Aparato de pulido de sustrato de filtro
Descripción general
 Y la cinta de pulido y la presión puede sostener el mecanismo de presión para presionar el contacto de fuerza entre el sustrato de filtro con una presión conformable elemento receptor de la prensa sección vertical proporcionado operativamente de acuerdo con la superficie de pulido del sustrato del filtro de pulido de cinta para plegar guía pulido, Y un mecanismo de inclinación para hacer que el miembro de recepción de presión se pueda inclinar de acuerdo con la superficie de pulido del sustrato de filtro. ] Acción de transferencia del sustrato del filtro de cinta de pulido, se puede pulir por tres acción combinada de la acción de movimiento alternativo y la acción Yurafu de la cinta de pulido de la mesa de montaje, durante el pulido, miembro del sustrato del filtro de recepción de la presión de la superficie de pulido y abajo el movimiento de acuerdo con la ondulación de la presión de contacto entre la cinta de pulido y el sustrato de filtro se puede mantener en la presión constante por el mecanismo de presión, pero la presión miembro de recepción por la inclinación mecanismo de acuerdo con la ondulación de la superficie de pulido de la inclinación sustrato de filtro de Tu puedes hacer
Campo técnico
Antecedentes de la invención 1. Campo de la invención La presente invención se refiere a un aparato de pulido de sustrato de filtro utilizado, por ejemplo, para pulir un sustrato de filtro de color como componente de un panel de cristal líquido de color.
Antecedentes de la técnica
En general, por ejemplo, un sustrato W de filtro de color, como se muestra en la Fig. 11, cada filtro de R G B hace sobre la G sustrato de vidrio que tiene un espesor de 1 mm aproximadamente rectangular de vidrio azul placa en forma de placa tal como un material polímero soluble en agua y colorante alinearon capa F corresponde a cada píxel, si es necesario se proporciona una matriz de negro en el ejemplo, una película delgada de metal entre las capas de filtro F como una capa de protección de la luz S hechas de cromo negro grabado al agua fuerte, acrílico respecto epoxi Se proporciona una capa de recubrimiento como película protectora P hecha de una resina o similar, y se forma una película ITO (óxido de indio y estaño) como una película conductora transparente D para superponerse.
Mientras tanto Estos filtros de color del sustrato W, características espectrales, resistencia al calor, ser lisa sin ningún características requeridas y la disposición protuberancias anormales tales como resistencia química, se ha requerido suavidad que, es decir, la superficie de la película protectora P , Se requiere la suavidad de la superficie de la película conductora transparente D y la superficie de la capa F de filtro.
Convencionalmente, en un sustrato de filtro de color de este tipo, pulido por modo de rotación que tiene lugar en la cerámica y semiconductores, la contaminación de la capa de filtro F, extracción de cuerpo extraño, planarización de desnivel en la película P protectora debido a la presencia de la capa de filtro, de ITO Hay conocidos que ensucian la película y eliminan materias extrañas y responden a la demanda de suavizado.
Tarea de solución
Sin embargo, en el caso de pulido por el modo de rotación, el material de la capa de filtro F está cavando capa de blindaje S situado por diferencia de dureza sea fácilmente o capa de blindaje S y el astillado filtro de capa F se produce en la porción de extremo de la capa de filtro F para una dureza baja alisado de la superficie de la capa de filtro F ya que tiende a producirse un fenómeno a ser escrito se ve afectada, por lo tanto, puede afectar a la suavización de, las condiciones de pulido óptimas la suavizadas y la película transparente D conductora de la superficie de la película P protectora Es muy difícil descubrir el problema.
Solución
La presente invención tiene como objetivo resolver estos problemas, un mecanismo de movimiento para un sustrato de filtro de mesa de montaje placeable utilizado para el panel de cristal líquido es correspondido, pulse pulido unidad de la cinta de pulido para plegar guía proporcionó que se pueden formar por miembro y un mecanismo de transporte de la cinta para transferir continuamente la dirección de movimiento de vaivén de la mesa de montaje de la cinta de pulido, un mecanismo de alimentación para mover en una dirección opuesta a la mesa de montaje del mecanismo de transporte de la cinta, el transporte de la cinta que recibe la presión Un mecanismo de balanceo de cinta para balancear el mecanismo en una dirección que cruza la dirección de movimiento alternativo de la mesa de colocación, y un mecanismo de presurización para mover verticalmente el miembro de recepción de presión de acuerdo con la superficie de pulido del sustrato de filtro, Un mecanismo de presión capaz de mantener una presión constante, y un mecanismo de inclinación que puede inclinar el miembro de recepción de presión de acuerdo con la superficie de pulido del sustrato del filtro .
Un sustrato de filtro utilizado para un panel de cristal líquido se coloca sobre una mesa de montaje, la mesa de montaje se desplaza por un mecanismo móvil, la cinta de pulir se transfiere continuamente en la dirección de movimiento alternativo de la mesa de montaje mediante un mecanismo de transferencia de cinta. y la presión de contacto con la sección de la cinta de pulido de pulido es el movimiento Yurafu en una dirección transversal a la dirección de movimiento alternativo de la mesa de montaje por el mecanismo de Yurafu cinta, moviéndose de alimentación en la dirección opuesta a la unidad de pulido de mesa de la prensa de montaje mediante un mecanismo de alimentación en esta presión estado parte pulidora se presiona contra el sustrato del filtro, el sustrato de filtro será pulido por una acción de transferencia, la colocación de la acción de movimiento alternativo y tres acciones de acción Yurafu de la mesa de cintas de pulido de la cinta de pulido.
Durante el pulido, la presión de contacto entre la cinta de pulido y el sustrato de filtro por el mecanismo de presión miembro de recepción de arriba abajo opera en respuesta a la ondulación de la superficie de pulido del sustrato del filtro es la presión constante mantenida, miembro de recepción por la inclinación más filtro mecanismo de la presión Se inclina según la ondulación o similar de la superficie de pulido del sustrato o similar.
1 a través de 10 muestran una realización de la presente invención, M es la base de la máquina, el numeral 1 denota un mecanismo de movimiento, montado en la base 2 en esta base de la máquina M, la parte deslizante 3 a la base 2 1, se proporciona un mecanismo de husillo de bolas 5 para mover horizontalmente la mesa de colocación 4, y se proporciona un motor móvil 6 para accionar el eje de tornillo 5a del mecanismo de husillo de bolas 5 .
7 mecanismo de la cinta de transporte, 8 un mecanismo Yurafu cinta, 9 indica un mecanismo de alimentación, en este caso la cinta mecanismo Yurafu 8, un bastidor de montaje 10 de la, el bastidor de montaje en posición vertical sobre la base de la máquina M en forma de pórtico fijación de la placa de montaje 11 al cuerpo 10, Yurafu proporcionado miembro 13 móvil de soporte por la parte deslizante 12 a la placa de montaje 11 en la dirección lateral en la Fig. 3 es una dirección transversal a la dirección de movimiento alternativo de la mesa de montaje 4, el miembro de soporte Instalar el motor Yurafu 14 a 13, el montaje del seguidor de leva 15 de forma excéntrica al eje principal de Yurafu motor 14, las dos placas de guía 16 en la superficie trasera del miembro de soporte 13 en un estado de seguidor de leva intercalada 15 opuesto De modo que la parte deslizante 12 balancea el miembro de soporte 13 por la acción del seguidor de leva 15 y la placa de guía 16 mediante la activación del motor oscilante 14.
El mecanismo de alimentación 9 es móvil verticalmente para alimentar base 17 en este caso el miembro de soporte 13 por la parte deslizante 18, un soporte 19 se proyecta desde el lado de superficie trasera del miembro de soporte 13, el soporte 19 un poste de guía 20 de pie El contrapeso 21 está montado verticalmente de forma móvil en el poste de guía 20, el miembro de soporte 13 y el contrapeso 21 están conectados por la cadena 23 guiada por la rueda de guía 22, y el tornillo de bola Se proporciona un mecanismo 24 y se proporciona un motor de alimentación 25 para accionar el eje de tornillo 24 a del mecanismo de tornillo de bola 24.
El mecanismo de transporte de la cinta 7 es en este caso que se proyecta desde la placa de soporte 26 a las porciones laterales izquierda y derecha de la base de alimentación 17, una película de poliéster a la placa de soporte 26, el óxido metálico a un sustrato tal como aluminio cruz, óxido de cromo, carburo de silicio, fijado de forma pivotante devanado de bobina 27 y la bobina de recogida 28 de la cinta abrasiva T formada por recubrimiento o la unión de las partículas abrasivas que tienen un tamaño de partícula predeterminado, real tal como un diamante en un tren de engranajes de dos etapas vertical para Jitsumaki carrete 27 a una de la placa de soporte 26 29, y se proporciona un motor de recogida 32 para enrollar y girar el rodillo de recogida 31 en la placa de soporte 26, y el motor de recogida 32 acciona la correa 33a y el tren de engranajes 33b El carrete de recogida 28 está enrollado y girado, y la cinta de pulido T extraída del carrete de bobinado real 27 es transportada al rodillo 34, constituyendo el rodillo oscilante 36 el mecanismo de control de tensión 35 Y es guiado hacia atrás por el elemento de recepción de presión rodada 39 y los rodillos izquierdo y derecho 40 41 que constituyen el mecanismo de presión 38 para formar una porción de pulido de contacto por presión N de la cinta de pulido T por el miembro de recepción de presión 39, a continuación, girando el 28 herida carrete de recogida después de pasar por guiada por el rodillo de bobinado 31 y dispuesto en paralelo rodillos de flexión 31a 31b, la cinta abrasiva T por el rodillo de enrollamiento 31 mientras se hace girar la bobina de arrollamiento real 27 y el carrete de recogida 28 Para que se transfiera continuamente en una dirección.
También el mecanismo de control de tensión 35 está provisto de un brazo oscilante 43 de forma verticalmente basculante por el eje de punto de apoyo 42 en esta placa de soporte caso 26, el rodillo flotante 36 se proporciona en la porción de extremo distal del brazo basculante 43, eje de fulcro punto de apoyo 42 Se monta un detector 44 de ángulo para detectar el ángulo de rotación del árbol 42 y se controla la velocidad de rotación del motor 30 de alimentación de modo que el brazo oscilante 43 mantenga un estado sustancialmente horizontal mediante una señal de detección de ángulo del detector 44 de ángulo, De modo que la tensión de transferencia de la cinta de pulido T se mantiene constante.
El mecanismo de presión por encima de 38 mediante el mecanismo de inclinación 45 se monta a la base de alimentación 17, en este caso el mecanismo de inclinación 45, unido a la placa fija 46 a la base de alimentación 17, el eje de bloqueo 47 hacia adelante y hacia atrás operable para placa fija 46 el montaje se proporciona de forma oscilante inclinar el plano en forma de U marco basculante 48 para bloquear el eje 47 en una dirección transversal a la mesa de colocación 4 alrededor del eje de bloqueo 47 a través de un cuerpo de cojinete 49, enganchando la porción de punta del eje de bloqueo 47 la formación de una porción de pestaña 47a, equipado con un cilindro de cierre 50 para hacer avanzar y retraer el eje de bloqueo 47 a la placa de fijación 46, que participan en el momento de la retracción del cilindro de bloqueo 50 con el saliente de tiempo del cilindro de bloqueo 50 para permitir la inclinación del bastidor de inclinación 48 De modo que el movimiento de inclinación del cuerpo de bastidor basculante 48 se puede bloquear llevando la porción de collarín de tope 47 a en contacto de presión con el cuerpo de soporte 49.
El mecanismo de presión 38 se monta un cilindro de placa de prensado 53 53 de retención 52 52 por la parte deslizante 51 en los lados izquierdo y derecho de este caso, el bastidor de inclinación 48 a la derecha y los lados del bastidor de inclinación 48 dejó con verticalmente proporcionado de forma móvil, 53a varilla 53a del cilindro 53 de presión 53 conectado a la placa de sujeción 52 52, la presión en forma de rollo miembro 39 y la izquierda y el rodillo derecho 40 41 recibir un puente entre la placa de retención 52 52, el miembro 39 de recepción por los cilindros de presión de la presión 53 53 el se baja por el cilindro de prensado 53 53 con verticalmente móvil proporcionado en un estado de formación de una sección de pulido de presión N, para el prensado cuando una gran fuerza de presión por la ondulación de la superficie de pulido del sustrato del filtro W se aplica al miembro 39 de recepción de la presión La presión interna se libera hacia el exterior a fin de mantener constante la presión interna del cilindro 53 53, elevándose el elemento de recepción de presión 39, manteniendo así constante la fuerza de contacto de presión. .
Dado que esta realización es la configuración, la superficie de la capa de filtro F, en la que la superficie o una película conductora transparente en D de la película P protectora pulido, se coloca sobre la mesa de montaje 4 para el filtro el sustrato W, un no ilustrado fijado por sujeción mecanismo o similar, la mesa de posicionamiento 4 en este estado se mueve alternativamente por el mecanismo de movimiento 1, y se transfiere continuamente a la dirección de movimiento alternativo de la mesa de posicionamiento 4 la cinta abrasiva T por el mecanismo de transporte de la cinta 7, formado por el miembro 39 que recibe la presión abrasivo la prensa de pulido parte N de la cinta T es el movimiento Yurafu en una dirección transversal a la dirección de movimiento alternativo de la mesa de colocación 4 por el mecanismo de Yurafu cinta 8, con la oposición del mecanismo de alimentación de 9 en este estado a la mesa de montaje 4 para presionar la parte pulidora N a es movido de alimentación en la dirección de prensado de la unidad de pulido N se presiona contra el filtro el sustrato W, el sustrato del filtro W es transportada acción de cinta T abrasivo, la acción de movimiento alternativo y tres acción combinada de acción Yurafu de la cinta de pulido T de la mesa de montaje 4 Por El pulido puede llevarse a cabo llevando gradualmente la sección N de pulido de contacto a presión por el mecanismo 9 de alimentación de acuerdo con el número de veces de movimiento alternativo de la mesa 4 de montaje, de modo que es posible obtener un buen proceso de pulido Tu puedes
Además presionando en del pulido, el pulido de la tensión de transporte de la cinta T se puede mantener constante por el mecanismo de control de tensión 35, y la presión miembro 39 y el funcionamiento abajo recibir en respuesta a la ondulación de la superficie de pulido del sustrato del filtro W mecanismo 38 puede mantenerse en una presión constante por la acción del cilindro 53 de presión la fuerza de contacto de presión entre la cinta T abrasivo y el sustrato del filtro W en la prensa de pulido unidad de N por, en todavía la inclinación del marco 48 es estado inclinable del mecanismo basculante 45 marco 48 y miembro de recepción 39 oscilaciones inclinadas en una dirección transversal a la mesa de colocación 4 alrededor del eje de bloqueo 47 de acuerdo con la ondulación de la superficie de pulido del sustrato del filtro W o similar, y la inclinación de la retracción del eje de bloqueo 47 la presión de inclinación como se requiere Es posible fijar y sujetar el cuerpo de bastidor 48, y es posible obtener un excelente proceso de pulido del sustrato de filtro W en consecuencia.
La presente invención también es aplicable al pulido de otro sustrato de filtro, también mecanismo de movimiento, un mecanismo de transporte de la cinta, cinta mecanismo Yurafu, la estructura de tal mecanismo de alimentación no se limita a las realizaciones anteriores, y las modificaciones apropiadas Está diseñado.
Efecto de la invención
La invención como se describió anteriormente, la acción de transferencia del sustrato pulido filtro de cinta puede ser pulido por tres acción combinada de la acción de movimiento alternativo y la acción Yurafu de la cinta de pulido de la mesa de montaje, este orden para obtener un buen pulido que puede ser, también durante el pulido puede ser la presión de recepción de miembro para mantener la presión de contacto entre la cinta de pulido y el sustrato de filtro por el mecanismo de presión arriba y abajo opera en respuesta a la ondulación de la superficie de pulido del sustrato del filtro a presión constante, aún más la presión miembro de recepción por la inclinación mecanismo inclina en respuesta a la ondulación de la superficie de pulido del sustrato del filtro, es posible obtener un buen sustrato de filtro mucho pulido.
Por lo tanto, el objeto deseado puede lograrse satisfactoriamente.
Breve descripción de los dibujos
La figura 1 es una vista lateral general de una realización de la presente invención.
La figura 2 es una vista en planta general de una realización de la presente invención.
La figura 3 es una vista frontal global de una realización de la presente invención.
La figura 4 es una vista posterior parcial de una realización de la presente invención.
La figura 5 es una vista lateral en sección transversal parcial de una realización de la presente invención.
La figura 6 es una vista frontal parcial de una realización de la presente invención.
La figura 7 es una vista en sección frontal parcialmente ampliada de una realización de la presente invención.
La figura 8 es una vista lateral en sección parcialmente ampliada de una realización de la presente invención.
La figura 9 es una vista en sección lateral ampliada parcial de una realización de la presente invención.
La figura 10 es una vista en planta ampliada parcial de una realización de la presente invención.
La figura 11 es una vista en sección transversal de un sustrato de filtro de color.
Fig. 8 ... Substrato del filtro W
T cinta abrasiva
Parte de pulido de contacto de presión N
1 Mecanismo de movimiento
4 plataforma
7 Mecanismo de transferencia de cinta
8 mecanismo de vibración de la cinta
9 Mecanismo de alimentación
38 Mecanismo de prensa
39 Miembro que recibe la presión
45 Mecanismo de inclinación
Reclamo
Un mecanismo de movimiento para la reivindicación 1 panel de cristal líquido de movimiento alternativo el sustrato de filtro se puede colocar tabla utilizada para el pulido de guía de la cinta de plegado y se puede formar una parte de pulido de presión del miembro de recepción de la presión se proporciona, la colocación de la cinta abrasiva Un mecanismo de alimentación para mover el mecanismo de movimiento de cinta en una dirección opuesta a la mesa de montaje; un mecanismo de movimiento para mover el mecanismo de movimiento de cinta en una dirección que atraviesa una dirección de movimiento alternativo de la mesa de montaje; cinta de filtro mecanismo Yurafu, y la cinta de pulido y la presión puede sostener el mecanismo de presión para presionar el contacto de fuerza entre el sustrato de filtro con superior e inferior proporcionando operativamente miembro de recepción de acuerdo con la superficie de pulido del sustrato del filtro, un miembro receptor para mover la presión Y un mecanismo de inclinación que puede inclinarse de acuerdo con la superficie de pulido del sustrato.
Dibujo :
Application number :1994-000757
Inventors :株式会社サンシン
Original Assignee :細貝信和