configuración de la segunda realización.
1 baño de grabado
2 Analizador automático
3 controlador
Bomba dosificadora de solución de permanganato 4
Tanque de 5 soluciones de permanganato
6 bomba dosificadora de hidróxido de sodio
7 Tanque de reserva de hidróxido de sodio
8 Dispositivo de titulación automática
9 Tanque de stock de solvente orgánico
10 celda de medición
11 bomba de circulación de células de medición
12 colorímetro
13 bomba dosificadora de disolvente orgánico
14 polo del ánodo
15 Polo catódico
16 dispositivo electrolítico
17 rectificador
18 celda electrolítica
19 Puerto de entrada
20 Outlet
21 bomba de circulación
22 bomba de transferencia de grabado suave
Tanque de líquido 23 de grabado suave
Reclamo
Un paso de muestreo de una cantidad predeterminada del reactivo de ataque para la gestión de la velocidad de ataque químico del baño de decapado que consiste en una solución mixta de permanganato, hidróxido de sodio en la reivindicación 1 placa de circuito impreso desmearing alcalina proceso desmear permanganato de la Analizando la concentración de permanganato y la concentración de manganato en la solución de muestreo por el método de absorbancia y la concentración de hidróxido de sodio por el método de titulación de neutralización, respectivamente; un paso de reposición, el paso de dejar caer el disolvente orgánico de la pieza de trabajo de la misma especie a una velocidad constante al líquido de muestreo, el tiempo de colorimetría de caer al permanganato se cambia al manganeso sal de Y midiendo el tiempo y el consumo orgánico hasta que el permanganato se convierte en manganato disolventes orgánicos requeridos a buscar velocidad de ataque químico del baño de decapado sobre la base de la cantidad de agente, velocidad de ataque químico se calcula el exceso de permanganato cuando supera el límite de control superior, para producir un permanganato basado en el valor calculado Y aumente la concentración de manganato al valor apropiado. cantidad de permanganato Por otra parte, un paso de velocidad de ataque químico se calcula es insuficiente en el caso de menos de la gestión de límite inferior, y electrolizada en el dispositivo electrolítico basado en el valor calculado, para reproducir el permanganato a un valor adecuado Y el baño de grabado está controlado.
Dibujo :
Application number :1994-006033
Inventors :富山日本電気株式会社
Original Assignee :中島茂樹