MÉTODO PARA PRODUCIR SUSTRATO CERÁMICO
Descripción general
 La reducción de la no uniformidad debido a la contracción durante la cocción del sustrato cerámica cocida, para proporcionar una alta precisión, un método de fabricación para la preparación de sustrato de cerámica de alta densidad de dicho dispositivo. ] En un horno de cocción, un mecanismo de movimiento de avance para el movimiento de avance del sustrato de cerámica cocida, y un mecanismo de rotación horizontal para hacer girar horizontalmente la 該 被 dispararon sustrato cerámico proporcionado, un sustrato de cerámica por sinterización 該 被 dispararon sustrato cerámico , El sustrato cerámico sinterizado se dispara moviéndose mientras se gira horizontalmente.
Campo técnico
La presente invención se refiere a un método para producir un sustrato cerámico y el aparato, y más particularmente, un sustrato cerámico tal como una placa de circuito multicapa (cableado) y el sustrato IC, la diferencia de contracción térmica entre la dirección de disparo del recorrido de la parte delantera y trasera A un método y aparato para fabricar un sustrato cerámico que puede fabricarse continuamente sin disminuir la precisión dimensional.
Antecedentes de la técnica
En los últimos años, junto con la miniaturización y una mayor densidad de módulos, las demandas de tableros de cableado multicapa de cerámica están aumentando. También, partes montadas en el sustrato también progresado más pequeña de paso estrecho, alto rendimiento, para poner en práctica la exactitud del tamaño del sustrato, han llegado a ser necesarios ± 0,01 mm.
Por un lado, para aumentar la eficiencia de montaje se requiere pluralidad equipada que contiene como muchos sustratos en una sola hoja, sin embargo, el tamaño de la hoja, se expande desde el 50mm ángulo cuadrado y 75 mm convencional a 100 mm cuadrado . La precisión dimensional de ± 0.1 mm también corresponde a ± 0.10% incluso para un sustrato cuadrado de 100 mm.
Mientras tanto, la placa de cableado multicapa de cerámica se produce mediante el método de hoja verde, y su encendido se dispara continuamente en el horno de cinta. En otras palabras, que ponen el objeto a ser disparado substrato de cableado de múltiples capas de cerámica en el cinturón, y disparó moviendo el horno de cocción en la que una atmósfera de gas constante, y la producción de un substrato de cableado de múltiples capas de cerámica.
Tarea de solución
Sin embargo, si el método convencional para la fabricación de un sustrato cerámico como se describe anteriormente, se produce la deformación debido a la irregularidad de la contracción en el sustrato a cocción, la exactitud dimensional, que ± 0,3 0,4% es un límite Hay un problema
La presente [inventor] es hacer frente a este problema, el tratamiento se llevó a cabo diversas investigaciones, si el proceso de fabricación, con respecto a la dirección de desplazamiento de la cinta, con la parte delantera y trasera del sustrato de cerámica cocida, una diferencia de temperatura se produce, para la cocción de la dirección de desplazamiento de la parte delantera del sustrato que va a calentarse previamente contraído, la parte trasera y en comparación contracción se vuelve irregular, los resultados disminución de la precisión dimensional como una deformación por cocción se investigó la ocurrencia.
La presente invención proporciona un método y aparato realizado en vista de los puntos anteriores, el tratamiento reduce la no uniformidad debido a la contracción durante la cocción del sustrato cerámica cocida, de alta precisión, de alta densidad de cerámica y su objeto Y para proporcionar un método de fabricación y un aparato para fabricar un sustrato.
Solución
El método de fabricación del sustrato de cerámica de la presente invención como un medio para resolver los problemas anteriores, en la fabricación de un sustrato cerámico y disparó en un horno de cocción para ser disparado sustrato de cerámica, mientras que horizontalmente girando el 該 被 disparó sustrato cerámico Y se hornea al ser movido.
El aparato para producir un sustrato cerámico de la presente invención, en el horno de cocción, el mecanismo de movimiento de avance para el movimiento de avance del sustrato de cerámica cocida, y un mecanismo de rotación horizontal para hacer girar horizontalmente la 該 被 disparó se proporciona sustrato cerámico, De modo que el substrato cerámico ardiente puede rotarse horizontalmente y moverse hacia adelante en paralelo en el horno de cocción.
Sobre la base de la configuración anterior, un método de fabricación de un sustrato cerámico de la presente invención, por ejemplo, cuando el movimiento linealmente mientras que gira horizontalmente en un horno de cocción para ser disparado sustrato cerámico, antes y después del punto de 該 被 disparado sustrato cerámico en el tiempo de penetración del horno de calcinación , Se mueve en la dirección de desplazamiento mientras dibuja un arco circular, y el punto frontal del sustrato de cerámica sinterizada,
x = r cos ωt + vt
y = r sin ω t
El punto posterior del sustrato cerámico sinterizado es,
x = r cos (ω t + π) + v t
y = r sin (ω t + π)
Sin embargo, la velocidad angular del sustrato cerámico cocido ω
v Velocidad en la dirección rectilínea (dirección x) del sustrato cerámico a ser disparado
, Y los puntos delantero y trasero del sustrato cerámico sinterizado están uniformemente horneados. En consecuencia, la velocidad de movimiento v de la dirección recta, por la velocidad angular ω del sustrato cerámica cocida, dibujar una trayectoria de la trocoidal, actúa a reducirse la contracción térmica debido a la sinterización.
El aparato para producir un sustrato cerámico de la presente invención, en el horno de cocción, provisto de mecanismo de movimiento de avance para el movimiento de avance del sustrato de cerámica cocida, y un mecanismo de rotación horizontal para hacer girar horizontalmente la 該 被 disparó sustrato cerámico que tener la 該 被 disparó sustrato cerámico, en un horno de sinterización puede ser movido mientras gira horizontalmente, y actúa para llevar a cabo sin problemas en paralelo tanto de trabajo.
DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LAS REALIZACIONES PREFERIDAS A continuación, se describirán formas de realización de la presente invención con referencia a los dibujos. Aquí, la Fig. 1 La figura 7 muestra una realización de la presente invención, la Fig. 1 es un diagrama esquemático de un horno de cocción, la Figura 2 es una vista en sección longitudinal del horno de cocción 3 es una vista en planta del interior del horno de cocción, la Fig. 4 ilustración de un sustrato cerámico para explicar el método de medición de la cantidad de deformación debido a la contracción por calor después de la cocción, la Figura 5 es la cantidad de deformación de la vista de medición de un sustrato cerámico de acuerdo con una realización del método, la Fig. 6 es la deformación del sustrato de cerámica de acuerdo con el ejemplo comparativo método La figura 7 es un diagrama explicativo del lugar para explicar la trayectoria del sustrato cerámico a hornear en el horno de cocción.
Esta forma de realización está dirigida a un aparato para producir un sustrato cerámico, en resumen, el mecanismo de movimiento lineal 3 para el movimiento lineal a ser disparado sustrato cerámico 2 en el interior del horno de cocción 1, un mecanismo de rotación horizontal para horizontalmente girar el objeto para ser disparado sustrato cerámico 2 4.
Hornada del horno 1, se utiliza un horno de mufla típico, al menos, 10 ° C / min velocidad de calentamiento, que consiste en la cocción del horno capaz de disparo continuo puede contener 20 minutos a una temperatura máxima de 900 ° C .. El método de calentamiento usado, la composición del gas de la atmósfera, por la estructura de escape está configurado de manera similar al calcinador cinturón, y una puede ser disparado por movimiento continuo del objeto a ser disparado sustrato cerámico 2 por el mecanismo 3 se mueve linealmente.
El mecanismo de movimiento lineal 3 está compuesto por guías de cadena 5, 5, cadenas de rotación 6, 6 y una mesa giratoria 7. La guía de la cadena 5, 5 se han instalado en el interior del horno de cocción izquierda y derecha 1, se proporciona la 6,6 cadena de rodillo superior, una pluralidad de placa de conexión 8 y 8 entre la distancia cadena giratoria 6,6 predeterminada en acoplada, la parte central de cada placas de conexión 8, 8 montada la placa giratoria 7,7 para la colocación de un objeto para ser disparado sustrato cerámico 2, configurado para mover linealmente el sustrato cerámica cocida 2 en el horno de cocción 1 Ha sido hecho.
El mecanismo de rotación horizontal 4 es más configuración y piñón 10 conectado a través de una placa giratoria 7,7 y el cojinete 9 para la colocación de un objeto a ser despedidos sustrato cerámico 2, un bastidor 11 que engrana con el piñón 10. Entonces, el mecanismo horizontal 4 que gira, por la fuerza motriz de la cadena giratoria 6,6 que constituye el mecanismo de movimiento lineal 3, cambiando el movimiento lineal por un piñón cremallera 11 y 10 engrana con el movimiento de rotación, el plato giratorio 7,7 Y está configurado para rotar horizontalmente.
Luego, utilizando el aparato de fabricación del sustrato de cerámica cocida de la presente realización se describirá el método de calcinación del sustrato cerámica cocida 2,2. En primer lugar, la atmósfera de gas en el horno de cocción 1 después de ajustar las condiciones de cocción del sustrato cerámica cocida 2, para conducir la cadena de rodillos 6,6 recta mecanismo de movimiento 3. sustratos cerámicos Al colocar el objeto a ser disparados 2 a ser transferidos desde el dispositivo de transporte (no mostrado), que se instala el setter (colocado) en el plato giratorio 7, 7, el plato giratorio 7, 7, la cremallera 11 y el piñón 10 Por consiguiente, para mover el interior del horno de cocción 1 se mueve linealmente con la rotación horizontal, que puede ser disparado sustratos cerámicos secuencialmente para ser disparado 2 durante este tiempo.
Por lo tanto, el sustrato de cerámica 2 despedido, en el interior del horno de cocción 1, el mecanismo de rotación horizontal 4, para mover el horno de cocción 1 mientras que la rotación horizontal, por el encogimiento debido a la uniforme de sinterización se convierte, el disparo Es posible reducir una diferencia en la contracción térmica debido a porciones antes y después de entrar en el horno de cocción 1 del sustrato de cerámica 2.
Aquí, el movimiento lineal del sustrato cerámica cocida 2 en el horno de cocción 1, la rotación horizontal, como se muestra en la Fig. 7, para mover el horno de cocción 1 en el locus se mueve hacia adelante mientras gira horizontalmente. Aquí, la trayectoria de la rotación horizontal, puesto que la velocidad angular del plato giratorio 7, 7 está determinado por una disposición de engranaje de la cremallera 11 y el piñón 10, que no se muestra, con una configuración capaz de conmutar la disposición de engranaje, al cambio Lo estoy haciendo
Entonces, recta con el fin de confirmar el efecto de la presente forma de realización, el mismo con el sustrato cerámica cocida 2, el método de fabricación del sustrato de cerámica de la presente realización (en adelante, referido como el método de la invención presente) y el horno de cocción en el método de ejemplo convencional para la fabricación de un sustrato de cerámica al causar movido, para producir un sustrato de cerámica, respectivamente, se describirá resultados de la comparación mediante la medición de la cantidad de deformación debido a la contracción después de la cocción.
Aquí, como un objeto para ser disparado sustrato cerámico, CaO-Al2O3-SiO2-B2O3 polvo a base de vidrio: 60% en peso, polvo de alúmina: una mezcla de polvo constituida por 40% en peso, de disolvente, aglutinante, y se amasa a plastificante obtenido la suspensión mediante un método de rasqueta, espesor crea una hoja verde de 0,3 mm, la superficie de la hoja verde, perforando el agujero pasante 12 de 0.5mmφ a un campo de 25 mm de la después de la cocción en forma de rejilla, esta Se laminaron mediante unión por termocompresión en condiciones de 100ºC, 50 kg / cm2, 20 segundos. Además, las condiciones de sinterización se mantuvieron a una tasa de aumento de temperatura de 10ºC / min y una temperatura máxima de 900ºC durante 20 minutos.
El método de medición de la cantidad de deformación debido a la contracción por calor, los puntos medidos (B1, B2, B3, B25) de rejilla de 25 hoyos 12, 12 del paso de 25 mm vertical y horizontal después de la cocción como se muestra en la Fig. 4 (véase la Fig. 4 a), cada punto de la normal virtual después de la cocción en consideración de la contracción del sustrato, es decir, el punto de diseño (A1, A2, A3 A25) (Fig 5, si la distancia (es decir, entre la referencia 6.), desviación) | A1-B1 |, | A2-B2 | ,, | A25-B25 | realiza midiendo y esta vez, el origen de A13 y B13 del centro de sustrato como el mismo punto.
Para este procedimiento de ejemplo, la velocidad de rotación es una vez / minuto, una vez / 3 min, se sometió a tres tipos de disparar una vez / 10 minutos, este procedimiento de ejemplo, en ambos métodos convencionales, por cada cinco Se realizó una prueba comparativa. A continuación, (en otras palabras, la desviación) que la distancia | A1-B1 |, | A2-B2 | ,, | muestra en la Tabla 1 para el valor máximo que la cantidad de deformación | A25-B25. Aquí, en la Tabla 1, la relación de la deformación, 100 × desviación | Un Bn | / distancia | punto de diseño origen | es el valor máximo de una (%).
Entonces, como se muestra en la Tabla 1, en el método de la invención presente, mientras que la cantidad de deformación de los métodos de ejemplo comparativo son 0.236Mm, cantidad de deformación cuando la velocidad de rotación es una vez / 1 minuto a 0,063 mm Hay, también cuando el máximo una vez / 10 minutos, la cantidad de deformación es 0,115, que es un medio del método convencional, se confirmó que un pequeño cambio de encogimiento por cocción. A partir de esto, quedó claro que de acuerdo con el método y el aparato de la presente realización, es posible fabricar un sustrato cerámico que puede mejorar la precisión dimensional.
La presente invención no se limita a la realización descrita anteriormente, incluyendo la configuración capaz de modificaciones dentro del alcance que no cambien el quid de la presente invención. A este respecto, en la realización descrita anteriormente, como el sustrato de cerámica cocida, se han descrito en la placa de cableado multi-capa de cerámica puede ser un tablero de solamente una cerámica que no depende del método de hoja verde, también como un sustrato, una temperatura baja de 800 1.100 ° C. disparar el sustrato, un sustrato de alúmina, el sustrato de nitruro de aluminio, otros diversos materiales cerámicos (por ejemplo, mullita) es natural que se puede aplicar a todo el sustrato de cerámica hecha de. En la realización descrita anteriormente, aunque el horno de cocción se describe en un horno de mufla, con la configuración provista de un mecanismo giratorio para hacer girar el objeto a ser disparado sustrato cerámico, un horno de empuje, incluso disparando horno horno de solera de rodillos El bien es una cuestión de rutina.
Además, en canalón a la realización antes mencionada se ha descrito mecanismo del sustrato cerámica cocida se mueve en el horno de sinterización como un mecanismo de movimiento lineal, el movimiento de serpentina (meandros en la dirección horizontal, de meandros en la dirección vertical), el movimiento circular (Por ejemplo, volver a doblar dentro del horno de cocción, etc.). Además, el mecanismo de rotación y el mecanismo de movimiento hacia adelante pueden ser accionados independientemente. En esta especificación, la rotación incluye la rotación (por ejemplo, un modo en el que se repiten la rotación hacia adelante y la rotación hacia atrás).
Efecto de la invención
Como resulta evidente de la descripción anterior, de acuerdo con el método de fabricación del sustrato de cerámica de la presente invención, ya que el movimiento mientras que gira horizontalmente en un horno de cocción para ser disparado sustrato cerámico, todos los puntos del sustrato de cerámica cocida, un arco Mientras se mueve en la dirección de avance y dispara uniformemente, es posible reducir la contracción térmica debido al disparo y mejorar su precisión dimensional.
Además, según el aparato para la fabricación de un sustrato cerámico de la presente invención, en un horno de cocción, un mecanismo de movimiento de avance para el movimiento de avance del sustrato de cerámica cocida, y un mecanismo de rotación horizontal para hacer girar horizontalmente la 該 被 disparó sustrato cerámico El substrato de cerámica a ser disparado se puede mover mientras se gira horizontalmente en el horno de cocción.
Breve descripción de los dibujos
La figura 1 es un diagrama de configuración esquemático en un horno de cocción.
La figura 2 es una vista en sección vertical de un horno de cocción.
La figura 3 es una vista en planta del interior del horno de cocción.
La figura 4 es una vista explicativa de un sustrato cerámico para explicar un método de medición de una cantidad de deformación por termocontracción después de la cocción.
La figura 5 es un diagrama que muestra la medición de la cantidad de deformación del sustrato cerámico de acuerdo con esta realización.
La figura 6 es un diagrama de medición de la cantidad de deformación de un sustrato cerámico de acuerdo con el método de ejemplo comparativo.
La figura 7 es un diagrama explicativo de un lugar para explicar la trayectoria del sustrato cerámico a quemar en un horno de cocción.
1 de cocción del horno 2 para ser disparado sustrato cerámico, 3 mecanismo (mecanismo de movimiento hacia adelante), moviéndose linealmente cuatro horizontal de rotación mecanismo 5 guía de la cadena 6 hace girar la cadena, 7 placa giratoria, 8 placa de conexión, 9 del cojinete, 10 un piñón, 11 un bastidor, 12 a través del orificio
Reclamo
Tras la fabricación del sustrato de cerámica por el disparo de las reivindicaciones 1 a sinterizar sustrato de cerámica por cocción del horno, el método para producir un sustrato de cerámica que se caracteriza en que el fin de la cocción moviendo mientras horizontalmente girando el 該 被 disparó sustrato cerámico .
Para reivindicación 2 horno de cocción, un mecanismo de movimiento de avance para el movimiento de avance del sustrato de cerámica cocida, y un mecanismo de rotación horizontal para hacer girar horizontalmente la 該 被 dispararon sustrato cerámico proporcionado 該 被 despedido de cerámica en el horno de sinterización Caracterizado porque la rotación horizontal y el movimiento hacia adelante del sustrato se pueden realizar en paralelo.
Dibujo :
Application number :1994-001669
Inventors :株式会社住友金属セラミックス
Original Assignee :荒木英明、波多野光久