Marca de posicionamiento
Descripción general
 En la muestra en la que los dos sustratos están unidos, se forman una marca de alineación de terminal A y una marca de alineación de división de célula B. Estos dos marcas de alineación A B, respectivamente, marca de diamante 2 2 como de costumbre, o además de la marca de cruz 6 6, estos marca de diamante 2 2, o la marca sólido-como 3 que conecta la marca de cruz 6 6, línea-como discontinua marca 7 Y está formado. El posicionamiento en el momento de la división se realiza utilizando dos puntos arbitrarios de la marca de línea continua 3 y la marca de línea de una línea de punto único 7. La búsqueda de la marca de alineación se puede realizar en poco tiempo, se facilita el posicionamiento y, finalmente, se habilita el posicionamiento de alta precisión.
Campo técnico
La presente invención es, por ejemplo, haciendo que el dispositivo de visualización de cristal líquido, se refiere al proceso de impresión de película de alineación, la unión de la etapa de sustrato, marcas de posicionamiento usados ​​para posicionar el sustrato se requiere para cada paso, como proceso de división celular.
Antecedentes de la técnica
Generalmente, un elemento de visualización de cristal líquido tiene una configuración en la que un material de cristal líquido se interpone entre dos sustratos que están opuestos entre sí y están hechos de, por ejemplo, vidrio o similar.
En la fabricación de dicho elemento de visualización de cristal líquido, en primer lugar, se preparan dos sustratos de vidrio para ser sustratos de un elemento de visualización de cristal líquido. Después de depositar la película de ITO en los sustratos de vidrio, un patrón de electrodo de los electrodos ITO se formaron por foto-patrón, la impresión de película de alineación, el proceso de alineación realizado por la realización de la impresión del sello con la pulverización de un material de intersticio de la célula, Dos sustratos están laminados de modo que sus superficies de formación de película son opuestas entre sí (etapa de unión del sustrato). A continuación, el par de sustratos unidos se dividen en formas predeterminadas (paso de división de células) y se inyecta un material de cristal líquido.
Mientras tanto, en cada etapa de fabricación del elemento de visualización de cristal líquido como se describió anteriormente, el sustrato se establece en la etapa de cada dispositivo. Por lo tanto, el problema es el posicionamiento del conjunto de sustrato en el escenario. Si este posicionamiento es insuficiente, el rendimiento del elemento de pantalla de cristal líquido se ve inmediatamente influenciado, lo que conduce a un aumento de la pérdida en el momento de la fabricación y un aumento en el costo de fabricación. Por lo tanto, convencionalmente, cuando se forman los electrodos de ITO y foto-patrón sobre un sustrato, formando simultáneamente una marca de alineación como una marca de posicionamiento para cada proceso, la marca de alineación es un campo de posicionamiento de vista con un microscopio o la alineación como La posición de la etapa se ajusta de manera que se ubique en una porción predeterminada del campo de visión, posicionando de ese modo el sustrato. De aquí en adelante, agarrar la marca de alineación en una porción predeterminada del campo de visión de alineación como se describió anteriormente se denomina reconocimiento de la marca de alineación en el campo de visión de alineación.
Por ejemplo, en la etapa de división celular establece un par de substratos en el escenario de la máquina de cortar en dados (pre-alineación), la línea de división pre-célula para indicar línea divisoria celular en ambos extremos dirección formado por la marca de alineación puntual es Un lado se reconoce en el campo de visión de alineación, y luego la etapa se mueve (salida paralela) para reconocer la otra marca de alineación, posicionando así el sustrato.
En el proceso de impresión de película alineación utilizando la impresión offset, el sustrato se encuentra en una etapa de un aparato de impresión offset, una pluralidad de marca de alineación de punto como se forma previamente sobre el sustrato, se reconoce, respectivamente, en el campo de alineación El escenario se mueve para colocar el sustrato de manera que se pueda colocar.
Y, en los últimos años, para convertir de dispositivo de visualización de cristal líquido, de alta definición progresa, se requiere más aún mayor precisión de posicionamiento, para cumplir con esto, aumentar la ampliación del campo de alineación, en la alta ampliación del campo de alineación El posicionamiento se está llevando a cabo.
Tarea de solución
Sin embargo, la disposición anterior convencional, la marca de alineación utilizada para el posicionamiento del sustrato, ya que la única marca en forma de punto que indica un punto predeterminado, cumplir los requisitos de los últimos se sitúa en la alta ampliación del campo de alineación Si, fuera de la marca de alineación en el campo de la alineación de vista, incluso una ligera desviación en el momento de la pre-alineación, o llevar a cabo una vez más antes de la alineación es un error, e hizo una búsqueda de marca a través de una gran cantidad de tiempo, como por ejemplo que no se puede mejorar la trabajabilidad Hay un problema
Esto aumenta la ampliación del campo de alineación, si para posicionar el sustrato en un campo de alta potencia, para el reconocimiento de la marca de alineación con el campo de alta potencia, inevitablemente marca de alineación en sí es pequeño, ya que fácilmente desacoplado del campo de alineación .
Además, considerando el deterioro de la trabajabilidad, la ampliación del campo de visión de alineación no puede elevarse como se esperaba y también existe el problema de que es imposible posicionar el sustrato con una precisión suficientemente alta.
La presente invención se ha realizado en vista de los problemas anteriores, incluso a pequeñas desviaciones de la pre-alineación, con apenas se desvía de la alineación de campo, de búsqueda de marcadores en un corto tiempo, incluso cuando se desvió de campo par de alineación Su objetivo es proporcionar una marca de alineación que sea posible, lo que permite un posicionamiento altamente preciso mediante un campo visual de gran aumento.
Solución
Marca de posicionamiento de la presente invención, con el fin de resolver los problemas anteriores, se utiliza para el posicionamiento del substrato, una porción predeterminada es reconocido por campo posicionamiento representados ampliada, como un punto indicativo de un punto predeterminado sobre el sustrato Y una marca lineal que indica al menos uno de la dirección del eje X y la dirección del eje Y en el sustrato.
De acuerdo con la estructura anterior, la marca de posicionamiento es una marca en forma de punto que indica un punto predeterminado sobre el sustrato (en adelante, abreviado como marca punteada) y, por otro lado al menos una de las direcciones del eje X y del eje Y en el sustrato Y una marca lineal (en lo sucesivo, abreviada como una marca lineal) que indica la forma de la marca. Por lo tanto, en la estructura convencional, porque era la marca de posicionamiento única marca puntiforme, punto-como marca de dirección del eje X, pero también desplazado en cualquier dirección en la dirección del eje Y se desvía desde el campo de posicionamiento, la En la marca de posicionamiento de la invención, incluso si la marca de punto se desplaza, si la dirección de desviación es la dirección de extensión de la marca lineal, la marca lineal entra en el campo de visión de posicionamiento. Además, incluso si incluso una marca lineal está fuera del campo de posicionamiento, se forma dirección marca lineal, a saber, en busca de uniaxialmente de manera que sea capaz de capturar la marca lineal en el campo de visión . Si la marca lineal se puede capturar dentro del campo de visión, moviendo el sustrato a lo largo de la marca lineal, es posible reconocer fácilmente la marca de punto. Como resultado, en comparación con el caso en el que se usa la marca de posicionamiento convencional, el tiempo requerido para la recuperación de la marca puede acortarse y el posicionamiento se vuelve fácil.
Además, el posicionamiento de simplemente puede, por ejemplo de células dividiendo paso tales como búsqueda de la dirección del sustrato, ya realizado utilizando sólo marca lineal, en comparación con el caso de usar la marca de posicionamiento convencional, el tiempo requerido para los más de búsqueda de marcadores Se puede acortar y se facilita el posicionamiento.
De esta manera, dado que el posicionamiento es fácil, la ampliación del campo de visión de posicionamiento puede aumentarse hasta una gran ampliación sin afectar la trabajabilidad, y es posible un posicionamiento altamente preciso.
Realización 1 Se describirá una realización de la presente invención con referencia a las figuras 1 a 5. Este ejemplo ilustra el caso en el que la marca de posicionamiento de acuerdo con la presente invención se usa para la etapa de desconexión del terminal y la etapa de desconexión de la celda en el momento de la fabricación del elemento de visualización del cristal líquido.
En primer lugar, se deposita una película de ITO sobre un sustrato hecho, por ejemplo, de vidrio, que es un sustrato de un elemento de visualización de cristal líquido, y se recubre una capa fotorresistente sobre la película de ITO. A continuación, en la superficie del sustrato que se aplica la resina fotosensible, junto con el patrón de electrodo, el paso de impresión de película de alineación, la unión de paso del sustrato, la etapa terminal OUT, respectivos pasos de la marca de alineación es necesaria para el proceso de la división celular o similar (para el posicionamiento Mark) patrón está expuesto, y luego se lleva a cabo el desarrollo para eliminar la porción extra. A continuación, se disuelve parte fotorresistente no cubierta de la película de ITO con un producto químico, finalmente retirar el material fotorresistente restante sobre el sustrato para formar el electrodo de ITO, y un alineamiento marcan diferentes pasos.
La figura 2 muestra una vista en planta, una vista frontal y una vista lateral de los dos sustratos 1a 1b así formados. En los dibujos, solo las marcas de alineación utilizadas para el proceso de dibujo del terminal y el proceso de división celular se muestran para una fácil comprensión. En vista en planta, aunque indican porción donde la marca de alineación A es un terminal a cabo está formado por una línea de puntos y rayas indica la porción en la que la célula en división marca de alineación B está formada por una línea de cadena de dos puntos, aún más, la línea de corte regular de C Están indicados por líneas discontinuas. En la vista frontal y la vista lateral, las partes donde se forman la marca de alineación de alineamiento de terminal A y la marca de alineación B de división de celda están indicadas por flechas. Además, en el supuesto de que el sustrato 1a 1b unidos, sustrato 1a muestra en la Fig. (A), se forma la superficie de electrodo de ITO 2, es decir, la superficie sobre la que la alineación marca A B está formado de papel El sustrato 1b mostrado en la figura 3 (a) se muestra con la superficie sobre la cual se forma la marca de alineación A B como el lado frontal.
El sustrato 1a 1b la alineación formada marca un terminal OUT indicado por una línea de cadena es, como se muestra en la Fig. 1 (a) es una vista ampliada, una marca rómbica 2 2 una marca puntual, la dirección de truncamiento Y una marca de línea continua 3 que es una marca lineal formada a una distancia predeterminada de una línea divisoria regular C que conecta la marca rómbica 2 2. Mientras tanto, la división celular marca de alineación B indicado por la línea de cadena de dos puntos, como se muestra en (b) de la Fig. 1, una marca de cruz 6 6 una marca puntiforme, y semejante al triángulo 4 anterior, las marcas transversales 6 6 Y una marca lineal de cadena de un punto 7 que es una marca lineal formada con una distancia predeterminada de una línea divisoria regular C que conecta entre los dos puntos. La marca de triángulo 4, la marca de línea continua 3 y la marca de línea de cadena de un punto 7 se forman en una región que se cortará después de dividirse.
Se dijo que dos sustratos 1a 1b, realiza predeterminado proceso de unión del sustrato, la unión como se muestra en la Fig. 4 (en lo sucesivo, denominado como el par unido de sustratos y la muestra 5). En la figura, para facilitar la explicación, la 1a substrato y el substrato 1b están representados en estrecho contacto, de hecho, está unido a través del material de intersticio de la célula (no mostrado), un espacio de separación predeterminado .
Entonces, la muestra 5, el lado del substrato 1a hacia arriba y fijado en la etapa del dispositivo de corte en dados no se muestra (KK Okamoto Machine Tool Works).
Luego, el procesamiento de eliminación terminal se realiza en la muestra 5. Capturar el campo de posicionamiento en la que el campo de alineación por formada sobre el substrato 1a, el terminal OUT marca de alineación A con alta ampliación, dos puntos cualesquiera de la marca 3 de tipo sólido que está dentro del campo de alineación de vista, en el campo de alineación La etapa 5 se mueve (alineada en paralelo) para ubicarse en una posición predeterminada, y la posición de la etapa 5 se ajusta ajustando la posición de la etapa. De aquí en adelante, se dice que el reconocimiento de una marca en una porción predeterminada del campo visual de alineación se reconoce en el campo visual de alineación como se describió anteriormente. Por cierto, en el campo de alineación, cuando no esté en marcas de alineación A es, moviendo la etapa en la dirección en la que se forma la marca de sólido-como 3, la captura de la marca en forma de sólido 3 en el campo de alineación, entonces la La colocación en paralelo se realiza utilizando dos puntos arbitrarios de la marca lineal sólida 3 de la misma manera que en el caso de la FIG.
De esta manera, después de la colocación, se realiza la división del sustrato 1a por la línea de corte C de la marca sólida-como 3 una distancia predeterminada normales para formar el terminal OUT porción del substrato 1b. Cabe señalar que la línea divisoria que se someterá a dicho proceso de corte se establece para tener un margen suficiente con respecto a la distancia que debe dividirse realmente.
Entonces, si se acaba el terminal a cabo el procesamiento del substrato 1a, girado 90 ° después de la inversión de la parte delantera y trasera de la muestra 5, de la misma manera como se describió anteriormente, después de colocar la muestra 5 en la terminal a cabo la alineación de marca A, el sustrato 1b para formar una porción de extensión del terminal del sustrato 1a.
Posteriormente, se realiza el proceso de desconexión de la celda en la muestra 5 sometida al procesamiento de colocación del terminal como se describió anteriormente. De la misma manera que arriba, se reconocen dos puntos arbitrarios de la marca lineal de la cadena de un punto 7 en el campo visual de alineación (un punto dentro del campo de visión de alineación) En el caso en que la marca 7 en forma de línea de cadena no esté contenida, la búsqueda se realiza de la misma manera que la anterior), después de la alineación y el posicionamiento paralelos, la división se realiza en la línea de división normal C. Sin embargo, en el caso del procesamiento de división celular, ambos sustratos 1a 1b también se dividen a la vez. A continuación, la muestra 5 se gira 90 °, y el posicionamiento se realiza con la marca B de alineación de división de células de la misma manera que la descrita anteriormente, y luego se divide.
De esta forma, como se muestra en la figura 5, la muestra 5 sometida al proceso de colocación del terminal y el proceso de división celular es una celda individual 5 '. A continuación, se lleva a cabo un procesamiento predeterminado, y se inyecta el miembro de cristal líquido.
Como se describió anteriormente, el sustrato 1a 1b a proporcionado el terminal OUT marca de alineación A que constituye la muestra 5 de esta realización, y la célula en división alineación marca B, respectivamente, marca de diamante 2 2, la marca de cruz 6 6 Además, dado que se forman la marca de línea continua 3 y la marca de línea de cadena de un punto 7 formada con una distancia predeterminada de la línea de división regular C, las marcas rómbicas 2 2 y , sin el uso de la marca de cruz 6 6, marcas rómbicas 2 2 fácilmente y la marca en forma de línea sólida 3 entra en el campo de la alineación en comparación con la marca de cruz 6 6, usando dos puntos cualesquiera de la cadena de una sola dot marcas lineales 7, la muestra 5 se puede alinear y posicionar. Además, en casos raros, totalmente dentro del campo de alineación, incluso cuando la alineación marca A B No se reconoce como en el convencional, sin tener que buscar en tanto X del eje Y, sólido marca en forma de línea 3, un discontinua marca de línea como 7 está formado Es posible agarrar fácilmente la marca de línea continua 3 o la marca de línea de cadena de un punto 7 en el campo de visión de alineación solo buscando en una dirección. Por lo tanto, incluso en una configuración que utiliza un campo de alineación de gran aumento, el posicionamiento puede realizarse fácilmente sin requerir mucho tiempo para buscar la marca de alineación.
Realización 2 Se describirá otra realización de la presente invención con referencia a las figuras 6 y 7. Este ejemplo ilustra el caso en el que la marca de posicionamiento de acuerdo con la presente invención se usa para la etapa de impresión de la película de alineación en el momento de la fabricación del elemento de visualización de cristal líquido. Además, los miembros que tienen las mismas funciones de las realizaciones descritas anteriormente se indican con los mismos símbolos.
La Figura 6 es una ilustración de este ejemplo ilustra la marca de alineación D para la impresión de la película de alineación utilizado en la etapa de impresión capa de alineación que está formada en la 1a sustrato usado en la realización anterior, la posición del patrón de la célula .
película de alineación de la marca de alineación de impresión D formada en el sustrato 1a, como se muestra en la Fig. 7 es una vista ampliada de la misma, y ​​la marca de diamante 2 2, un sólido de marca en forma de línea-3 formadas en ambos lados de la marca de diamante 2 2 Y cosas por el estilo
En el caso de realizar el proceso de impresión de película de alineamiento sobre el sustrato 1a, el sustrato 1a se coloca en una etapa de un aparato de impresión offset que tiene una placa para imprimir una película de alineación (no mostrada). En este caso, el campo de alineación de alta magnificación se establece de antemano en la posición adecuada que coincide con la placa. Después de ajustar el sustrato 1a, la etapa 1a se mueve de manera que la marca rómbica 2 2 se coloca en un punto predeterminado dentro del campo de visión de alineación para colocar el sustrato 1a. Convencionalmente, porque no sólo se formó única marca de diamante 2 2, si la marca de diamante 2 2 está fuera del campo de alineación, realizar una búsqueda en X Y ambas direcciones axiales, y consume mucho tiempo para la búsqueda pero la marca de alineación D de esta realización, como se muestra en la Fig. 7, los extremos de la marca de diamante 2 2, ya que las marcas de sólidos similar a 3 se forman, la formación de marca de diamante 2 2 en esta línea sólida marca de forma 3 Dado que se puede conocer la dirección en la que se realiza, la etapa se mueve en función de esto, y la marca rómbica 2 2 es reconocida y posicionada. A continuación, se realiza un proceso predeterminado de impresión de película de alineación para imprimir una película de alineación sobre el sustrato 1a.
Como se describió anteriormente, la marca de alineación D de la presente realización también, de manera similar a la realización anterior, la película alineación de la impresión marca de alineación D es una marca de diamante en forma de punto-2 2, están formadas en ambos lados de la marca de diamante 2 2 Y la marca de línea continua 3, la dirección de búsqueda puede ser determinada por la marca de línea continua 3, y la marca rómbica 2 2 puede ser fácilmente reconocida. Por lo tanto, de forma similar a la realización anterior, el posicionamiento puede realizarse fácilmente incluso si se usa un campo de alineación de gran aumento.
Efecto de la invención
Marca de posicionamiento de la presente invención, con el fin de resolver los problemas anteriores, se utiliza para el posicionamiento del substrato, una porción predeterminada es reconocido por campo posicionamiento representados ampliada, como un punto indicativo de un punto predeterminado sobre el sustrato Y una marca lineal que indica al menos uno de la dirección del eje X y la dirección del eje Y en el sustrato.
Por lo tanto, en comparación con el caso del uso de la marca de posicionamiento convencional, es posible acortar el tiempo requerido para buscar la marca, facilitar el posicionamiento, aumentar aún más la ampliación del campo de visión de alineación a un gran aumento, Es posible realizar posicionamiento con precisión.
Breve descripción de los dibujos
Y muestra la forma de las marcas de alineación en una forma de realización de la Fig. 1 la invención, (a) representa una vista explicativa de marcas de alineación terminales de salida es una vista explicativa de (b) es una marca de alineación para la división celular.
La figura 2A es una vista en planta del sustrato sobre el que se forman las marcas de alineación, la figura 2B es una vista frontal del mismo, y la figura 2C es una vista lateral del mismo.
3 (a) es una vista en planta de otro sustrato sobre el que se forman las dos marcas de alineación, (b) es una vista frontal del mismo, (c) es una vista lateral del mismo.
4 (a) es una vista en planta de una muestra formada por la unión del sustrato del sustrato y 3 de la Fig. 2, (b) es una vista frontal de la misma, (c) es una vista lateral del mismo.
La figura 5 es una vista en planta de una celda formada dividiéndose a partir de la muestra de la figura 4.
La figura 6 es una vista en planta de un sustrato sobre el cual se forman un patrón de celda y una marca de alineación de impresión de película de alineación de acuerdo con otra realización de la presente invención.
La figura 7 es una vista explicativa que muestra la forma de la marca de alineación de impresión de la película de alineación.
1a sustrato
1 b sustrato
2 marca de rombo (marca de puntos)
3 marca lineal sólida (marca lineal)
4 marca del triángulo
5 muestras
Celda 5 '
6 marca cruzada (marca de puntos)
7 Marca de línea de una cadena de puntos (marca lineal)
Una marca de alineación de terminales (marca de posicionamiento)
Marca de alineación de célula B (marca de posicionamiento)
C Línea de corte regular
Marca de impresión de la película de alineación D (marca de posicionamiento)
Reclamo
Se utiliza para posicionar el sustrato reivindicación 1, una porción predeterminada es reconocido por campo posicionamiento representados ampliada, una marca en forma de punto que indica un punto predeterminado sobre el sustrato, la dirección del eje X y la dirección del eje Y en el sustrato Y una marca lineal que indica al menos uno de la marca y la marca.
Dibujo :
Application number :1994-003657
Inventors :シャープ株式会社
Original Assignee :岩本誠、福地俊生、御園健司、磯畑恭平、長野泰之、西田賢治