MÉTODO DE PROCESAMIENTO DE MOHO
Descripción general
 En la formación de una película de desmoldeo sobre la superficie del molde en el molde de una máquina de formación de vidrio, la película de liberación con a unirse a la superficie fuertemente molde mediante grabado acción, suavizando de este modo la superficie. ] Superficie del molde 1a, la película de liberación 7 se forma sobre la superficie del molde 2a 1 y 2, mediante el montaje de la pieza de trabajo 12 sobre la mesa 11, y suministra el gas metano en la cámara 10, la acción del plasma de gas metano haciendo que la reacción de descomposición mediante el depósito de carbono sobre la superficie de la pieza de trabajo 12 para formar la película de carbono y luego suministrada desde la unidad de suministro de gas argón 14 para el gas argón en la cámara 10, el plasma el gas argón de por ionizado por la acción, a la película de liberación del molde de carbono formado por el método CVD de plasma, se realiza un grabado con plasma utilizando bombardeo de iones, por la conducción acción durante este grabado, la película de liberación del molde de carbono de la pieza de trabajo 12 Se adhiere firmemente a la superficie y la superficie se alisa.
Campo técnico
La presente invención proporciona un vidrio que forma la máquina para presionar moldeo de un productos de precisión ópticos tales como una lente, a un método para formar una película de liberación sobre la superficie del molde del molde.
Antecedentes de la técnica
En los últimos años, llegando a la fabricación de productos ópticos de precisión, tales como lentes, que para usar una prensa de medios de formación se han desarrollado en lugar del pulido, se ha puesto en uso práctico. El aparato para realizar el moldeo en prensa, por la carga de material de vidrio, calentar los dos moldes en un estado no presurizado entre el molde de prensa superior e inferior, que es para ser calentado por medios de calentamiento tales como un calentador, respectivamente, Después de suavizar el material de vidrio cargado en el interior, el moldeado de la prensa se realiza aplicando una presión entre las matrices de moldeo superior e inferior. Después de la terminación de esta prensa moldeada, el molde se enfría, el molde superior y el molde inferior se separan, y se saca el producto moldeado a presión.
Aquí, el molde actúa una gran presión, sin embargo, desde inducida a calentamiento, el material utilizado para el mismo, sólo se puede utilizar como un limitado y así por ejemplo metal duro y cerámica fina. Por lo tanto, cuando el contacto tipo directamente a material de vidrio, liso se impide el deslizamiento entre la superficie del molde y el vidrio durante el prensado, también de liberación cuando la extracción de producto del molde después del moldeo pobre, la precisión No se puede procesar bien. Para este fin, se usa una estructura configurada para formar una película de liberación sobre la superficie del molde. Como método de formación de la película de liberación, en términos de tal se puede llevar a cabo el control de espesor de película estrictamente, se utiliza a menudo el método de deposición de vapor químico (CVD).
Tarea de solución
Aquí, con un método de formación de película química tal como el método CVD, no siempre es posible adherirse firmemente entre la superficie del molde y la película de liberación. Molde y así ejercer una presión en el estado calentado, ya que es accionado en condiciones bastante severas, sin durabilidad suficientemente obtenido película de liberación de molde depositado químicamente, uso a largo plazo Existe la posibilidad de que se produzcan inconvenientes tales como la separación de la película de liberación o similar. Aunque la superficie del molde del molde está formado por el pulido, polvo de pulido en el momento de pulido no está completamente eliminado, materia extraña muy fino y polvo de pulido de grasa o similar a la superficie del molde otro está unido cuando se produce afecta a la precisión de deposición de la película de liberación en la superficie, la adhesión se vuelve irregular con respecto a la superficie del molde de la película de liberación, esto es causado, a veces la precisión de la prensa de formación se deteriora . Además, por ejemplo cuando se utiliza carbono como la película de liberación, típicamente por la descomposición por la acción de gas metano plasma, pero el fin de depositar una superficie de molde de carbono, un problema que necesariamente la superficie de la película no es punto suave También hay
La presente invención se hizo para resolver los problemas de la técnica anterior descrita anteriormente, es un objeto en una condición extremadamente estable una película de liberación formada en la superficie del molde de un molde de prensa , Y para formar una película para ser suave.
Solución
Para lograr el objeto anterior, la presente invención es para cargar el material de vidrio entre un par del molde de prensado, en un estado de ser calentado y ablandado el material de vidrio, ejerciendo una presión entre los dos molde de prensado un método de formación de una película de liberación sobre la superficie del molde en el molde de un vaso que forma la máquina para llevar a cabo el moldeo por, una película de liberación está laminado a la superficie del molde, luego se somete a ataque químico la película de liberación en la ingeniería de iones Se caracteriza por lo que hiciste.
Primero, se forma una película de liberación en la superficie del molde del molde. Esta película de liberación se puede formar por cualquier medio adecuado, y se puede formar mediante un método químico tal como un método de CVD u otro método. Sin embargo, si este método de formación de película química se lleva a cabo meramente, no se puede obtener estabilidad en la película de liberación. Por lo tanto, después de la formación de la película, el grabado se realiza acelerando y colisionando iones en la película de liberación. Como resultado, la película de liberación se graba al agua fuerte y se clava en la superficie del molde para que se fije con fuerza, y la superficie queda terminada para que sea lisa y uniforme.
Se describirá en detalle con referencia a realizaciones de la presente invención con referencia a los dibujos. En primer lugar, se describirá la configuración de la máquina formadora de vidrio con referencia a la figura 1. En la figura, 1 es el molde inferior, 2 de la matriz superior, 3 denota un tipo de cilindro, respectivamente, menor parte de la superficie de molde de la parte de superficie superior y el molde superior 2 de la matriz inferior 1 está acabado a fin de seguir la forma exterior de cada artículo moldeado Que son las superficies 1a y 2a. Entonces, el material de vidrio 4 se carga entre las superficies de moldeo 1a, 2a de las matrices de moldeo superior e inferior 1, 2. Alrededor del molde del cuerpo 3 y el calentador 5 está montado, haciendo funcionar el calentador 5 en un estado cargado con material de vidrio 4, calentando el molde 1, sobre el que se suavizó material de vidrio 4 o elevar el molde inferior 1 a lo largo del molde del cuerpo 3, o el molde superior 2 se baja, se mantiene para el tipo de la parte móvil en una estado de fijación del molde de la otra parte. De ese modo, el material de vidrio 4 se moldea a presión. Cuando se completa este moldeo a presión, el producto moldeado se puede sacar después de enfriar el material de vidrio 4.
En la máquina de conformación de vidrio configurado como se describe anteriormente, con el fin de mejorar la precisión de procesamiento, el tipo de la cara 1a de los dos moldes 1 y 2, las propiedades de liberación de 2a debe hacerse buena. Sin embargo, el molde 1 y 2, teniendo en cuenta la fuerza y ​​similares para el peso y el calor, deben estar formadas de un elemento tal como un carburo cementado o una multa de cerámica. Por lo tanto, la capacidad de liberación del molde de los moldes 1 y 2 en sí mismos no es buena. Por lo tanto, como se muestra en la vista ampliada de la Fig. 2, se forma la superficie 1a de molde del molde 1 y 2, en la superficie de 2a Hanaregatamaku 7.
La película de liberación 7 se forma usando el aparato de procesamiento de formación de película que se muestra en la figura 3. En la figura, el número de referencia 10 denota una cámara en la que se proporciona una mesa 11, sobre la cual se fija una pieza de trabajo 12 compuesta por moldes 1 y 2. Como se muestra en la figura 4, esta pieza de trabajo 12 está montada en un rebaje 11 a formado en la mesa 11. Y lo tanto, cuando el montaje de la pieza de trabajo 12 en el rebaje 11a de la mesa 11, la holgura entre la parte de superficie superior de la pieza de trabajo 12 se convierte en una posición de altura que coincide sustancialmente con la superficie de la mesa 11, y la parte cóncava 11a y la pieza de trabajo 12 es extremadamente Como se muestra en la FIG. Como resultado, la pieza de trabajo 12 continúa hacia la superficie de la mesa 11, de modo que la pieza de trabajo 12 puede formarse para no tener sustancialmente una porción de borde.
En el trabajo 12, la película de liberación 7 se forma en la cámara 10, y luego se graba la película de liberación 7. Para esto, la porción de suministro 13 de metano (gas CH4), y una porción de suministro 14 del gas de argón, la tubería 15 y 16 de suministro de gas y se unieron en el medio de estos unidad de suministro de gas metano 13 y una unidad de suministro de gas argón 14 El tubo 17 y está conectado a la cámara 10. Entonces, el grado de apertura de la válvula para cada uno de estos tubos 15 y 16 0 (es decir, cerrado estado) de flujo de válvula de control 18, 19 se proporciona que permite que el control de flujo para el estado completamente abierto desde y hacia el tubo de suministro de gas 17 Se proporciona una válvula 20 de encendido y apagado. Aquí, la cámara 10 está diseñada para ser despresurizada. Para esto, la cámara 10 se ha aspirado tubo 21 está conectado, la bomba de un refuerzo mecánico 22 y la bomba rotativa 23 está conectada a la tubería de succión 21. Además, un calentador 24 para calentar el trabajo 12 está montado sobre la mesa 11, y está conectado un suministro de potencia de alta frecuencia 25 para suministrar potencia de alta frecuencia. En la figura, 26 es un manómetro para medir la presión dentro de la cámara 10.
Por lo tanto, a continuación se describirá un método para depositar la pieza de trabajo 12 usando este aparato de procesamiento de formación de película. En primer lugar, el montaje de la pieza de trabajo 12 sobre la mesa 11, haciendo funcionar la bomba rotativa 23 y el refuerzo mecánico de la bomba 22, para reducir la presión dentro de la cámara 10. Cuando la cámara 10 alcanza un estado de presión predeterminada por el manómetro 26, y suministra el gas metano a partir de la unidad de suministro de gas metano 13. Al mismo tiempo, haciendo funcionar el calentador 24 proporcionado en la mesa 11 para calentar la pieza de trabajo 12, también suministra la potencia de alta frecuencia de la fuente de potencia de alta frecuencia 25 para generar plasma entre la mesa 11 y el electrodo superior 27. Entonces, haciendo que un gas metano reacción de descomposición suministrado a la cámara 10 por la acción del plasma, la deposición de carbono sobre la superficie de la pieza de trabajo 12, se forma la película de carbono. Es decir, se forma una película de carbono de liberación de molde mediante un método de plasma CVD.
Cuando la película de liberación de carbono tiene un espesor predeterminado, la válvula de paso 20 para detener el suministro de gas a la cámara 10 mediante el cierre de la descarga el gas metano en la cámara 10 por la bomba rotativa 23 en este estado. A continuación, el gas de argón se suministra desde la unidad de suministro de gas de argón 14 a la cámara 10. Cabe señalar que la fuente de potencia de alta frecuencia 25 puede ser causado para detener la operación en el momento también, o la sustitución del gas será retenido estado incluso operando en el momento de sustitución del gas. El gas de argón suministrado a la cámara 10 es ionizado por la acción del plasma, mediante la aceleración en una vaina de plasma indicada por una línea de puntos en la Fig. 4, a la película de liberación del molde de carbono formado por el método CVD de plasma, Se realiza un grabado con plasma utilizando bombardeo iónico. Mediante esta acción de implantación durante el grabado, la película de liberación de carbono se adhiere firmemente a la superficie del trabajo 12 y la superficie se alisa.
De esta manera, se mejoró después de la generación de película de liberación de carbono por el método CVD de plasma, mediante la realización del proceso de grabado de plasma de la película de liberación de carbono mejora la precisión de la superficie de la película de liberación, la fuerza de la membrana . Como resultado, el uso de la pieza de trabajo 12 como el molde inferior 1 y el molde superior 2 de una máquina de prensa de moldeo para la realización de prensa de moldeo del material de vidrio 4, la 1a superficie del molde de tipo 1 y 2, la liberación se formó película 2a 7 por la acción, se convierte de liberación satisfactoria en el momento de sacar el artículo moldeado se deslice y el molde durante el moldeo, el material de vidrio 4 extremadamente alta precisión se puede estampación, mecanizado de precisión por la observación de las franjas de interferencia No hay posibilidad de que se produzca un fenómeno de perturbación de las franjas de interferencia cuando se inspecciona, y la precisión de la superficie del producto moldeado puede mejorarse notablemente. Además, el moho y así ejercer una presión en el estado calentado, por significativamente se acciona en condiciones muy duras, pero la autorización película 7 implantado por grabado de plasma después de la acción de deposición, la unión de la superficie del molde fuerza se mejora, y también si se adhirió alguna materia extraña y la suciedad a la superficie del molde o similar, se convierte en una resistencia uniforme de la película de liberación, que no causa una reducción parcial en la fuerza y ​​similares. Por lo tanto, la operación estable se puede realizar durante un largo período de tiempo.
En la realización descrita anteriormente se ha configurado para utilizar una película de liberación del molde de carbono, además de esto, también es posible formar una película de liberación del ejemplo, nitruro de boro. Cuando se forma esta película de liberación, se puede suministrar a la cámara un gas de compuesto de boro y un gas de nitruración. El grabado ha sido llevar a cabo usando un gas argón, aparte de esto, tal como helio, neón, también es posible utilizar un gas inerte tal como xenón.
Efecto de la invención
Como se ha descrito anteriormente, la presente invención proporciona una película de liberación formada en la superficie del molde en el molde, a continuación, desde la película de liberación era tal como para llevar a cabo el grabado de ingeniería de iones, aglutinante para la superficie del molde de la película de liberación del molde La resistencia se mejora notablemente, se puede exhibir una fuerza de unión uniforme y la superficie de la película de liberación se vuelve más lisa. Como resultado, llegó a la prensa de moldeo por unos productos ópticos de precisión de materiales de vidrio, piezas de fundición de precisión se mejora significativamente, una vida más larga, etc., de los productos de retención y el moho se puede lograr.
Breve descripción de los dibujos
La figura 1 es una vista explicativa de una configuración de una máquina formadora de vidrio.
La figura 2 es una vista en sección ampliada de una parte principal de una matriz de formación.
La figura 3 es un diagrama explicativo de la configuración de un aparato de procesamiento de formación de película.
La figura 4 es una vista en sección de una mesa en la que se coloca una obra.
1 molde inferior
2 molde superior
Superficie de tipo 1a, 2a
4 material de vidrio
10 cámaras
Mesa 11
11a recreo
12 trabajos
13 Unidad de suministro de gas metano
14 Unidad de suministro de gas Argon
25 Fuente de alimentación de alta frecuencia
Reclamo
Y material de vidrio cargado entre la reivindicación 1 par de molde de prensado, el material de vidrio en un estado donde se suavizó el calor, el vidrio que forma la máquina para llevar a cabo el moldeo por ejercer presión entre el molde de prensado de dos un método de formación de una película de liberación sobre la superficie del molde en el molde, una película de liberación está laminado a la superficie del molde, y luego el moldeo de vidrio, caracterizado en que tiene la película de liberación como sometido a ion Engineered grabado Método de mecanizado de moldeo morir.
Reivindicación 2, donde lleva a cabo una liberación química película de deposición de vapor método de apilamiento, también grabar el método de mecanizado de moldeo matriz de una máquina de formación de vidrio según la reivindicación 1, caracterizado porque para llevar a cabo el ataque químico por bombardeo iónico.
Mediante el suministro de metano con la reivindicación 3 cámara suministrado por la descomposición de metano por la acción del plasma, la película de liberación del molde de carbono se lamina a la superficie del molde, y luego después de lo cual produce gas metano a partir de la cámara, el gas argón a la cámara de , Y los átomos de argón se ionizan para grabar la película de liberación de carbono, y la película de liberación de carbono se conduce a la superficie del molde.
Dibujo :
Application number :1994-001622
Inventors :富士写真光機株式会社
Original Assignee :佐藤保彦