Método de formación del patrón de abolladura
Descripción general
 Mejore el respeto al medio ambiente y la eficiencia económica. ] Haz láser mediante el calentamiento de la pieza de trabajo a un lugar similar, guiada en el punto de superficie modo de patrón de calentamiento receso, dirigiendo el chorro de oxígeno punto, el suministro de energía a la temperatura de fusión punto de calentamiento del material de la pieza calentada Pero sin exceder la temperatura de sublimación del óxido formado por calentamiento.
Campo técnico
La presente invención es una pieza de trabajo, un método de formación de un patrón de la depresión en la superficie de la molibdeno en particular o una pieza de trabajo de aleación de molibdeno para tubo de rayos X de ánodo rotatorio.
Antecedentes de la técnica
La República Federal de Alemania Publicado de Patente No. 3,930,573, la rotación del ánodo del tubo de rayos X se da a conocer que tiene patrón de ranuras en una placa de tungsteno ánodo. El patrón de ranura husillo rotor para soportar la placa de ánodo está destinado para el bloqueo de la placa de ánodo de modo que no gire, el husillo, para formar un patrón ranura correspondiente al hombro frente a la placa de ánodo. Estos patrones de surcos están formados por grabado fotolitográfico.
La República Federal de patente publicada de Alemania Nº 3900730 da a conocer un tubo de rayos X de ánodo rotatorio que tiene un cojinete de ranura en espiral. asiento de la ranura espiral gira con la parte fija, y la placa de ánodo está conectado a la esfera del tubo de rayos X, que consta de partes que rodean la parte fija. La formación de un patrón de surco espiral que tiene un mm de anchura número de profundidad y 0,01 mm 0,02 mm de 10 minutos a la parte fija. aleación de galio, aunque presión de vapor es también un poco que queda en el funcionamiento del tubo de rayos X, que está interpuesto entre las piezas de apoyo como un lubricante. Esta pieza de soporte está hecha de molibdeno porque la mayoría de los otros metales reaccionan químicamente con aleaciones de galio activas. El patrón de los surcos en espiral también se forma mediante grabado fotolitográfico que requiere aproximadamente 10 pasos. Este método de fabricación del patrón de surcos en espiral resulta en un alto costo. La solución de grabado requerida para esto tiene un impacto ambiental considerable.
Tarea de solución
Por consiguiente, es un objeto de la presente invención proporcionar un método como el descrito anteriormente que puede lograr un menor y / o menor costo del impacto ambiental.
Según la presente invención, el material de la pieza de trabajo se oxida en el punto de calor, de esta forma el óxido formado de este modo se sublima (vaporizado), lejos de la cavidad sin fundir. Esto se debe a que el suministro de energía se controla para que exceda la temperatura de sublimación sin alcanzar la temperatura de fusión. La fusión del material en el caso de molibdeno o aleación de molibdeno requiere una fuente de alta temperatura, que es de una temperatura de fusión muy alta (aproximadamente 2.600 °). Por otro lado, el hinchamiento se forma al final para formar la ranura, lo que no es preferible para el rodamiento de ranura en espiral. Según la presente invención, en comparación, es suficiente a una potencia de temperatura relativamente baja, que oxida molibdeno, porque se sublima a unos 800 °.
La calefacción es realizada por un dispositivo láser. El uso de cuero para el manejo de materiales es en sí mismo conocido del pasado. Además el proceso de corte o separación, se sabe para dirigir el punto de chorro de oxígeno calentado por el cuero (por ejemplo, 'soldadura por láser, corte y tratamiento de superficie' (soldadura por láser, corte y tratamiento de superficie), el Reino Unido, el pozo The Welding Institute, 1984 28 p. 32). Según esta publicación, el suministro de oxígeno o aire comprimido al punto de calor (punto de láser), mientras que la densidad de potencia se incrementa en el punto de láser, el material fundido retirar desde el punto de separación por soplado en la otra mano. La densidad de energía aumenta y el material se oxida en el punto del láser. Esto ha aumentado la absorción de la radiación láser sustancialmente (a una longitud de onda que se genera por al menos láser de CO2) es un buen acoplamiento térmico obtenida para que los haces de efecto láser. Además, la oxidación es una reacción térmica que libera energía adicional.
Sin embargo, en la forma conocida, el suministro de oxígeno para fundir el material en combinación con la potencia térmica en el punto de láser, indeseable en tal masa fundida de la presente invención. Por esta razón, por lo tanto, se puede suministrar una pequeña cantidad de energía, lo que da como resultado la oxidación y posterior sublimación (evaporación) solamente. Por consiguiente, la presente invención tiene un punto de fusión es aplicable a alta molibdeno o pieza de trabajo de aleación de molibdeno que la temperatura de sublimación de la temperatura de oxidación y sus óxidos.
El impacto en el medio ambiente es relativamente pequeño. Esto se debe a que los materiales eliminados por sublimación solo ocurren como óxidos de gases. La producción procede más rápido que el grabado, y se requiere menos inversión de capital.
La presente invención se describirá en detalle a continuación con referencia a los dibujos. Pieza de trabajo a procesar 1 es una molibdeno, una parte del cojinete de ranura en espiral, por ejemplo, República Federal de Alemania la Publicación de Patente No. 3.900.730 Pat similares giratorio ánodo del tubo de rayos X. Es rotacionalmente simétrico alrededor del eje 2 y en su superficie hay dos regiones 3 y 4 con un patrón de surco como un hueso de pez. Este patrón de surcos se muestra completamente en la región 4, pero también en la región 3 no está completo. Las ranuras de dicho patrón tienen, por ejemplo, un ancho de 0,22 mm y una profundidad de 0,015 mm. El espacio entre dos ranuras adyacentes es del mismo ancho que la ranura misma (0,22 mm). En la figura, solo la relación dimensional se muestra esquemáticamente, y no es la escala original.
La ranura está formada por un láser 5 dibujado esquemáticamente, preferiblemente un láser Nd: YAG. Preferiblemente, el láser se opera continuamente (operación CW) de modo que la temperatura sea constante independientemente de la hora y el lugar. Condujo a la lente de objetivo para enfocar el haz en la superficie de la pieza de trabajo con o espejo abatible apropiada a través de la guía de ondas 6 se muestra el haz de láser por una línea discontinua, el punto de procesamiento por láser 8 de dimensiones de aproximadamente 0,3 mm Se forma perpendicular a la superficie del objeto. La densidad de potencia en el punto debe ser lo más uniforme posible, lo que se consigue más plenamente cuando se opera en el modo TEM00, o al orden del modo de baja menos del láser.
Cuando se opera el láser 5 con una potencia de aproximadamente 200 300 W, prácticamente no se produce ningún cambio en la superficie de la pieza de trabajo 1 en condiciones atmosféricas. Sin embargo, cuando el oxígeno directa (o de aire comprimido) punto de chorros calentada por el láser, en la misma la energía eléctrica se produce la sublimación Después de la oxidación, por lo tanto, el óxido resultante lejos de la cavidad y se evaporó. Para este fin, el objetivo de enfoque se fija en la boquilla 9 de una manera conocida. Esta boquilla tiene una abertura 10 a través de la cual el rayo láser alcanza la pieza de trabajo. Mientras que al mismo tiempo, el rayo láser está encerrado en el chorro de oxígeno suministrado desde la entrada lateral 11. La cantidad de molibdeno oxidado y sublimado por el suministro de oxígeno aumenta rápidamente al principio como la tasa de flujo de oxígeno. Sin embargo, por encima de un cierto índice de flujo de oxígeno, esta cantidad de molibdeno cambia solo ligeramente. Por lo tanto, el caudal de oxígeno se selecciona para que sea igual o superior a este valor. Los valores adecuados de oxígeno cuando la distancia es de 3,5 mm de la pieza de la abertura de la boquilla, el diámetro de las aberturas de boquilla de 3,5 mm es 15 l / min.
Profundidad ranuras de flujo de oxígeno, el tamaño y distribución de intensidad del punto de láser, y la potencia del láser, así, también en la velocidad del punto de láser se desplaza sobre la superficie de la pieza de trabajo. Este 'progresivo' se procesa para el eje de simetría 2, además de la pieza giratoria 1 (flecha 12) alrededor de la pieza de trabajo (no mostrada) de control digital móvil de una máquina CNC en la dirección axial (flecha 13) Sucede al insertar cosas. Cuando estos movimientos se realizan al mismo tiempo, se puede formar uno de los surcos de patrón similares a los huesos de pescado. Profundidad de la ranura 0,015 mm, avanzando anchura de ranura velocidad adecuada para 0.22mm y la potencia del láser de aproximadamente 200W es de aproximadamente 360 ​​mm / min.
Variando el tamaño del punto de láser, es posible cambiar la anchura de la ranura, mientras que es posible cambiar la profundidad de la ranura mediante la variación de la potencia del láser o la velocidad de movimiento. Mover la pieza de trabajo de una manera diferente a la mancha láser da como resultado otro patrón de indentación geométrica. Para este propósito, cambiamos el programa de la máquina CNC a la cual la pieza de trabajo 1 está sujeta.
DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LAS FORMAS DE REALIZACIÓN PREFERIDAS
Efecto de la invención
Las ranuras que produce este método no es ni horizontal ampollas de cualquier tipo, pequeña profundidad de picos y valles de fondo de la ranura, y tiene una superficie muy lisa.
Breve descripción de los dibujos
Breve descripción de los dibujos La figura 1 es una vista esquemática que muestra un método de acuerdo con la presente invención.
1 pieza de trabajo
2 ejes
3 regiones
4 áreas
5 Cuero
6 guía de onda
7 lente objetivo
Punto láser 8
9 boquillas
10 apertura
11 Entrada horizontal
Reclamo
Reivindicación 1 pieza de trabajo, un método para formar un patrón en depresiones particulares en la superficie de la pieza de trabajo de molibdeno o molibdeno de la aleación para el tubo de rayos X de ánodo rotatorio, la pieza de trabajo se calienta a una, punto modo de patrón de calentamiento rebaje a modo de punto por un rayo láser las guías de la superficie, dirigida al chorro de oxígeno para calentar puntos, para controlar el suministro de energía a superar la temperatura de sublimación del óxido formado por calentamiento sin llegar a la temperatura de fusión del material de la pieza al lugar de calefacción De ese modo, se forma un patrón de depresión.
Reivindicación 2 utilizado para la preparación de un cojinete de ranura en espiral, el método de la reivindicación 1, en el que la formación de un modelo de al menos una de la ranura en espiral del componente de soporte hecho de molibdeno.
Dibujo :
Application number :1994-000664
Inventors :エヌ?ベー?フィリップス?フルーイランペンファブリケン
Original Assignee :ハインツユルゲンヤコブ