Dispositivo de accionamiento termo-magnético e interruptor de lengüeta térmica
Descripción general
 fuerza motriz, después de dispositivo que constituye un control preciso de tales pitch de accionamiento, puede ser de varios valores de controlar en respuesta a la temperatura de información de control externa, además accionamiento magnético calientes que tienen un funciones del sensor de temperatura sensibles a la temperatura ambiental y similares Y un interruptor de lengüeta térmica. ] El uso de dos o más capas de materiales de película delgada multicapa termosensibles con diferentes temperaturas térmicas, por ejemplo tres capas de la 1A película delgada sensible al calor, 1B, 1C una forma de disco apilados, el rotor 1 obtenido por polimerización de un sustrato de vidrio 2 en la capa más inferior más el giroscopio se insertó dejar libertad para girar el eje central del rotor 3 en el centro del rotor 1 perpendicular a la dirección circunferencial está provista, conectadas por una 4C placa posterior y la colocación relativa del par de superior e inferior imanes 4A, 4B intercalado de una periferia lado del rotor 1 en el estator en forma de U 4, caracterizado porque el punto 5 sitios de atrapamiento del rotor 1 puede ser calentado por el mecanismo de calentamiento por láser 6 desde arriba para ajustar el haz de láser 7 intensidad.
Campo técnico
Campo técnico La presente invención se refiere a un dispositivo de accionamiento termomagnético y un interruptor de lámina térmica utilizado en máquinas de precisión, medición de precisión, interruptores de minutos y similares en el campo de la tecnología de micromecanica.
Antecedentes de la técnica
Termomagnético conducir un convencional, consiste en una sustancia magnética sensible a la temperatura, el interruptor de láminas térmica para conducir el calentamiento de la sustancia magnética sensible a la temperatura o el cambio de la permeabilidad de la trayectoria magnética, la sensible a la temperatura que se ha establecido Están presentes los motores por calentamiento por irradiación de luz y similares. Como estos materiales magnéticos sensibles a la temperatura, se utilizan principalmente materiales a granel que utilizan el punto de Curie.
Un solo material sensible a la temperatura magnético como se muestra en la Fig. 9 (a) (b), el gráfico de correlación temperatura magnetización para uso en un camino magnético incluyendo el cuerpo conducido, sino que también representa gráficamente materiales sensibles A1 Curie de temperatura puntuales, la transición magnética Incluso con el gráfico de material puntual A 2, los umbrales de ENCENDIDO / APAGADO A 1 ', A 2' se establecen para una temperatura determinada. Uno de ON OFF y OFF, es decir, un disco binario se genera por encima y por debajo de esta temperatura establecida. Por lo tanto, cuando se desea cambiar la fuerza de accionamiento después de la configuración del dispositivo, se requiere que la fuerza de accionamiento para controlar este es proporcional a la magnetización × cambios de volumen por calentamiento.
Magnetización conformidad aumento de la temperatura Graph A1 de material sensible a la temperatura de Curie se muestra en la Fig. 9 (a), como se puede aproximar por la función de Brillouin hacia la temperatura de Curie A1', muestra una disminución de magnetización, de intentar utilizar la magnetización es el valor intermedio el momento de la necesidad de controlar el calentamiento en un pequeño intervalo de temperatura de alrededor de 1 2 [C °], es prácticamente imposible. Además, la irradiación para ajustar el enfoque y la potencia del haz de luz en el calentamiento de irradiación de luz cambiando la gama, el volumen magnetización cambiando sólo puede ser controlado para el control de la fuerza de accionamiento, la flexibilidad de generación de fuerza de accionamiento bien menos estable es difícil. figura 9 (b) para indicar magnetización temperatura de transición sensible En el gráfico de material A2, la magnetización aumenta rápidamente a la temperatura de transición A2 ^ y disminuye gradualmente hacia la temperatura de Curie A2 ', pero un control similar es difícil.
Por ejemplo, como en la Solicitud de Patente Japonesa No. 4 97579 por el presente solicitante (la combinación del punto de material sensible a la temperatura de Curie y una temperatura de laminación de transición materiales sensibles), en una pluralidad de circuitos magnéticos, cada uno usando un material que tiene una características sensibles a la temperatura de la unidad de distinción Aunque existe un método para aumentar el grado de libertad de dirección, etc., en ese caso, se requiere un mecanismo de calentamiento separado para cada material sensible al calor y cada función solo funciona CONECTADA con respecto a la temperatura.
Tarea de solución
La unidad de accionamiento termomagnético como se describe anteriormente, es, básicamente, sólo realiza la operación ON OFF usando el binario grande y pequeño y la presencia o ausencia de magnetización, por lo tanto, la fuerza de accionamiento y conducción el terreno de juego o similar se encuentra ya en la determinación de la configuración del dispositivo Y es imposible controlar o controlar con precisión la información de control, por ejemplo, un valor intermedio analógico debido a la temperatura de calentamiento del calentador, la intensidad de calentamiento de la luz o similar.
Aquí, para resolver el problema de la técnica convencional, la presente invención controla con precisión el control, tal como la fuerza de accionamiento, el paso de conducción y similares, después del control de valores múltiples correspondiente a la temperatura de información de control externo. Y además, proporcionar un dispositivo de accionamiento termomagnético y un interruptor de lámina térmica que tiene una función de sensor de temperatura sensible a la temperatura ambiental y similares.
Solución
La solución del problema se logra adoptando los nuevos medios constitutivos característicos de la presente invención de la siguiente manera. Es decir, el primero de la presente invención características, un imán la fuerza magnética de la fuente, un elemento accionado que comprende una sustancia magnética sensible a la temperatura para formar un camino magnético en la fuerza magnética generada en el imán de la sustancia magnética sensible a la temperatura se compone de un mecanismo de control de la temperatura, la permeabilidad de la trayectoria magnética formada en la sustancia magnética sensible a la temperatura es el calentamiento mecanismo de control de la temperatura significa que la sustancia magnética sensible a la temperatura puede accionarse por el cambio aumento de la temperatura de la posición de formación camino magnético en la unidad magnética térmica, la sustancia magnética sensible a la temperatura es un accionamiento magnético térmico que consiste constituido por material de película delgada multicapa termosensible película delgada termosensible apilada de más de dos capas diferentes de la temperatura sensible al calor.
Un segundo aspecto de la presente invención, material de película laminado sensible a la temperatura en la primera característica, la temperatura termosensible punto de Curie, Neel, punto de compensación, mediante la utilización de la diferencia del punto de transición magnética, formada por varias capas compositely Es un dispositivo de accionamiento termomagnético.
Un tercer aspecto de la presente invención, el elemento accionado en la primera o segunda característica es un rotor en forma de disco hecho de un material sensible a la temperatura de múltiples capas de película delgada, el imán es un par disposición relativa pellizcar libremente la parte del rotor por otra parte, el mecanismo de control de temperatura está dispuesto para calentar libremente el sitio insertado por los imanes del rotor, termomagnético obtiene formando un camino magnético a través del termosensible de múltiples capas de película delgada plural o singular por la temperatura de calentamiento Es un dispositivo de conducción.
Una cuarta característica de la presente invención es el dispositivo de accionamiento termomagnético en el que el rotor de acuerdo con la tercera característica se forma laminando un material de película delgada laminada sensible a la temperatura sobre un sustrato de vidrio.
Un quinto aspecto de la presente invención, la trayectoria magnética a través de la sustancia magnética sensible a la temperatura en la primera, segunda, tercera característica o cuarta, formada unidad termomagnético que comprende durante la capa de reflexión de la luz de calefacción y de la capa de interferencia de la luz de calefacción Dispositivo.
Un sexto aspecto de la presente invención, material de película laminado sensible a la temperatura en la quinta característica, el lado de irradiación de luz y la película de SiN por el mecanismo de control de la temperatura es un calor accionado magnéticamente cuerpo formado intercalando el lado opuesto como la película de Au.
Un séptimo aspecto de la presente invención, las piezas de plomo elemento conductor magnético se lleva a cabo constantemente presionado contactos de uno de la elasticidad de resorte interpuesto entre ellos Sawatan entre un par de contactos y se enfrentaron entre sí, una pluralidad de diferentes temperatura sensible al calor dicha unidad de circuito magnético a la pieza principal del otro lado un contacto para enfrentar el controlador camino magnético con el marco de bucle formado imán relativa unidad de control de la trayectoria magnética que comprende un material magnético sensible a la temperatura integralmente susceptores de polimerización de cuando, el por y un mecanismo de control de la temperatura de la trayectoria de fuga de flujo magnético controlador debido a la reacción sensible a la temperatura de la unidad de control de la trayectoria magnética, la pieza de plomo contra el resorte elástico en contacto con libremente oscilante cambiaron al otro contacto Y está configurado un interruptor de lengüeta térmica.
Octavo aspecto de la presente invención, la sustancia magnética sensible a la temperatura en la séptima característica de la parte de irradiación de luz y la película de SiN, un interruptor de plomo térmica ese sándwich el lado opuesto de película delgada de Au.
Un noveno aspecto de la presente invención, la sustancia magnética sensible a la temperatura en la característica de la reivindicación 7 o 8 es un punto de Curie que utiliza el tamaño del cuerpo térmica de la magnetización disminuye en el punto con el aumento de la temperatura de Curie, la transición de fase en el aumento de la temperatura un interruptor de láminas térmica que comprende un conmutador sensible al calor móvil a una temperatura de ajuste de la atmósfera en la transición de magnetización magnitud aumenta utilizar susceptor y polimerizado con el ambiente externo en el punto.
La presente invención, cuando el tomar medidas para aumentar la sensibilidad de la magnetización para calentar el material sensible a la temperatura como se explicará la acción principio del material de película laminado sensible a la temperatura como se muestra en la Fig. 1, por ejemplo, como un requisito previo, la película temperatura sensible al calor delgada Hay T1> T2> ...> Tn y para la temperatura térmica varía por diferentes capas, cada capa se lamina con la capa n-ésimo de la primera capa, el cambio en la magnetización con respecto a la película de laminado sensible a la temperatura de temperatura todo el material, cada una de la temperatura sensible al calor (M 1, M 2, ..., Mn) de las capas respectivas que son sensibles en el momento de la magnetización.
Magnetización a temperatura ambiente para facilitar la explicación (M) es sustancialmente igual, sólo el punto de Curie es diferentes materiales (T1, T2, ..., Tn) asume, del material de película laminado sensible a la temperatura de la estructura mostrada en la Fig. 2 gráfico de correlación temperatura de magnetización, la región media de cada uno de la temperatura sensible al calor (T1 T2, T2 T3, ..., Tn 1 Tn) en una magnetización sustancialmente constante y estable, respectivamente (M × 1, M × 2 ... ,, M × n ) Existe. Por ejemplo, dentro de un rango de temperatura entre T1 y T2 M × 1, Tn 1 y Tn M × sensible de la primera capa a la capa n 1 en el rango de temperatura de sólo la primera capa es sensible en el (n 1) Muestra magnetización.
Puesto que la fuerza de conducción es proporcional a la magnetización de la sustancia magnética sensible a la temperatura, configurando el calor suministrado desde el exterior (temperatura) a una temperatura a la que se produce una magnetización predeterminado, es posible variar la magnitud de la fuerza motriz, también, Al hacerlo de varias capas, el rango de temperatura sensible se puede ajustar de forma precisa para que sea posible un control preciso del accionamiento de múltiples valores (analógicos).
Además, una capa reflectante y la capa de interferencia, por un material de película laminado sensible a la temperatura se intercala, el haz de luz se irradia capa reflejada mejora la sensibilidad de absorción para la gama de la reflexión se produce entre la capa de interferencia, la conversión de calor por la luz para el material sensible al calor La eficiencia aumenta, el ahorro de energía se puede lograr. Como se describió anteriormente, la presente invención se centra en el cambio compuesto de la magnetización con respecto a la temperatura de un material sensible a la temperatura en un circuito magnético, y en principio difiere mucho del grupo de ejemplo convencional.
(Primera realización) Se describirá en detalle una primera realización de la presente invención con referencia a los dibujos. La figura 3 es una vista en perspectiva de un dispositivo de accionamiento termomagnético de acuerdo con esta realización. En la figura, alfa es el accionamiento magnético térmico, 1 rotor, 1A, 1B, 1C son el calor de película delgada sensibles, 2 es sustrato de vidrio, 3 es el eje central del rotor, 4 estator, 4A, 4B son un par de imanes superiores e inferiores, 4C se Una placa trasera 5, una mancha 5, un mecanismo de calentamiento por láser 6 y un rayo láser 7.
La α térmica magnético de accionamiento de esta realización, el apilamiento de dos o más capas de materiales de película delgada multicapa termosensibles que tienen diferentes temperaturas térmicas como se muestra en la Fig. 3, el sensible al calor 1A delgada película de tres capas aquí, 1B, 1C en una forma de disco además un rotor 1 obtenido por polimerización de un sustrato de vidrio 2 en la capa más inferior, un giroscopio, que se inserta a fin de dejar libertad para girar el eje central del rotor 3 en el centro del rotor 1 perpendicular a la dirección circunferencial, un par de superior e inferior intercalando el rotor 1 4A periférica imán, y 4B en el estator 4 con respecto dispuestos en forma de la U de conexión en la placa posterior 4C, para ajustar el haz de láser 7 intensidad mecanismo de calentamiento por láser 6 un punto posición predeterminada 5 del rotor 1 desde arriba Para que pueda calentarse Configuración del dispositivo es similar a la solicitud de patente japonesa No. Sho 53 Nº 55.254, pero el rotor 1 es 1A película delgada sensible al calor en el sustrato de vidrio 2, 1C 1B, también se construyó superpone a las tres capas de.
Cada 1A película susceptora, 1B, aunque el espesor de película 1C iguales [], de manera similar al diagrama de principio de funcionamiento 1, la magnetización de cada capa a temperatura ambiente, y tienen diferentes temperaturas de Curie 2000, específicamente magnetización temperatura ambiente M1 = 700 de la primera capa [emu / cc], el punto de Curie T1 = 650 [C °], la segunda capa M2 = 200 [emu / cc], el punto de Curie T2 = 240 [C °], la tercera M3 de la capa = 80 [emu / cc], punto de Curie T 3 = 80 [C °].
La especificación de esta realización representa una realización específica de este tipo y su operación de conducción se explicará a continuación. Cuando irradiar el punto 5 del rotor 1 con un haz láser 7 a una intensidad adecuada de mecanismo de calentamiento por láser 6, sólo el punto 5 en el rotor 1 se calienta, cambios en el sitio de permeabilidad en el flujo magnético sensible al calor en el rotor 1 , Se forma un gradiente de trayectoria magnética, se genera una fuerza de rotación y el rotor 1 gira.
Cuando gira el rotor 1, de forma continua del rotor Este punto 5 más largo es, naturalmente, se enfrió sensible por lo desvíe del sitio de irradiación del haz de láser 7, el haz de láser 7 se irradia uno tras otro recién manchas Kiawase 5 partes en rotación 1 gira Por lo tanto, está configurado para poder ajustar y controlar el número de revoluciones y el par por la intensidad del rayo láser 7.
Específicamente, cuando el rotor 1 se calentó a una potencia de 10 [mV] usando un láser de baja potencia, el punto 5 del área de calentamiento fue de alrededor de 100 [C]. Por exceder esta temperatura Curie tiempo solamente la película delgada sensible a la temperatura 1C de la tercera capa, 80 [emu / cc] min por otra sensible al calor 1A película delgada, para reducir la magnetización de región 1B, el 4A superior e inferior imanes, una fuerza magnética desde 4B , El rotor 1 gira en la dirección de la flecha hacia la derecha.
aumentando aún más la potencia del haz de láser 7, que supera la temperatura T2 del punto 5, la segunda, tercera capa de la 1B película delgada sensible al calor, ya que 1C es sensible, sin embargo, se pierde la magnetización de la segunda capa de la temperatura de película delgada sensibles 1B , Y la velocidad de rotación aumentó discontinuamente. Además, calentando a la temperatura T _ {3} o más, la magnetización de las películas finas de material sensible al calor 1 A, 1 B, 1 C en todas las capas desaparece y se obtiene el par máximo.
De esta manera, cambiando la intensidad del rayo láser 7 que irradia el rotor 1, es posible controlar de manera estable el estado intermedio y el estado de conducción multivalente. Como el punto sensible a la temperatura del material de película delgada multicapa termosensible una estructura de múltiples capas, no sólo el punto de Curie, Neel, punto de compensación, no hay problema incluso mediante la utilización de la diferencia de la laminación transición magnética, también compositely multicapa Al hacerlo, se pueden realizar muchas funciones.
(Segunda realización) Se describirá en detalle una segunda realización de la presente invención con referencia a los dibujos. La Figura 4 es un diagrama de estado en contacto con el contacto 12A del interruptor de láminas térmica de la presente forma de realización, la Fig. 5 es un diagrama de estado en contacto con el 12B de contacto, la Fig. 6 es una correlación de magnetización temperatura del material polimérico sensible a la temperatura de la misma unidad de control de la trayectoria magnética La figura 7 es una vista en perspectiva de una sección de control de trayectoria magnética formada por un material magnético termosensible utilizado para el circuito magnético.
En la figura, beta es un interruptor de láminas térmica, 8 imán, 9 controlador camino magnético, 9A punto de transición elemento termosensible de material, de punto de Curie 9B susceptores materiales, 9A '9B' gráfico de correlación magnetización de temperatura, el 10 magnética Los circuitos de 10 ', 10 'son trayectorias magnéticas, 11 es una pieza principal, 12A, 12B son puntos de contacto, B1, B2, B3 son regiones.
Thermal interruptor de láminas β de la presente realización, como se muestra en la Fig. 4, un bucle cerrado entre el imán 8, que es un magnéticos fuentes de fuerza, un imán 8 con respecto al circuito magnético cerrado 10 'que forma libremente una unidad de control de la trayectoria magnética 9 Un mecanismo de control de temperatura (no mostrado) para ajustar la temperatura de la sección de control de trayectoria magnética 9, una pieza de lengüeta magnética 11 que tiene conductividad, y dos puntos de contacto 12 A, 12 B. El control de trayectoria magnética parte 9 está compuesto de material polimérico superpuesto diferente 9A susceptor sensible a la temperatura, una 9B de la temperatura térmica, unidad de control de ruta relativa 9 y el imán 8 se enfrenta a la pieza de plomo 11 del otro lado de contacto 12B, La pieza de avance 11, que es un cuerpo magnético, se presiona constantemente contra el punto de contacto 12A mediante una fuerza elástica de resorte predeterminada (no mostrada).
unidad de control de la trayectoria 9 del circuito magnético 10 que realiza oscilante de control de conmutación de la pieza de plomo 11 que penetra en el camino magnético 10 'por la fuga magnética para la desmagnetización sensible a la temperatura del control de la trayectoria magnética unidad 9 está dispuesto en el lado de contacto 12B, magnetización 600 en una porción del mismo una temperatura de transición magnético de aproximadamente 70 [C °] como se muestra en la Fig. 7 [emu / cc] 9A susceptor y la temperatura de Curie 40 [C °] es la película Ferh producir, en la sala de magnetización temperatura 150 material sensible 9B que es una película delgada TbFe de emu / cc].
Características de temperatura de la magnetización global de la película laminada como se muestran en la Fig. 6 esta vez es sustancialmente cero en 40 [C °] de 150 [emu / cc] a temperatura ambiente, la reacción sensible a la temperatura en el punto de Curie El gráfico 9B 'y el gráfico 9A' en los que se produce la magnetización de nuevo cuando se calienta a 70 [C °] mediante una reacción sensible a la temperatura en el punto de transición de la magnetización se dibujan.
La especificación de esta realización toma tal realización específica y su operación se explicará a continuación. Ahora, si se coloca la temperatura de la totalidad térmica interruptor de láminas β es a temperatura ambiente (región B1), el circuito magnético 10 como se muestra en la Fig. 4, ya que el camino magnético 10 'está en el circuito cerrado, la caña 11 Está conectado al lado del contacto 12A por un muelle (no mostrado).
Por temperatura ambiente 40 magnetización de [C °] o más (área B2) se convierten en la temperatura de Curie susceptores material sensible 9B de la unidad de control de la trayectoria magnética 9 desaparece, el camino magnético 10 del circuito magnético 10 como se muestra en la Fig. 5 'Se abre, y la pieza 11 ferromagnética de plomo se conecta al lado 12B de contacto contra la fuerza elástica del resorte por el flujo magnético de fuga.
Además 70 Cuando [C °] excede (B3 región), de manera similar al estado de la temperatura ambiente, el circuito magnético 10 vuelve la magnetización por el elemento de detección de calor 9A es un material sensible a la temperatura punto de transición del control de la trayectoria magnética unidad 9 está cerrada, la Fig. 4 La pieza de plomo se impulsa de nuevo mediante la fuerza elástica de resorte y se conecta al punto de contacto 12A.
Estrictamente hablando, es necesario considerar la desmagnetización de calor de la pieza de plomo 11 y el imán permanente 8, en realidad el mecanismo de este ejemplo se forma autónoma correspondiente a la temperatura ambiental, en el ejemplo 40 70 [C °] Es posible realizar un mecanismo de conexión al contacto 12B solo en el rango de temperatura. En otras palabras, es posible utilizar un dispositivo de accionamiento de tipo integrado con sensor de temperatura. En la presente realización, también es posible realizar a la fuerza el control de calentamiento en la sección de control de trayectoria magnética 9 usando un rayo láser o similar.
Tercera realización Se describirá en detalle una tercera realización de la presente invención con referencia a los dibujos. 8 (a) es un diagrama estructural de la sustancia magnética sensible a la temperatura empleada es presente forma de realización, un diagrama de estructura de (b) es una capa reflectante, sensible en ausencia de material magnético temperatura de la capa de interferencia. En la figura, gamma, gamma 'sustancia magnética sensible a la temperatura, 13A es la película de SiN, 13B es de película delgada Au, 14 es un sustrato de vidrio, 14A, 14B, 14C es delgada película sensible al calor.
En esta realización, SiN película delgada de acuerdo con la primera forma de realización y el mismo 14A película fina de tres capas sensibles al calor de, 14B, el espesor de las γ sustancia magnética sensibles a la temperatura construidas apilando 1500A 14C como se muestra en la Fig. 8 (a) 13A y película delgada de Au 13 B que tiene un espesor de película de 1500 A, y el sustrato de vidrio 14 se polimerizó como la capa más inferior.
La capa reflectante se muestra en la Fig. 8 (b), aunque la temperatura sensible magnético sustancia gamma 'en ausencia de capa de interferencia para el calentamiento de la parte delantera y trasera 100 [C °] se requería 10 mW, la sustancia magnética gamma sensible a la temperatura de la disposición En la trayectoria magnética a formarse, la interferencia causada por la acción anterior causó que la luz se confine, por lo que se calienta suficientemente a 5 mW. Por lo tanto, el rango de calentamiento del láser se amplía, la sensibilidad aumenta, y el rendimiento del material magnético sensible a la temperatura se puede mejorar aún más.
Efecto de la invención
Así, de acuerdo con la presente invención, que constituye el material magnético sensible a la temperatura no es la estructura de trayectoria magnética a la estructura de la técnica anterior los diferentes dos capas o más de la película multicapa termosensible y material polimérico sensible a la temperatura que tiene una temperatura térmica, que se refleja opcionalmente capa, proporcionando la capa de interferencia, cambiando la temperatura de calentamiento, es posible realizar un control preciso de la fuerza motriz fina en comparación con el multi-nivel específico en la operación OFF y antes de responder más a la conducción temperatura ambiental Se ha dado cuenta de que tiene una función de sensor para hacer. Por lo tanto, tiene excelentes efectos tales como el uso de tamaño pequeño, multifunción, uso múltiple y ahorro de energía.
Breve descripción de los dibujos
BREVE DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS La figura 1 es un diagrama explicativo del principio de la presente invención.
La figura 2 es igual a la anterior, es un gráfico de correlación de magnetización de la temperatura del material de película delgada laminada sensible a la temperatura.
La figura 3 es una vista en perspectiva de un dispositivo de accionamiento termomagnético de acuerdo con una primera realización de la presente invención.
La figura 4 es un diagrama de estado en contacto con el contacto 12A del interruptor de lengüeta térmica de la segunda realización de la presente invención.
La figura 5 es un diagrama de estado en contacto con el punto de contacto 12B de la misma manera.
La figura 6 es un gráfico de la correlación de magnetización de temperatura del material polimérico sensible a la temperatura de la unidad de control de trayectoria magnética como se describió anteriormente.
La figura 7 es una vista en perspectiva de una sección de control de trayectoria magnética hecha de un material magnético sensible al calor utilizado para un circuito magnético.
8 (a) es un diagrama estructural de la sustancia magnética sensible a la temperatura empleada en la tercera realización de la presente invención, (b) es una vista estructural de una capa de reflexión, sensible en ausencia de material magnético temperatura de la capa de interferencia.
9 (a) es un gráfico que muestra la correlación entre la magnetización temperatura a la que el material sensible a la temperatura Curie, (b) es un gráfico de correlación que muestra la magnetización de temperatura en un material sensible a la temperatura de transición de magnetización.
A1, A2 ... Gráfico de magnetización de la temperatura
A1 'A2' ... Umbral
α ... Unidad de accionamiento magnético térmico
1 ... rotor
1A, 1B, 1C ... película fina de material termosensible
2 ... sustrato de vidrio
3 ... eje central del rotor
4 ... Estator
4A, 4B ... imán
4 C ... placa trasera
5 ... punto
6 ... Mecanismo de calentamiento láser
7 ... rayo láser
β ... interruptor de lengüeta térmica
8 ... imán
9 ... sección de control de ruta magnética
9A, 9B ... cuerpo sensible al calor
9 A ', 9 B' ... gráfico
10 ... circuito magnético
10 ', 10 '... camino magnético
11 ... pieza de caña
12A, 12B ... contacto
B1, B2, B3 ... área
γ, γ '... sustancia magnética sensible a la temperatura
13 A: película delgada de SiN
13B ... Au película delgada
14A, 14B, 14C ... película delgada de material termosensible
Reclamo
Un imán es una fuente de acuerdo con la reivindicación 1 fuerza, un elemento accionado que comprende una sustancia magnética sensible a la temperatura para formar un camino magnético en la fuerza magnética generada en el imán está constituido por un mecanismo de control de temperatura de la temperatura sustancia magnética sensible, en donde en la unidad magnética térmica accionable por el mecanismo de control de la temperatura de la permeabilidad de la trayectoria magnética formada en la sustancia magnética sensible a la temperatura hace que el aumento de la temperatura varía la trayectoria magnética posición de formación por medios de calentamiento de la sustancia magnética sensible a la temperatura, en la que Donde el material magnético sensible a la temperatura comprende un material de película delgada laminado sensible a la temperatura formado apilando dos o más películas finas de material termosensible que tienen diferentes sensibilidades térmicas.
Reivindicación 2 temperatura del material laminado película sensible, la temperatura termosensible punto de Curie, Neel, punto de compensación, mediante la utilización de la diferencia del punto de transición magnética, el material compuesto unidad térmicamente magnético según la reivindicación 1, caracterizado porque varias capas Dispositivo.
3. cuerpo accionado es rotor en forma de disco formado con un material sensible a la temperatura de múltiples capas de película delgada, el imán mientras par libremente colocado relativa intercalando una porción del rotor, el mecanismo de control de la temperatura se intercala por el imán del rotor Y se forma una trayectoria magnética a través de una pluralidad de películas finas de material termosensible único o un único miembro mediante una única temperatura de calentamiento de acuerdo con la temperatura de calentamiento.
4. Dispositivo de accionamiento termomagnético según la reivindicación 3, en el que el rotor está formado laminando un material de película delgada laminada sensible a la temperatura sobre un sustrato de vidrio.
5. Dispositivo de accionamiento termomagnético según la reivindicación 1, 2, 3 o 4, en el que la trayectoria magnética a través del material magnético sensible a la temperatura se forma entre la capa de reflexión de la luz de calentamiento y la capa de interferencia de la luz de calentamiento.
sensibles reivindicaciones materiales de película delgada multicapa 6 de temperatura, un lado de irradiación de luz y la película de SiN por el mecanismo de control de temperatura, el lado opuesto al accionamiento magnético térmica de la reivindicación 5, caracterizado porque el intercalado como una película delgada de Au.
Integralmente polimerizado con piezas de plomo elemento conductor magnético se lleva a cabo constantemente presionado contactos de uno de la elasticidad de resorte interpuesto entre ellos Sawatan entre un par de contactos hacia las reivindicaciones 7 de fase, un elemento de detección de calor diferente de la temperatura termosensible una parte de circuito magnético que la cara a la unidad de control de la trayectoria magnética a la pieza principal del otro lado un contacto con la unidad de control de la trayectoria magnética que comprende una sustancia magnética sensible a la temperatura bucles marco formado por el imán en relación con, el control de la trayectoria Donde la fuga de flujo magnético causada por una reacción sensible a la temperatura de la sección de control de trayectoria magnética hace posible cambiar la pieza de lengüeta al otro punto de contacto en un movimiento oscilante de contacto contra la elasticidad de la primavera Y un interruptor de lengüeta térmica.
8. El interruptor de lengüeta térmica según la reivindicación 7, en el que el material magnético sensible a la temperatura tiene una película delgada de SiN en el lado de irradiación de la luz y una película delgada de Au en el lado opuesto.
9 reivindicaciones sustancia magnética sensibles a la temperatura, el punto de Curie utilización de susceptor para reducir la magnitud de la magnetización en el punto Curie como la temperatura aumenta, se incrementa el punto de transición utilizando el tamaño del cuerpo térmica de la magnetización con transición de fase en el aumento de la temperatura Donde dicho interruptor de láminas térmico es térmicamente conmutable a una temperatura establecida de una atmósfera de un entorno externo.
Dibujo :
Application number :1994-005174
Inventors :日本電信電話株式会社
Original Assignee :大谷佳光、畠山巌、橋本悦