Muela abrasiva para vestirse electrolítica para producir una acción mecanoquímico
Descripción general
 Sin el uso de un costoso diamante granos abrasivos, una alta eficiencia sobre la muela que contiene granos abrasivos de diamante se puede procesar espejo, y sin dañar las superficies de deslizamiento, para proporcionar un rectificado vestidor piedra electrolítico que no contamina el entorno. ] Consiste en granos abrasivos que comprenden un óxido de metal que causan acción mecanoquímica, la unión de metal que contiene los granos abrasivos. Los óxidos metálicos que causan efecto mecanoquímica, óxido de cerio (CeO2), óxido de cromo (Cr2 O3), óxido de circonio (ZrO2), se seleccionan de óxido de silicio (SiO2), aglutinante de metal, polvo de hierro, polvo de hierro fundido, cobalto que se selecciona de la harina.
Campo técnico
La presente invención se refiere a una muela abrasiva utilizada para moler, más particularmente, a vestirse electrolítica molienda causando efecto mecanoquímica.
Antecedentes de la técnica
Una muela abrasiva conductor, tal muela de diamante como fibra de hierro fundido unido, se aplica un voltaje a la muela, el método vestidor electrolítico y un aparato para la realización de muela vestirse una muela abrasiva por electrólisis, JP por el mismo solicitante que la presente solicitud 1-188266 No. descrito (solicitud de patente japonesa n ° Sho 63-12305), han tenido éxito en espejo de molienda de un material semiconductor tal como silicio que es un material de electrones. Además, electrolítico en proceso vestir método de molienda desarrolló este método y aparato (electrolítico durante el proceso Dressing: menos Elid denomina método de molienda) y el método y dispositivo conocido ha sido desarrollado por el presente solicitante, se han publicado (RIKEN Shinbojiumu 'molienda espejo las tendencias del estado de la técnica de', 5 de marzo de 1991 en poder).
El método de molienda Elid aplica una muela que tiene una superficie de contacto con la pieza de trabajo, el electrodo opuesta a la superficie de contacto, y una tobera que pasa un líquido conductor entre la muela y el electrodo, la tensión entre la muela y el electrodo utilizando un aparato que comprende una fuente de alimentación y el alimentador, mientras que fluye un líquido conductor entre la muela y el electrodo, mediante la aplicación de un voltaje entre la muela y el electrodo, es para vestir a la muela abrasiva por electrólisis.
Se muestra el mecanismo del apósito por el método de molienda Elid en la figura. Al comienzo de vestir a la muela abrasiva (A), menos resistencia eléctrica entre la muela y el electrodo de corriente relativamente grande (5 10A) fluye. Por lo tanto, mediante la disolución de la parte metálica de la superficie de muela abrasiva (fianza) del efecto de campo, se proyectan de diamante no conductor granos abrasivos. Además, continuando con la energización, la película aislante cuyo principal óxido de hierro (Fe2 O3) está formada sobre la superficie de la muela, la resistencia eléctrica de los aumentos de la muela abrasiva. Por lo tanto, la corriente se reduce, reduce la disolución del vínculo, el abrasivo sobresaliente (aderezo de la muela abrasiva) se completa sustancialmente (B). Comienza a moler en esta condición (C), y con la capa libre el polvo de molienda, granos abrasivos de diamante está desgastado gradualmente como rectificado de la pieza de trabajo. Se retira aún más por el desgaste de aislamiento de revestimiento de Continua molienda (D), la superficie de muela abrasiva, reduce la resistencia eléctrica de la muela abrasiva, aumenta la corriente entre la muela abrasiva y el electrodo, aumenta la disolución del vínculo, granos abrasivos sobresaliente (muela del apósito) se reanuda. Por lo tanto, durante el rectificado por el método de molienda Elid, la disolución excesiva de la unión es suprimida por la eliminación formación del recubrimiento como en (B) (D), la proyección de los granos abrasivos (desinfección de la muela abrasiva) se ajusta automáticamente. (B) se conoce como ciclo de Elid siguiendo el ciclo se muestra en (D).
Puesto que en el Elid obstrucción de molienda descrita anteriormente no se produce en la muela por vestirse la muela por ciclos Elid granos finamente abrasivos, ser obtenido mediante molienda de la excelente superficie procesada tal como un espejo cuando abrasivo más fino puede ser. Por lo tanto, en comparación con el pulido convencional puede ser procesado espejo con varias decenas de veces más rápido.
Tarea de solución
Convencionalmente, los granos abrasivos para su uso en vestidor electrolítica de trituración de piedra, diamante o CBN (nitruro de boro cúbico), que se consideran de sentido común que los llamados superabrasivos. Esta dureza según abrasivo es muy alta, ya que es posible procesar cualquier material.
Sin embargo, cuando el tamaño de partícula promedio de los granos abrasivos, incluso granos abrasivos de diamante y granos abrasivos de CBN se hace menor eficiencia de la molienda es un problema a disminuir. Por ejemplo, la rugosidad superficial máxima Rmax se obtiene la siguiente espejo 50 60 nm, es necesario el uso de granos abrasivos de diamante de # 8.000 (promedio 1.76μm tamaño de partícula), procesadas por la muela abrasiva # tamaño 2000 (medio de partícula 6 tiempo) de procesamiento .88Myuemu en comparación con el procesamiento por la muela es varias veces requeridas. Además, con el fin de obtener una superficie de espejo, es necesario secuencialmente cambiado a molienda más fina del ojo de la molienda gruesa del ojo, hay un número de pasos de procesamiento es problemático para obtener la superficie del espejo deseado.
Por otra parte, como otro medio para la obtención de una superficie de espejo, por mezcla de una solución química con granos abrasivos a la solución de la política para la cruz-pulido, pulido mecanoquímico se conoce el uso de un pulido químico y pulido mecánico. Sin embargo, el pulido mecanoquímico, con el fin de procesar la solución política abrasivo adherido en el paño para el pulido, la velocidad de mecanizado es extremadamente lento, requieren de 50 a 100 veces el tiempo de procesamiento cuando se compara con Elid molienda de los problemas anteriores hubo. De acuerdo adicionalmente mecanoquımico el pulido de la superficie de deslizamiento de una máquina de pulido o similar por una gran cantidad de granos abrasivos dañadas suspendido en una solución política, también alrededor habían ensuciamiento problema mediante la suspensión.
La presente invención se ha desarrollado para resolver tal problema. Un objeto de la presente invención son de alta eficiencia sobre muela que contiene granos abrasivos de diamante, y para proporcionar una molienda vestidor electrolítico que es capaz de procesar el espejo. Además, objeto de la presente invención es proporcionar un apósito de molienda electrolítico que es capaz de procesar el espejo a una alta eficiencia de la molienda sin utilizar un costoso granos abrasivos de diamante.
Además, objeto de la presente invención está, sin dañar la superficie de deslizamiento, es proporcionar un apósito de molienda de piedra electrolítico que no contamina el entorno.
Solución
La presente invención, mediante el uso de granos abrasivos de un óxido de metal causando efecto mecanoquímica en lugar de los granos abrasivos de diamante de la piedra electrolítica molienda vestidor, se define por señalar que se puede utilizar en combinación con efecto de eliminación química y molienda mecánica. Además, [los inventores] de la presente invención, una acción mecanoquımico causando óxido de metal, pero la dureza es bajo en comparación con los granos abrasivos de diamante, ya que la forma no acentuada en comparación con los granos abrasivos de diamante, efecto mecanoquímica químico cuando se utiliza con la eliminación se encontró que era capaz de reflejar el mecanizado de superficies con alta eficiencia con un relativamente grande de partículas. La presente invención se basa en tales hallazgos novedosos.
Es decir, de acuerdo con la presente invención, los granos abrasivos y una rueda vestidor molienda electrolítica proporcionando causa acción mecanoquímica, caracterizado porque consiste en una unión de metal que contiene los granos abrasivos que comprenden un óxido de metal causando acción mecanoquımico es. El óxido de óxido de metal de acción mecanoquımico producción de cerio (CeO2), óxido de cromo (Cr2 O3), óxido de circonio (ZrO2), se seleccionan de óxido de silicio (SiO2). El aglutinante de metal, polvo de hierro, polvo de hierro fundido, se selecciona de polvo de cobalto.
Es preferible sinterización huellas materiales ayuda se añaden al aglutinante. El Yuisukezai la parrilla es el bien un polvo de hierro carbonilo. Además, el grado de concentración grano abrasivo causando efecto mecanoquımico bueno de 50 200.
Por encima, vestirse electrolítica piedra de amolar de acuerdo con la presente invención, ya que contienen granos abrasivos causando efecto mecanoquímica, este abrasivo puede producir un efecto mecanoquímica. Además, dado que los granos abrasivos se llevan a cabo mediante un aglutinante de metal, es posible llevar a cabo Elid molienda usando ciclo Elid descrito anteriormente.
efecto mecanoquímica, óxidos metálicos causan efecto mecanoquímica que se presiona contra la superficie de molienda actúa como una especie de catalizador, se considera el silicio abrasivo y vidrio para ser unido covalentemente causando moléculas de agua y de reacción interfacial a tener. Como resultado, la superficie de molienda será capaz de procesado relativamente fácilmente a un bajo reblandecimiento abrasivo y la dureza. Por lo tanto, óxidos de metal causando acción mecanoquímica, pero la dureza es bajo comparado con los granos abrasivos de diamante, cuando se utiliza con una eliminación química por acción mecanoquímica, pueden procesarse con alta eficiencia, y en comparación con los granos abrasivos de diamante la forma no es agudo, es posible obtener una superficie de espejo con partículas relativamente grandes.
Por lo tanto, de acuerdo a la muela de la presente invención, si el abrasivo causando acción mecanoquímica, es posible procesar la superficie del espejo con una alta eficiencia sobre una muela que contiene granos abrasivos de diamante. Además, dichos granos abrasivos son los que se utilizan en grandes cantidades convencionalmente policía, etc., es mucho menos costoso en comparación con los granos abrasivos de diamante. Por lo tanto, es posible procesar la superficie del espejo con una alta eficiencia de molienda sin necesidad de utilizar un costoso granos abrasivos de diamante.
Además, como el Elid molienda utilizando una muela abrasiva según la invención no mezclar los granos abrasivos en el líquido conductor, sólo una pequeña cantidad de los granos abrasivos utilizados en la molienda sólo se mezcla en el líquido, o dañar las superficies de deslizamiento, el ambiente no es que Goss sucia.
Las realizaciones preferidas de la presente invención se describirán a continuación. vestidor electrolítico molienda causando efecto mecanoquímica de la presente invención, un sustrato semiconductor tal como Si, vidrio, componentes ópticos tales como zafiro, un cabezal magnético tal como ferrita, cristal, joyería, como zafiro, y Cr3 C2, Si3 N4, SiC, etc. es especialmente adecuado para la molienda de la cerámica. Estas material de desgaste tiene una mayor eficiencia de la molienda por la acción mecanoquımico y raya con facilidad Con superabrasivo tal como diamante.
Ruedas de acuerdo con la presente invención se compone de granos abrasivos que comprenden un óxido de metal que causan acción mecanoquímica, la unión de metal para mantener los granos abrasivos. El óxido de metal causando acción mecanoquímica, óxido de cerio (CeO2), óxido de cromo (Cr2 O3), óxido de circonio (ZrO2), óxido de silicio (SiO2) o similares son particularmente adecuados. Incluso los otros óxidos metálicos, se pueden aplicar de manera similar a cualquier óxido de metal causando efecto mecanoquímica.
El aglutinante de metal, polvo de hierro, polvo de hierro fundido, el polvo de cobalto, y similares son particularmente adecuados, pero no limitado a ello, y puede ser cualquier metal conductor capaz de contener granos abrasivos por sinterización. Además, es preferible añadir un material auxiliar de sinterización de traza para unión de metal. Como el material auxiliar de sinterización, aunque polvo de hierro carbonilo es particularmente adecuado, pero no se limita a ello.
A continuación, un método para fabricar una muela abrasiva según la presente invención. En primer lugar, hace que los granos abrasivos compuestas de un óxido de metal causando acción mecanoquímica, el polvo mixto mediante la mezcla de una unión de metal para mantener los granos abrasivos. Los óxidos metálicos que causan acción mecanoquímica, el óxido antes mencionada de cerio (CeO2), óxido de cromo (Cr2 O3), óxido de circonio (ZrO2), seleccionados a partir de óxido de silicio (SiO2). Los granos abrasivos que tienen un tamaño de grano se selecciona apropiadamente de acuerdo con la rugosidad de superficie deseada de la superficie mecanizada, se pueden utilizar una gran grano abrasivo que en el caso de granos abrasivos de diamante. Por ejemplo, si se obtiene la rugosidad de la superficie máxima Rmax la siguiente 60 nm espejo es abrasivo # 2000 (6.88μm tamaño medio de partícula) son adecuados. El tamaño de partículas idénticas de rugosidad requerido granos de diamante para obtener una superficie de espejo (# 4000, tamaño de partícula promedio por debajo de 4.06Myuemu) y varias veces mayor en comparación. Es posible aumentar la eficiencia de la molienda mediante el uso de partículas así grandes que tienen un diámetro de partícula.
Por otro lado, el aglutinante de metal, polvo de hierro, polvo de hierro fundido, se selecciona de polvo de cobalto. Además, las trazas de sinterización SIDA bonos de metal, añaden preferiblemente polvo de hierro carbonilo. mejorando así la capacidad de sinterización abrasivo capacidad de retención de grano y la fuerza muela puede ser mejorada. La cantidad de los granos abrasivos resultantes efecto mecanoquímica, el grado de concentración puede partir de 50 200 (aproximadamente 2,2 8,8 kt / cm @ 3), en particular, y aún mejor 100 200. El uso de mayor grado de concentración que el nivel de concentración de 50 100 rueda normal de diamante, es posible obtener una muela abrasiva de alta eficiencia de la molienda a pesar de baja dureza abrasivo en comparación con el diamante. Además, incluso el grado de concentración de la muela de diamante equivalente 50 100, dependiendo del abrasivo puede exhibir una suficientemente alta eficiencia de la molienda.
Entonces polvo mezclado se moldeó por compresión así obtenido dentro de unos predeterminados molduras de molde haciendo femeninos. El proceso de moldeo por compresión, una buena llevado a cabo en una presión de superficie de 6 8t / cm2. entrante hembra en forma, en forma de ventilador rectangular, circular,, cualquiera de buena elipse. Presurizar un área grande con una presión superficial uniforme es generalmente difícil y, puesto que la presión una vez que un área grande requiere un aparato de prensa de una salida muy grande, las dimensiones de tipo hembra, muela forma una superficie de contacto en un área pequeña se puede dividir (segmento).
A continuación, la sinterización del artículo moldeado resultante. Sinterización de argón (Ar), nitrógeno (N2) 1.000 ° C o más altas temperaturas en un gas inerte tal como un gas, preferentemente realizado en 1100 1150 ° C. Pequeños fragmentos dimensiones muela, es decir, un segmento, el segmento se unió con un adhesivo conductor en una placa de base, se puede obtener la muela de rectificado deseada. Este método de fabricación puede producir una muela abrasiva grande de un pequeño segmento. En tal caso, una pluralidad de pequeños agujeros alcanzar segmentos través de la placa base, es bueno mejorar la conductividad entre los segmentos y la placa de base mediante el vertido de un punto de metal bajo punto de fusión tales como soldadura a la estoma. Este método se puede utilizar adhesivo de baja conductividad, que puede ser fabricado a una rueda de bajo costo de molienda.
Se describirá ahora un aparato de molienda utilizando la piedra de molienda de acuerdo con la presente invención. La Figura 1 es un diagrama de configuración general de un aparato para la rectificación utilizando una piedra de molienda de acuerdo con la presente invención superficie. En esta figura, 2 es una piedra de afilar conductora generalmente en forma de disco que tiene un eje vertical y está montada de forma giratoria una superficie mecanizada 4 alrededor en el eje superior por un dispositivo de accionamiento (no mostrado). Por encima de la muela 2, el eje de accionamiento giratorio 6 de la máquina herramienta se proporciona en la cabeza superior (no mostrada) unidad de procesamiento. El eje de accionamiento 6 está adaptado para ser movido horizontal y / o verticalmente. En la superficie inferior del eje de accionamiento 6, la pieza de trabajo es decir, la pieza de trabajo 8 se fija de una manera conocida convencional. Top o contacto de la superficie 4 de la pieza de trabajo 8 de la muela abrasiva 2 es un plano de corte horizontal, por el que la superficie de contacto 4 del contacto giratorio con la pieza de trabajo 8, el corte de la pieza de trabajo 8.
Por encima de la parte no en contacto con la pieza de trabajo 8 de la muela abrasiva 2, el electrodo 10 está dispuesto en un hueco en oposición a la superficie de contacto 4 de la muela abrasiva 2. La pluralidad de boquillas 12 se proporciona alrededor de la muela 2, de modo que el flujo de molienda líquido refrigerante es decir, es débilmente conductora entre la muela 2 y el electrodo 10 a través del tubo de suministro 14. Boquilla 12 se proporciona preferiblemente a fluir un refrigerante también entre la muela 2 y la pieza de trabajo 8.
Además, la fuente de alimentación 16 se proporciona en este dispositivo, una tensión de la muela 2 + a través del alimentador de potencia 18 adaptada para contactar con la superficie inferior de la muela 2, mientras que para permitir una tensión del electrodo 10 se ha convertido. Por cierto, el elemento de alimentación 18 puede estar provisto a fin de estar en contacto con la superficie lateral de la muela abrasiva 2. La fuente de alimentación 16 incluye se prefiere una fuente de alimentación que tiene una mezcla de DC y fuente de alimentación o el pulso del pulso.
La Figura 2 es un diagrama de configuración general de un dispositivo para realizar el rectificado de interiores usando una piedra de molienda de acuerdo con la presente invención. Las partes comunes a la Fig. 1 se designan con los mismos números de referencia en la figura. 2, el montaje de la pieza de trabajo 8 al mandril giratorio 1 de convertir la máquina central, también adjuntar la muela Jikuzuke 2 frente a la misma en un mandril capaz de accionamiento alternativo (no mostrado). En el eje del molino de rueda está en contacto con el electrodo de fuente de alimentación o colector de corriente 18. electrodo 10 vestido de electrolitos se apoya y se fija a una parte de la máquina de rectificar (no mostrado). Refrigerante se suministra a la brecha entre la muela y el electrodo.
dispositivo de molienda interna de la Figura 2, la rotación de la muela abrasiva en una dirección opuesta a la dirección de rotación de la obra 8, realiza una molienda sobre el corte y alimentación mientras muela por repetida axialmente impulsado, la muela de rectificado de la pieza de trabajo 8 la realización de apósito electrolítica entre muela 2 y el electrodo 10 a la salida. Así, es posible llevar a cabo Elid molienda agujeros incluso relativamente pequeñas de diámetro mediante la realización de apósito electrolítico y la molienda alternativamente.
Ejemplo 1
Uso de la superficie anteriormente descrito aparato (1) de molienda, se llevó a cabo prueba de rectificado superficie por vestidor electrolítica molienda causando efecto mecanoquímica de la presente invención. Muela usada en el ensayo es para el abrasivo granos óxido de cerio # 2000 (CeO2) se llevó a cabo en un material de unión de metal que consiste en polvo de hierro fundido, el método de fabricación descrito anteriormente, con polvo de hierro carbonilo como un material sinterizado, fue producido segmentos de la muela abrasiva con el grado de concentración grano abrasivo 150. Luego, para obtener una piedra de afilar con forma de disco con un diámetro de 250 mm se unió con un segmento de adhesivo sobre la placa de base. Además, una pluralidad de pequeños orificios que alcanzan los segmentos a través de la placa de base para asegurar la conductividad eléctrica entre los segmentos y la placa de base mediante el vertido de material de soldadura en el pequeño orificio.
A medida que el material abrasivo, una sola placa de cristal de silicio (Si), la molienda se llevó a cabo Elid molienda utilizando la misma potencia que el convencional. La curva de rugosidad de la superficie del suelo resultante se muestra en la figura. En esta figura, la flecha vertical indica el ancho de 50 nm. Como es evidente a partir de esta figura, una superficie de espejo muy suave por molienda según se obtuvo la presente invención. Máxima rugosidad superficial Rmax de la superficie del espejo fue de 20 nm. La rugosidad de la superficie es comparable con el caso de usar el caso (Rmax 30 nm) o molienda fina más el uso de granos abrasivos de diamante de la muela de # 10000. Además, la tasa de molienda es sustancialmente el mismo que los granos abrasivos de diamante de la muela abrasiva de # 2000, se podría llevar a cabo en alta eficiencia que en el caso de los granos abrasivos de diamante de # 4000 # 10000.
Ejemplo 2
Utilizando el dispositivo de molienda interna descrita anteriormente (Fig. 2), que se llevó a cabo prueba de rectificado interno por vestidor electrolítica molienda causando efecto mecanoquímica de la presente invención. Muela utilizada en la prueba es para los granos abrasivos de óxido de cerio # 2000 (CeO2) se llevó a cabo con un material de unión constituido por polvo de hierro fundido, el método de fabricación descrito anteriormente, con polvo de hierro carbonilo como un material sinterizado, abrasivo fue preparado muela con un grado de grano de la concentración a 150. También se utilizó la rectificación utilizando granos abrasivos de diamante de # 2000 para la comparación.
A medida que el material abrasivo, utilizando un vidrio óptico (BK 7). La curva de rugosidad de la superficie del suelo resultante se muestra en las Figs. La Figura 4 es una curva de rugosidad superficial de la superficie del suelo por los granos abrasivos de diamante de la muela de # 2000, una flecha vertical en la figura indica el ancho de 500 nm. Por otro lado, la Fig. 5 es una curva de rugosidad superficial de la superficie del suelo por los granos abrasivos de la muela abrasiva de óxido de cerio # 2000 (CeO2), las flechas verticales en la figura indican el ancho de 50 nm. Es decir, en. Las figuras 4 y 5, la magnitud de las flechas verticales son diferentes de 10 veces.
4 y es evidente a partir de la Fig. 5, se puede obtener la superficie de rectificado de la acuerdo con la presente invención en comparación con la muela de los granos abrasivos de diamante fueron superficie de espejo muy suave molienda. Es decir, la rugosidad superficial máxima Rmax en el caso de granos abrasivos de diamante de la muela abrasiva durante entre aproximadamente 600 nm (0.606μm), el máximo rugosidad de superficie Rmax de la superficie del espejo por la muela de la presente invención fue de aproximadamente 44 nm. La rugosidad de la superficie es comparable con el caso de usar los granos abrasivos de diamante de la muela de # 8000. Además, la tasa de molienda era comparable a los granos abrasivos de diamante de la muela de # 2000.
Como se describió anteriormente, la molienda vestidor piedra electrolítico de acuerdo con la presente invención, ya que contienen granos abrasivos causando efecto mecanoquímica, este abrasivo puede producir un efecto mecanoquímica. Además, dado que los granos abrasivos se llevan a cabo mediante un aglutinante de metal, es posible llevar a cabo Elid molienda usando ciclo Elid descrito anteriormente. efecto mecanoquímica, óxidos metálicos causan efecto mecanoquímica que se presiona contra la superficie de molienda actúa como una especie de catalizador, se considera el silicio abrasivo y vidrio para ser unido covalentemente causando moléculas de agua y de reacción interfacial a tener. Como resultado, la superficie de molienda será capaz de procesado relativamente fácilmente a un bajo reblandecimiento abrasivo y la dureza. Por lo tanto, óxidos de metal causando acción mecanoquímica, pero la dureza es bajo comparado con los granos abrasivos de diamante, cuando se utiliza con una eliminación química por acción mecanoquímica, pueden procesarse con alta eficiencia, y en comparación con los granos abrasivos de diamante la forma no es agudo, es posible obtener una superficie de espejo con partículas relativamente grandes.
Efecto de la invención
Por lo tanto, de acuerdo a la muela de la presente invención, si el abrasivo causando acción mecanoquímica, es posible procesar la superficie del espejo con una alta eficiencia sobre una muela que contiene granos abrasivos de diamante. Además, dichos granos abrasivos son los que se utilizan en grandes cantidades convencionalmente policía, etc., es mucho menos costoso en comparación con los granos abrasivos de diamante. Por lo tanto, es posible procesar la superficie del espejo con una alta eficiencia de molienda sin necesidad de utilizar un costoso granos abrasivos de diamante.
Además, como el Elid molienda utilizando una muela abrasiva según la invención no mezclar los granos abrasivos en el líquido conductor, sólo una pequeña cantidad de los granos abrasivos utilizados en la molienda sólo se mezcla en el líquido, o dañar las superficies de deslizamiento, el ambiente no es que Goss sucia.
Breve descripción de los dibujos
Es un diagrama de configuración general de un aparato de rectificación de superficie utilizando la piedra de molienda según la Fig. 1 la invención.
Es un diagrama de configuración general de un aparato de molienda interna utilizando la piedra de molienda según la figura invención.
Es una curva de rugosidad de la superficie del suelo de la placa de cristal de silicio por la muela abrasiva según la figura invención.
# 4 es una curva de rugosidad superficial de la superficie del suelo por los granos abrasivos de diamante de la muela en 2000.
5 # es un curva de rugosidad superficial de la superficie de rectificado por la muela del óxido de cerio granos abrasivos 2000.
Es una vista explicativa que muestra un ciclo Elid en el método de molienda figura 6Elid.
mandril 1 rotación
2 muela conductora
4 superficie mecanizada
6 eje de transmisión
8 pieza
10 electrodos
12 boquilla
tubería 14 de suministro
16 fuente de alimentación
18 alimentador
Reclamo
Los granos abrasivos y aderezo electrolítica de molienda provocando acción mecanoquímica, caracterizado porque consiste en una unión de metal que contiene los granos abrasivos que comprenden un óxido de metal que causa la reivindicación 1 efecto mecanoquímica.
Los óxidos metálicos resultantes en la reivindicación 2 en el que el efecto mecanoquímica, óxido de cerio (CeO2), óxido de cromo (Cr2 O3), óxido de circonio (ZrO2), según la reivindicación 1, caracterizado porque se selecciona de óxido de silicio (SiO2) electrolítico rueda apósito de molienda según la.
La reivindicación 3 en el que la matriz metálica es polvo de hierro, polvo de hierro fundido, electrolítico apósito de muela abrasiva según la reivindicación 1, caracterizado porque se selecciona de polvo de cobalto.
Electrolítico vestidor muela abrasiva según la reivindicación 1, caracterizado porque las ayudas de sinterización traza con la reivindicación 4, en el que se añade el aglutinante.
La Reivindicación 5 en el que la sinterización Yuisukezai electrolítica vestidor muela abrasiva según la reivindicación 5, caracterizado porque el polvo de hierro carbonilo.
Electrolítico vestidor muela abrasiva según la reivindicación 1, en el que el nivel de concentración de los granos de abrasivo resultante en la reivindicación 6 acción mecanoquımico se caracteriza por una 50 200.
Dibujo :
Application number :1994-000775
Inventors :理化学研究所
Original Assignee :大森整、刈込勝比古