Controlador de dispositivo semiconductor
Descripción general
 Configuración simple del manejador del dispositivo semiconductor, menos número de piezas, reducción de costos, fácil mantenimiento. ] Para la bobina 3 de la herida alrededor del núcleo 2a del electroimán 2, el voltaje se suministra desde la fuente de alimentación 13 por encender el interruptor 4, una corriente fluye a través de la bobina 3, el núcleo 2a del electroimán 2 es un electroimán, que comprende hierro, níquel El dispositivo semiconductor 1 que tiene el marco principal es atraído por el electroimán 2 que es un portabrocas. Al desconectar el interruptor 4, el núcleo 2a del electroimán 2 pierde su fuerza magnética y se libera el dispositivo semiconductor 1.
Campo técnico
La presente invención mantiene el dispositivo semiconductor, después de transportar una parte predeterminada, se refiere dispositivo semiconductor controlador que tiene un mandril para liberar el dispositivo semiconductor.
Antecedentes de la técnica
La figura 5 muestra un ejemplo de un portabrocas de un manipulador de un dispositivo semiconductor convencional. 5, el numeral 1 denota un dispositivo semiconductor, la boquilla 7 que constituye el plato de vacío para sujetar por succión el dispositivo semiconductor 1, 8 la primera manguera de aire para suministrar aire de vacío a la boquilla 7, la boquilla 9 por encima válvula de aire de vacío para controlar el suministro de aire de vacío para 7, 10 de vacío mecanismo de control de válvula de aire para controlar la apertura y cierre de la válvula de aire de vacío 9, 11 se suministra al mecanismo de control de válvula de aire de vacío 10 desde la CPU externa o similar Y una segunda manguera de aire 12 para suministrar aire de vacío a la válvula de aire de vacío 9. 4, la segunda manguera de aire 12 está conectada a la válvula de aire de vacío 9 y a un aire de vacío controlado por la señal de control de aire de vacío 11 Se proporciona un mecanismo 10 de control de la válvula.
La operación es la siguiente. La válvula de vacío 9 abierta y cerrada por el mecanismo de control de aire de vacío 10 suministra aire de vacío suministrado desde la segunda manguera de aire 12 a la boquilla 7 a través de la primera manguera de aire 8. Cuando la válvula de aire de vacío 9 está abierta, el aire de vacío suministrado desde la segunda manguera de aire 12 se suministra a la boquilla 7 a través de la primera manguera de aire 8. Como resultado, el dispositivo semiconductor 1 posicionado en el lado de la punta de la boquilla 7 es aspirado. Después de succión se posiciona se transfiere boquilla 7 por el brazo del mecanismo de transporte (no mostrado) a una posición predeterminada, cerrando la válvula de aire posterior posicionamiento de vacío 9, el aire de vacío es la válvula de aire de vacío que se suministra desde la segunda manguera de aire 12 9 para liberar el dispositivo semiconductor 1 sostenido en el lado de la punta de la boquilla 7. De ese modo, el dispositivo semiconductor 1 se posiciona en una posición predeterminada.
Tarea de solución
Handler de un dispositivo semiconductor convencional como se describió anteriormente, debido a que se formó mediante el uso de los platos de sujeción de la adsorción por el vacío de aire, la complejidad de su estructura, la abundancia de la cantidad de piezas es en gran parte responsable del aumento de coste del manipulador . Además, dado que hay una gran cantidad de piezas, existe el problema de que el mantenimiento de las mismas se debe realizar con frecuencia.
Un objeto de la presente invención es proporcionar un controlador para un dispositivo semiconductor que se realiza con una estructura simple, que puede reducir considerablemente la cantidad de piezas, reducir costos y facilitar el mantenimiento. Dirigido a.
Solución
El manipulador del dispositivo semiconductor de acuerdo con la presente invención está compuesto principalmente por un imán como un mandril y es capaz de adsorber el dispositivo semiconductor 1.
dispositivo semiconductor Handler acuerdo con la presente invención, el hierro es el material de la bastidor de conductores del dispositivo semiconductor 1, centrándose en las características del material de níquel es atraído por el imán, la fuerza magnética del imán que constituye el mandril adsorbe el dispositivo semiconductor 1 .
Una realización de un manipulador de un dispositivo semiconductor según la presente invención se muestra en la FIG. En la figura, 1 es un dispositivo semiconductor que comprende un bastidor de conductores hecha de hierro, níquel que puede ser atraído por el imán, 2a comprende hierro, un material magnético tal como ferrita, el núcleo del electroimán 2 hecha de un cuerpo cilíndrico de fondo que se extiende en la dirección vertical , Una bobina 3 enrollada alrededor del núcleo 2a del electroimán 2, y una fuente de potencia 13 conectada a ambos extremos de la bobina 3 a través del interruptor 4.
La operación es la siguiente. Cuando se enciende el interruptor 4, se suministra potencia a la bobina 3, y se genera una fuerza magnética en el núcleo 2a del electroimán 2. Esta fuerza magnética, el hierro, el bastidor de conductores hecho de níquel es aspirado, el dispositivo semiconductor 1 que está colocado en el lado extremo frontal del núcleo 2a del electroimán 2 se adsorben. Después de la adsorción se está moviendo núcleo 2a del electroimán 2 en el brazo del mecanismo de transporte (no mostrado) está colocado en una posición predeterminada, por el poste de posicionamiento desconecte el interruptor 4, la corriente de la bobina 3 se interrumpe, el dispositivo semiconductor 1 Es lanzado. De ese modo, el dispositivo semiconductor 1 se posiciona en una posición predeterminada.
De acuerdo con esta realización, dado que el electroimán 2 constituye el mandril y atrae al dispositivo semiconductor 1, está compuesto únicamente por el electroimán 2 y una señal de control. Por lo tanto, la configuración y el control del manipulador se vuelven simples, y el número de piezas disminuye, de modo que el mantenimiento del aparato se vuelve fácil y el costo del manipulador puede reducirse.
En esta realización, el diámetro de la bobina 3, número de vueltas, valor de la corriente, ya que el tamaño y el grosor del molde del envase del dispositivo semiconductor 1 no es constante, diámetro paquete específico óptimo bobina, número de vueltas, ser ajustado al valor actual Es deseable Además, aunque el interruptor 4 es un interruptor de tipo de contacto, puede construirse fácilmente utilizando un elemento de conmutación tal como un transistor.
Además, como se muestra en la Fig. 2, en lugar de la fuente de alimentación 13 de la Fig. 1, puede ser configurado mediante el uso de una fuente de alimentación de voltaje variable 14 capaz de cambiar el voltaje suministrado, de este modo, el valor óptimo de la corriente que fluye a través de la bobina 3 .
Otra realización del manipulador del dispositivo semiconductor según la presente invención se muestra en las figuras 3 y 4. En la presente realización, un plato está constituido por el uso de un imán permanente en lugar del electroimán 2 de la realización anterior. En la figura, 1 es un dispositivo semiconductor, 5 un imán permanente que puede ser transportado en el brazo (no mostrado) bar-6 en el cilindro exterior se lleva a cabo por un mecanismo de sujeción (no mostrado) para ser deslizable en la dirección vertical a lo largo de la periferia exterior del imán permanente 5 . La figura 3 es una vista que muestra un estado cuando el dispositivo semiconductor 1 está adsorbido, y la figura 4 es una vista que muestra un estado cuando se libera el dispositivo semiconductor 1.
El funcionamiento de esta realización es el siguiente. En el exterior del imán permanente 5 proporcionado como un mandril, y el cilindro exterior 6 está unido, cuando la adsorción dispositivo semiconductor 1, como se muestra en la Fig. 3, el tubo exterior 6 se desliza hacia arriba, la punta del imán permanente 5 Está expuesto al exterior desde el cilindro exterior 6, y el marco principal hecho de hierro y níquel es aspirado por el imán permanente de modo que el dispositivo semiconductor 1 es atraído. El móvil, después de la colocación, el dispositivo semiconductor 1 después de la liberación se deslizó tubo exterior 6 es hacia abajo como se muestra en la Fig. 4, por el imán permanente 5 está alojado en el cilindro exterior 6, el dispositivo semiconductor 1 se libera .
Aquí, el cilindro exterior 6, que es un soporte del imán permanente 5, se sujeta mediante un mecanismo de sujeción (no mostrado) y se mueve hacia arriba y hacia abajo. El mecanismo de sujeción está constituido por un accionador o similar que tiene una válvula de aire, por ejemplo, ya que el cilindro exterior 6 que se puede configurar a un plástico de peso muy ligero, como es lo suficientemente aspiración, en comparación con el ejemplo convencional, el número de componentes menos aún con una estructura simple Se puede realizar y el control se vuelve fácil.
Efecto de la invención
Según la presente invención, constituye un imán principalmente como dispositivo semiconductor controlador de la tirada, ya que la posible adsorción del dispositivo semiconductor, la configuración y el control del manipulador se simplifica, también, por el número de piezas se reduce, El mantenimiento también se ve facilitado y el costo del controlador también se reduce.
Breve descripción de los dibujos
La figura 1 es un diagrama de configuración que muestra una realización de un manipulador de un dispositivo semiconductor de acuerdo con la presente invención.
La figura 2 es un diagrama de configuración que muestra un ejemplo de aplicación de la realización de la figura 1.
La figura 3 es un diagrama de configuración que muestra un estado en el que un dispositivo semiconductor está adsorbido en otra realización de un manipulador de un dispositivo semiconductor de acuerdo con la presente invención.
La figura 4 es un diagrama de configuración que muestra un estado en el que se libera un dispositivo semiconductor en otra realización de un manipulador de un dispositivo semiconductor según la presente invención.
La figura 5 es un diagrama de configuración que muestra un ejemplo de un manipulador de un dispositivo semiconductor convencional.
1 dispositivo semiconductor
2 Electromagnet
3 bobina
4 interruptor
5 imán permanente
6 cilindro externo
13 fuente de alimentación
Reclamo
Se mantiene la reivindicación 1 dispositivo semiconductor, en el controlador del dispositivo semiconductor que tiene un mandril para liberar el dispositivo semiconductor después de transportar un sitio predeterminado, constituyen un imán principalmente como el mandril, lo que permite adsorber el dispositivo semiconductor Controlador de dispositivos semiconductores destacados.
Dibujo :
Application number :1994-005418
Inventors :三菱電機株式会社
Original Assignee :森脇昇平