Guía de onda óptica de cristal de granate y método de fabricación de la misma
Descripción general
 Se proporciona una guía de onda óptica de cristal de granate que tiene tanto una funcionalidad conectada de baja pérdida como pasividad. ] Porción de guía de ondas óptica funcional 1A y el cristal de granate de guía de ondas óptica 1 que tiene una guía de ondas óptica pasiva 1B es la fórmula R3 B5 O12 (R representa Y, La, cualquier tipo de elementos de tierras raras que tienen una Bi y número trivalente de valencia, B cristal Fe, Ga, al, el granate sustituido sustituido por uno o más elementos con parte de valencia equivalente de granate o constituyentes elementos distintos del oxígeno en el granate representado por cualquier representante de la clase) de Sc el uso, inferior de revestimiento se proporciona la capa 3, el eje óptico tiene una dimensión predeterminada sobre los partidos capa de revestimiento inferior, composiciones de cristal núcleo granate diferentes de la película de cristal de granate que no presenta fluorescencia de un no magnético sobre el sustrato 2 Una parte de núcleo que comprende las capas 5 y 7 y una capa de revestimiento superior 8 de una película de cristal no magnético y de granate que no muestra fluorescencia se proporcionan en esta parte de núcleo. Use una máscara de platino e Ir cuando forme la capa central.
Campo técnico
La presente invención se refiere a una guía de ondas óptica de cristal de granate y un método de fabricación del mismo, para uso en un aislador óptico o amplificador óptico o similar.
Antecedentes de la técnica
Convencionalmente, la guía de ondas óptica de cristal de granate usado en el dispositivo óptico o la porción gustaría tener una función especial, por ejemplo, ser utilizado solamente en una parte específica para la oscilación o similar de la luz por rotación o polarización de la fluorescencia debido al efecto de Faraday, otros sustratos guía de onda pasiva formada y guía de ondas óptica activa y trasero Te (bateo) se han utilizado en una forma que sirve para la función como un denominado dispositivo óptico híbrido mediante la conexión por adhesivo o similar. Esto, por ejemplo, en dispositivos que utilizan el efecto Faraday del cristal de granate magnético, tratando de configurar un dispositivo monolítico con un sustrato frente solamente el sustrato formando una película de cristal de granate magnético, distinta de una parte a ser sometida a la rotación de la polarización original de tampoco es funcionar como un dispositivo para la rotación de la polarización se produce en la zona, o incluso para cristal de granate que exhibe características de fluorescencia, para cumplir con el uso y funcionalidad de fluorescencia innecesaria se produce, en parte, debe funcionar como una guía de ondas óptica pasiva No es posible hacer
El problema con la técnica anterior es que es complicado y técnicamente difícil conectar ópticamente las guías de ondas ópticas formadas en diferentes sustratos con bajas pérdidas (conexión híbrida). guías de onda ópticas funcional compuesto de cristales de granate, porque por lo general una línea recta como máximo alrededor de 20 mm, cuando se conecta con otra guía de onda pasiva se lleva a cabo en el procedimiento como se muestra en la figura. La figura 3 es una vista en sección transversal esquemática que muestra un ejemplo de un método de conexión de una guía de ondas ópticas de cristal de granate de acuerdo con una técnica convencional. 3, 10 es la porción de guía de ondas óptica funcional, 10a es la guía de ondas óptica de cristal de granate, el sustrato 11 es parte funcional óptico de guía de ondas, 12 una capa de revestimiento de la porción de guía de ondas óptica funcional, la capa de núcleo de la sección de guía de ondas óptica funcional 13, 14 reflejada película de prevención 20 es la sección de guía de onda pasiva, 20A son de guía de ondas óptica pasiva, una porción de guía de ondas óptica pasiva del sustrato 21, 22 está una capa de revestimiento de la sección de guía de onda pasiva, 23 una capa de núcleo de la sección de guía de onda pasiva, 24 ranura, 30 Es un adhesivo
En primer lugar, se corta la guía de ondas 10A de cristal de granate preformada. El cristal de granate de guía de ondas óptica 10A está revestido capa 12 sobre un sustrato de cristal de granate, capa de núcleo 13 se hace por secuencialmente la laminación de la capa de revestimiento 12. Después de pulir las caras de extremo de la escotadura de cristal de granate de guía de ondas óptica 10A, para formar una película antirreflectante 14 a estas caras extremas para obtener la guía de ondas óptica funcional porción 10 (Figura 3 (A)). Entonces, de nuevo la capa de revestimiento 22 en el sustrato avance 21, la capa de núcleo 23, para formar un 20A de guía de ondas óptica pasiva por secuencialmente laminación de una capa de revestimiento 22, procesa al granate cristal guía de onda óptica (función de una parte de la 20A de guía de ondas óptica pasiva la obtención de una sección de guía de onda pasiva 20 para formar una ranura 24 para el montaje de la sección de guía de ondas óptica 10) ((Fig. 3 (B)). a partir de entonces, granate guía de luz de cristal para que coincida con el núcleo 13, 23 el uno al otro de la guía de ondas óptica La guía de ondas (porción de guía de ondas ópticas funcionales) 10 se ajusta en la ranura procesada 24 y se fija con un adhesivo 30 o similar (Figura 3 (C)).
En la etapa mostrada en la figura 3, se omite la etapa de formar la guía de ondas óptica de granate sobre el sustrato de cristal de granate 21 por adelantado. Además, es cortado y el paso 10A de guía de onda óptica pasiva para formar una guía de onda óptica pasiva 10A, también el pulido superficie frontal se omiten de manera similar. Es decir, si estos pasos es una región responsable de la región y la pasividad funcionalidad responsable en el mismo sustrato se forma antes de realizar el proceso de guía de onda óptica no requiere etapa de realizar por separado, estos pasos Debido a que contiene, no se puede esperar un alto rendimiento. En el mecanizado de la ranura 24 mostrada en la Fig. 3 (B), es necesario para controlar la profundidad de la ranura de error con respecto a la 5! M de diámetro del núcleo de la guía de ondas óptica es 5% o menos precisión. Además, en el proceso de bateo de la Fig. 3 (C), el no en el equipo de automatización para la conexión con los avances de baja pérdida, se debe realizar casi manualmente, muy ineficiente. En dicha técnica anterior, se necesita una habilidad especial, no sólo el precio del dispositivo se incrementa el uso de una guía de ondas óptica de cristal de granate, se ha mantenido bajos niveles de productividad. Además, fue difícil reducir la pérdida de conexión a 1 dB o menos.
Con el fin de mejorar tal técnica convencional, se puede usar un dispositivo monolítico que tenga una productividad excelente. Por lo tanto, por ejemplo, de antemano mediante la formación de una película de cristal de granate comprende un clad y un substrato de cristal de granate de núcleo, que se enmascara para dejar solamente la sección de función de guía de ondas óptica, ácido fosfórico caliente o la película de cristal de granate como en otras áreas Y es concebible un método para formar una guía de onda óptica tal como cuarzo o polímero en una porción que se va a pasivar. Sin embargo, incluso con este método, ya que la diferencia en el cristal de granate y el índice de refracción de los materiales circuito óptica pasiva es demasiado grande, es necesario para formar una película antirreflectante en la porción de conexión entre los mismos, la película anti-reflexión es una cara de extremo , Es difícil formar el dispositivo y no se puede esperar el rendimiento del dispositivo. No sólo eso, incluso si un intento se forma un revestimiento superior para confinar la luz para el núcleo, también existe todavía el índice de refracción de la necesidad problema surge a tener revestimiento separado en cada región de la discrepancia.
El método de conexión de la guía de ondas óptica de cristal de granate convencional, siempre y cuando el uso de la conexión híbrida, pérdida de conexión mantenerse tan baja, es difícil de llevar a cabo de manera eficiente y con una alta productividad. Además, también era difícil formar monolíticamente una guía de ondas óptica que tenía una estructura de conexión en el mismo sustrato.
Tarea de solución
Un objeto de la presente invención es resolver este problema, por diferente película de cristal de granate composiciones sustrato de cristal de granate se cultiva de forma selectiva mediante el uso de una máscara, para unir los cristales juntos, una guía de ondas óptica y a partir de entonces Y para proporcionar una guía de onda óptica de cristal de granate que tiene baja funcionalidad y pasividad combinada con bajas pérdidas por procesamiento.
Solución
Para lograr los anteriores problemas, una primera guía de ondas de cristal de granate de acuerdo con la invención de la presente solicitud, la fórmula general R3 B5 O12 (R o bien un elemento de tierras raras que tienen itrio, lantano, la valencia del bismuto trivalente y las gradas, B se sustituye hierro, galio, aluminio, al menos un elemento que tiene una parte de valencia equivalente de granate o elementos constituyentes distintos del oxígeno en el granate representado por representa cualquier tipo de escandio) sustituido en guía de onda óptica de cristal de granate usando un granate tipo de cristal, la guía de ondas óptica de cristal de granate, el sustrato y la capa de revestimiento inferior de película de cristal de granate que no presenta fluorescencia en dispuesto no magnético sobre el sustrato, la capa inferior de revestimiento Una porción de núcleo que comprende una capa de núcleo de cristales de granate que tienen composiciones diferentes y que tienen dimensiones predeterminadas y ejes ópticos coincidentes en la parte de núcleo; El no magnético proporcionado equipado con una capa de revestimiento superior de película de cristal de granate que no presenta fluorescencia caracterizado.
Método de fabricación de una guía de ondas óptica de cristal de granate de acuerdo con el segundo aspecto de la presente invención tienen la fórmula general R3 B5 O12 (R representa itrio, lantano, ya sea un elemento de tierras raras que tiene una valencia de bismuto y trivalente, B es hierro, Galio, aluminio o escandio), o una parte de los elementos constituyentes distintos del oxígeno del granate se reemplaza por uno o más elementos que tienen una valencia equivalente. caracterizado porque comprende las etapas de: formar en primer lugar una capa de revestimiento inferior de película de cristal de granate que no presenta fluorescencia en un proceso sustrato no magnético, el crecimiento de la máscara de protección una zona parcial de la capa de revestimiento inferior Un tercer paso de crecimiento selectivo de la primera capa central de la película de cristal de granate en una región parcial del revestimiento inferior, un tercer paso para hacer crecer el crecimiento Después de retirar la máscara, el cultivo de una segunda capa de núcleo de la cuarta etapa, diferente película de cristal de granate que tiene la composición selectivamente sobre dicha capa inferior de revestimiento distinta de la máscara protectora crecimiento que cubre la capa núcleo a una máscara protectora crecimiento quinta etapa de, sexta etapa de formación de una porción de núcleo de guía de ondas óptica surcado por grabado en seco utilizando una máscara que tiene una dimensiones predeterminadas de guía de ondas ópticas dos tipos diferentes de capa de núcleo de dicha composición, y dicho Una séptima etapa de formación de una capa superior revestida de una película de cristal de granate que tiene una composición diferente en la porción de núcleo de guía de ondas óptica similar a una cresta.
Se describirá un ejemplo de una guía de onda óptica de cristal de granate de acuerdo con la presente invención con referencia a la figura 1. La figura 1 es una vista en perspectiva esquemática que muestra un ejemplo de una guía de ondas ópticas de cristal de granate de acuerdo con la presente invención. En la Figura 1, 1 es granate de cristal guía de ondas óptica, 1A funcional porción de guía de ondas óptica, 1B es la sección pasiva de guía de ondas, el sustrato de cristal 2 granate, película de cristal de granate de ser la capa de revestimiento inferior 3, la máscara de platino 4, 5 otra , Una máscara de iridio 6, una película de cristal de granate 7 que sirve como capa de núcleo de guía de ondas ópticas de una composición, y una capa de revestimiento superior 8. cristal de granate Estado guía de ondas óptica 1 es una capa de revestimiento inferior 3 está laminada sobre un sustrato de cristal de granate 2, el cristal entre la guía de ondas óptica capa de núcleo en forma de cresta 5, 7 de diferente composición mutuamente en la capa de revestimiento inferior 3 están unidos Y constituye una porción de núcleo en forma de cresta. Una de estas capas de núcleo 5 y 7 es la capa de núcleo de la porción de guía de ondas óptica funcional y la otra es la capa de núcleo de la parte de guía de ondas óptica pasiva. Por ejemplo, la capa de núcleo 5 es la capa de núcleo de la porción de guía de ondas óptica funcional, y la capa de núcleo 7 es la capa de núcleo de la parte de guía de ondas óptica pasiva. Alta capa de revestimiento 8 se llena la porción de núcleo en forma de reborde de la parte de núcleo se ha descrito anteriormente en la capa de revestimiento inferior 3 que no sea se forma la porción de núcleo. La capa inferior de revestimiento 3 y la capa superior de revestimiento 8 constituyen una parte de revestimiento. Baja capa de revestimiento 3 y la vaina superior 8 Controles tal que el sustrato 2 y la constante de red que coincide con el índice de refracción es ligeramente diferente.
Con referencia a la figura 2, se describirá un método para fabricar la guía de ondas ópticas de cristal de granate descrita anteriormente de la presente invención. La Figura 2 es un diagrama de proceso que muestra un ejemplo de un método de fabricación de una guía de ondas de cristal de granate de acuerdo con la presente invención, es una vista esquemática en sección transversal en perspectiva de (A) (G) es una guía de ondas óptica de cristal de granate en la fabricación en cada paso. 2, la referencia numérica 1,2,3,5,7,8 es la misma que la Fig. 1, la máscara de protección 4 primero crecimiento (máscara de platino), la máscara de protección segundos crecimiento (máscara iridio) 6 Ahí
La guía de ondas óptica de cristal de granate 1 de la presente invención se fabrica de la siguiente manera.
(1) Primer Paso (Fig 2 (A).): En primer lugar, una capa de revestimiento inferior 3 de la película de cristal de granate que no presenta fluorescencia no magnético sobre el sustrato de cristal de granate 2.
(2) Segundo Paso (Fig 2 (B).): Cubre una región parcial de la capa de revestimiento inferior 3 con la máscara de platino 4 es una máscara protectora primera crecimiento.
(3) Tercer paso (figura 2C): la primera capa de núcleo 5 de la película de cristal de granate se cultiva selectivamente en una región parcial de la capa de revestimiento inferior 3.
(4) Cuarto paso (Fig 2 (D).): Después de retirar la primera máscara de protección 4, para cubrir la primera capa de núcleo 5 máscara iridio 6 es una segunda máscara protectora.
(5) Quinto Paso (Fig 2 (E).): El cultivo de una segunda capa de núcleo 7 de diferente película de cristal de granate que tiene la composición selectivamente sobre la capa de revestimiento inferior 3 que no sea el segundo crecimiento máscara protectora 6.
(6) Sexto Paso (Fig 2 (F).): Después de retirar la segunda máscara protectora 6, usando una máscara que tiene diferente en estos dos tipos de la capa de núcleo 5, 7 de una predeterminados composiciones dimensiones de guía de ondas óptica Mediante ataque en seco, se forma una porción de núcleo de guía de ondas ópticas en forma de cresta.
(7) Séptimo Paso (Fig 2 (G).): Para formar una capa de revestimiento superior de un diferentes composiciones de película de cristal de granate en la superficie expuesta de manera que cubra las capas de núcleo en forma de reborde 5 y 7. La figura 2 (G) es una vista en perspectiva en sección transversal tomada a lo largo de la línea II II de la figura 1.
sustrato de cristal granate que constituye la guía de ondas óptica de cristal de granate de la presente invención, la capa de revestimiento, como el granate granate película de cristal como la capa de núcleo, la fórmula general R3 B5 O12 (R tiene de itrio, lantano, la valencia del bismuto trivalente y Y B representa uno de hierro, galio, aluminio y escandio) se puede utilizar como el granate. Alternativamente, es posible utilizar cristales de granate de sustitución sustituidos por uno o más elementos con parte de valencia equivalente de los elementos constitutivos distintos de los granates de oxígeno descritas anteriormente. Los ejemplos específicos de los mismos incluyen granate de gadolinio y galio (GGG), granate de itrio y aluminio (YAG) y similares. El granate sustituido, el polvo de materia prima correspondiente a los elementos de tierras raras en estado fundido durante el crecimiento del cristal, además de la itrio o galio, bismuto, lantano, cerio, praseodimio, samario, europio, disprosio, holmio, erbio, tulio, iterbio Se mezclan apropiadamente se usan para formar cristales de granate.
Como cristal de granate del sustrato, se puede usar granate de gadolinio y galio (GGG), granate de itrio y aluminio (YAG) y similares.
El cristal de granate usado para porción de revestimiento, Lax Gd3-x Scy GA5-y O12 (0 ≦ x ≦ 1,0 ≦ y ≦ 2) de cristal de granate, Lux Y3-x-y AL5 Scy O12 (0 ≦ x ≦ 1 , 0 ≦ y ≦ 2) cristal de granate y similares.
El cristal de granate que debe utilizarse para la porción de núcleo, de hierro magnético de cristal de granate, cristal de itrio hierro granate, Lup Y3-p-q AL5 GAQ O12 (0 ≦ p ≦ 1,0 ≦ q ≦ 2) de cristal de granate, cristal GGG granate, Cristal de granate Nd: YAG y similares.
El material de la máscara utilizada para el crecimiento selectivo no está limitado a platino e iridio, y pueden usarse los que se usan comúnmente para la protección del crecimiento de la película de cristal de granate. Además, se puede intercambiar el orden de crecimiento de cristales que exhiben funcionalidad y cristales que no muestran funcionalidad. Alternativamente, la porción de núcleo puede tener una estructura en la que tres o más guías de onda ópticas de cristal de granate diferentes están (acopladas) como se describió anteriormente.
De aquí en adelante, la presente invención se describirá con más detalle en base a ejemplos concretos, pero es una cuestión de curso que la presente invención no se limita a estos ejemplos.
(Ejemplo 1) Un ejemplo de un método para fabricar una guía de onda óptica de cristal de granate de acuerdo con la presente invención se describirá en detalle con referencia a la figura 2. En primer lugar, un sustrato de granate de gadolinio diámetro galio 2 pulgadas tiene un espesor de (aproximadamente 5 cm) es de aproximadamente 400 [mu] m: en 2 {sustrato GGG (111) de espejo acabado acimut} se controla para GGG sustrato 2 y el partido constante de red, y Lax un espesor de aproximadamente 10! m para un índice de refracción de la capa de revestimiento inferior 3 que se controla ligeramente menor que el sustrato GGG 2 Gd3-x Scy GA5-y O12 (0 ≦ x ≦ 1,0 ≦ y ≦ 2) de cristal de granate el PbO membrana y B2 O3 se formó por un método de crecimiento epitaxial en fase líquida de acuerdo con el flujo (método LPE) (Fig. 2 (a)).
A continuación, sobre el sustrato 2 para formar una capa de revestimiento inferior 3, una granate región de formación de película de cristal para estar en una composición de crecimiento del platino máscara protectora para formar una (primera máscara de protección crecimiento) 4 (Fig. 2 (B ). usando este crecimiento máscara 4 de protección, la otra composición que comprende una capa de núcleo porción de guía de ondas óptica 5 que tiene una función de hacer girar el plano de polarización, una parte de la película de cristal de granate de itrio magnético de hierro de hierro fue reemplazado con galio PbO por y método de crecimiento B2 O3 fase líquida epitaxial con fundente (método LPE), se formó a un espesor de forma selectiva sobre 4 [mu] m (Fig. 2 (C)). entonces, crecido selectivamente cristal de granate de la otra composición película (en este caso, se corresponde con la constante de red del sustrato y la capa de revestimiento inferior) se formó 6 en el crecimiento de la máscara de iridio de protección (crecimiento máscara protectora segundos) (Fig. 2 (D)). el crecimiento máscara protectora 6 Para Para, película no magnética de cristal de granate de una de las composiciones que comprenden una capa de núcleo de guía de ondas 7 responsable de la operación del circuito óptica pasiva (en este caso, montado en la composición del sustrato) solución del el PbO y B2 O3 como fundente Se formó selectivamente a un espesor de aproximadamente 4 \\ mu m mediante un método de crecimiento epitaxial de fase (método LPE) (figura 2 (E)).
A continuación, la capa de núcleo 5, 7 de la película de cristal dos granate que tiene una composición diferente era cresta se procesa en una anchura de guía de ondas óptica predeterminada por molienda ion Ar o similar (Fig. 2 (F)).
cristal de granate Por último, mediante la formación de una película de cristal de granate no magnético que sirve como capa de revestimiento superior 8 sobre el sustrato 2 sobre toda la superficie en las mismas condiciones que la capa de revestimiento inferior 3 a un espesor de aproximadamente 10 m [mu], que se puede realizar la guía de ondas óptica 1 según la presente invención (Figura 2 (G)). Evaluación de la pérdida de unión (conexión) de la guía de ondas óptica, tenía la siguiente baja pérdida 0,5 dB.
(Ejemplo 2) Ejemplo 1 usando el mismo método que el granate de itrio y aluminio (YAG) de granate de cristal guía de ondas óptica 1 que conecta el funcional óptico porción de guía de ondas 1A y la sección de guía de ondas 1B pasiva que muestra las propiedades de fluorescencia en el sustrato 2 Fue formado. En primer lugar, YAG sustrato de aproximadamente 400μm de espesor con un diámetro de 2 pulgadas (aproximadamente 5 cm) en 2 {(111) de espejo acimut acabado}, aproximadamente el grosor sea la capa de revestimiento inferior 3 para que coincida con el sustrato YAG 2 y la constante de red se formó por 8μm de Lux Y3-x-y aL5 Scy O12 (0 ≦ x ≦ 1,0 ≦ y ≦ 2) película de cristal de granate del método de crecimiento epitaxial en fase líquida para la PbO y B2 O3 y el flujo (método LPE).
A continuación, sobre el sustrato 2 para formar una capa de revestimiento inferior 3, se formaron una región de platino para formar una película de cristal de granate de la composición de la máscara protectora de crecimiento (máscara de protección primero crecimiento) 4 como la capa de núcleo 7 . El uso de este crecimiento máscara protectora 4, la otra composición que comprende una capa de núcleo 5 de la parte de guía de ondas óptica responsable de la función de característica de fluorescencia de 1,3 m, era para que coincida con la constante de red similar a la del sustrato 2 y la capa de revestimiento inferior 3, la sustitución de una parte de lutecio itrio y neodimio, Nd parte de aluminio se reemplazó con galio: una película de cristal YAG granate, método de crecimiento epitaxial en fase líquida para la PbO y B2 O3 y el flujo por (método LPE), selectivamente sobre se formó a un espesor de 4 m [mu] (neodimio es de aproximadamente 1%, lutecio y galio se controló con el fin de aumentar el índice de refracción ligeramente de la capa de revestimiento inferior 3). A continuación, se formó una máscara de protección del crecimiento (segunda máscara de protección del crecimiento) 6 de iridio sobre la película de cristal de granate de la otra composición cultivada selectivamente. El uso de este crecimiento máscara protectora 6, Lup Y3-p de una de las composiciones que comprenden una capa de núcleo de la parte de guía de ondas óptica responsable de la operación de los circuitos ópticos pasivos AL5-q GAQ O12 (0 ≦ p ≦ 1,0 ≦ q ≦ 2) para que coincida con la película de cristal de granate (constante de red de este sustrato es también 2, el índice de refracción es un método en fase líquida epitaxial de crecimiento para el PbO y B2 O3 a aumentó más ligeramente la) inferior capa de revestimiento 3 y el flujo (método LPE) , Y se forma selectivamente a un espesor de aproximadamente 4 μm.
A continuación, después de la cresta se procesa en una anchura de guía de ondas óptica predeterminada por la capa de núcleo 5, 7 de las dos películas de cristal de granate que tienen diferentes composiciones Ar fresado iónico o similares, y por último, las mismas condiciones que la capa de revestimiento inferior 3 en la formación de una película de cristal de granate no magnético que sirve como capa de revestimiento superior 8 sobre el sustrato 2 sobre toda la superficie a un espesor de aproximadamente 10 [mu] m, cristal de granate de guía de ondas óptica 1 según la presente invención podría ser realizado. La evaluación de la pérdida de acoplamiento (conexión) de esta guía de onda óptica reveló una baja pérdida de 0,4 dB o menos.
Contra (Ejemplo 3) Ejemplo 1, como un polvo de materia prima correspondiente a los elementos de tierras raras de toda la masa fundida durante el crecimiento del cristal, además de la itrio o galio, bismuto, lantano, cerio, praseodimio, samario, europio, disprosio , holmio, erbio, tulio, en la guía de ondas óptica de cristal de granate formado usando esos uno o más tipos de iterbio es apropiadamente mezclan, la evaluación de la pérdida (conexión) de unión de menos de 1 dB.
Efecto de la invención
Como se ha descrito anteriormente, de acuerdo con la presente invención, en el dispositivo de tipo guía de ondas óptica que utiliza un cristal de granate, cuando se forma una guía de ondas óptica de cristal diferente a cada otras composiciones en el mismo sustrato, la composición en una guía de luz de cristal de substrato de cristal de granate cristal guía de ondas granate de la otra composición cultivar selectivamente por delante, cubriendo la región de platino o iridio máscara para formar una, fue eliminado a partir de entonces enmascarar a más cultiva selectivamente región de cristal de granate cubriendo con una máscara de platino o iridio, por la creciente selectivamente un cristal de granate de una composición, de obligar a la diferente cristal de granate entre composiciones, a partir de entonces, la productividad de alta calidad mediante la realización de una guía de ondas óptica de mecanizado Se puede realizar, y las ventajas industriales son excelentes.
Breve descripción de los dibujos
La figura 1 es una vista en perspectiva esquemática que muestra un ejemplo de una guía de ondas ópticas de cristal de granate de acuerdo con la presente invención.
Es un diagrama de proceso que muestra un ejemplo de un método de fabricación de una guía de ondas óptica de cristal de granate de acuerdo a la figura invención, es una vista esquemática en sección transversal en perspectiva, respectivamente (A) (G). (G) es una vista en perspectiva en sección transversal tomada a lo largo de la línea II II de la figura 1.
La figura 3 es una vista en sección transversal que muestra un ejemplo de un método de conexión de una guía de onda óptica de cristal de granate según la técnica anterior.
1 guía de onda óptica de cristal de granate
Parte de la guía de onda óptica de función 1A
1 B sección de guía de onda óptica pasiva
Sustrato de cristal granate 2
3 capas inferiores de revestimiento (película de cristal de granate)
4 Máscara protectora (máscara de platino)
5 Capa de núcleo de guía de ondas óptica (película de cristal de granate) de la otra composición
6 Máscara protectora (máscara de iridio)
7 Capa de núcleo de guía de onda de una composición (película de cristal de granate)
8 capa de revestimiento superior (película de cristal de granate)
10 Función guía de onda óptica sección
10 Una guía de onda óptica de cristal de granate
11 sustrato de función de la sección de guía de onda óptica
12 capa de revestimiento de la sección de guía de onda óptica funcional
13 Capa de núcleo de la sección de guía de onda óptica funcional
14 Película antirreflectante
20 Guía de onda óptica pasiva
20 Una guía de onda óptica pasiva
21 Substrato pasivo de la sección de la guía de onda óptica
22 Capa de revestimiento de la sección de guía de onda óptica pasiva
23 Capa de núcleo de la sección de guía de onda óptica pasiva
24 surcos
30 adhesivo
Reclamo
En la reivindicación 1 de la fórmula general R3 B5 O12 (R representa itrio, lantano, representar a uno elemento de tierras raras que tiene una valencia de bismuto y trivalente, B es el hierro, el galio, aluminio, cualquier tipo de escandio) en granate o cristal de granate parte de guía de ondas óptica utilizando granate de sustitución cristalino sustituido por uno o más elementos con valencia equivalente de elementos constituyentes distintos del oxígeno en el granate representado, el sustrato de guía de ondas óptica de cristal de granate Si una capa de revestimiento inferior de película de cristal de granate con un dispuestos no magnético sobre el sustrato no muestran fluorescencia, el eje óptico tiene una dimensión predeterminada sobre los partidos capa de revestimiento inferior, composiciones de cristal diferente núcleo granate Capa, y una capa superior de revestimiento de película de cristal de granate no magnético no fluorescente proporcionada en la parte central la guía de ondas óptica de cristal granate, caracterizado porque el.
En la reivindicación 2 de la fórmula general R3 B5 O12 (R representa itrio, lantano, representar a uno elemento de tierras raras que tiene una valencia de bismuto y trivalente, B es el hierro, el galio, aluminio, cualquier tipo de escandio) usando granate de sustitución cristalino sustituido por uno o más elementos con parte de valencia equivalente de granate o constituyentes elementos distintos del oxígeno en el granate representado, granate guía de luz de cristal, caracterizado porque comprende los pasos de método de producción de guía de ondas: primero recubierto con un primer paso, la primera máscara protectora crecimiento una zona parcial de la capa de revestimiento inferior para formar una capa de revestimiento inferior de película de cristal de granate que no presenta fluorescencia en el sustrato no magnético Un tercer paso de cultivo selectivo de una primera capa central de una película de cristal de granate en una parte de la capa de revestimiento inferior. Después de eliminar el clic, el cuarto paso de la primera capa de núcleo se recubre con una segunda máscara protectora crecimiento, selectivamente diferentes composiciones de cristal de granate en la segunda crecimiento de máscara de protección de la capa inferior de revestimiento una quinta etapa de hacer crecer una segunda capa de núcleo de la capa de núcleo, en el que después de la segunda crecimiento se retira la máscara de protección, utilizando la primera y segunda máscara que tiene una capa de núcleo de las dimensiones de guía de ondas óptica predeterminada séptima etapa de formar una capa de revestimiento superior de la sexta etapa, y diferentes composiciones de película de cristal de granate en la parte de núcleo del guiaondas óptico en forma de cresta sobre el cual forma una parte de núcleo de guía de ondas óptica en forma de reborde por ataque químico en seco.
Dibujo :
Application number :1994-003547
Inventors :日本電信電話株式会社
Original Assignee :加藤雄二郎、杉本直登、渋川篤